1. 一种使用于工艺腔室中的快门盘组件，包括：
上部盘构件，所述上部盘构件具有顶部表面和底部表面，其中在所述底部表面的中心中形成第一中心对齐凹部；以及
下部载具构件，所述下部载具构件具有：
固体基底，所述固体基底具有上支撑表面，其中所述上支撑表面包括第二自定心特征，其中所述第二自定心特征在所述下部载具构件的底部表面中形成第二凹部，所述第二凹部配置为接收第三自定心特征，并且其中所述第二自定心特征设置于在所述上部盘构件的所述底部表面的所述中心中形成的所述第一中心对齐凹部中；以及
外部环状对齐特征，所述外部环状对齐特征从所述下部载具构件的顶部表面向上突出并且形成口袋部，其中所述上部盘构件设置于所述口袋部中。
2.如权利要求1所述的快门盘组件，其中所述下部载具构件由电绝缘材料形成，或使用电绝缘涂层来涂布。
3.如权利要求2所述的快门盘组件，其中所述下部载具构件的所述基底和所述外部环状对齐特征形成绕着所述上部盘构件的电绝缘障碍。
4.如权利要求1所述的快门盘组件，其中所述下部载具构件和所述上部盘构件相对于彼此能移动地设置或耦合。
5.如权利要求1所述的快门盘组件，其中所述下部载具构件和所述上部盘构件经配置以相对于彼此独立地热膨胀和收缩。
6.如权利要求1所述的快门盘组件，其中所述上部盘构件由所述下部载具构件的所述固体基底的所述上支撑表面来支撑。
7.如权利要求1至6中任一项所述的快门盘组件，其中所述下部载具构件没有通过所述上部盘构件的开口。
8. 如权利要求1至6中任一项所述的快门盘组件，其中所述下部载具构件包括具有
5.6E‑6 m/m K至22.2E‑6 m/m K的热膨胀系数的材料。
9.如权利要求1至6中任一项所述的快门盘组件，其中所述快门盘组件具有6英寸至12英寸的外直径，其中从所述上部盘构件的所述顶部表面至所述下部载具构件的所述底部表面的厚度为0.1英寸至0.25英寸。
10.如权利要求1至6中任一项所述的快门盘组件，其中所述下部载具构件的所述环状对齐特征的内直径(ID)为11.00英寸至11.85英寸。
11.一种工艺腔室，包括：
腔室主体，所述腔室主体界定具有目标的内容积，所述目标包括待溅射的材料；
基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述腔室主体内，以支撑所述基板；
快门盘组件，所述快门盘组件使用于工艺腔室中，所述快门盘组件包括：
上部盘构件，所述上部盘构件具有顶部表面和底部表面，其中在所述底部表面的中心中形成第一中心对齐凹部；以及
下部载具构件，所述下部载具构件具有：
固体基底，所述固体基底具有上支撑表面，其中所述上支撑表面包括第一中心自定心特征，其中所述第一中心自定心特征在所述下部载具构件的底部表面中形成第二凹部并且被配置为接收另一个自定心特征，并且其中所述第一中心自定心特征设置于在所述上部盘构件的所述底部表面的所述中心中形成的所述第一中心对齐凹部中；以及外部环状对齐特征，所述外部环状对齐特征从所述下部载具构件的顶部表面向上突出并且形成口袋部，其中所述上部盘构件设置于所述口袋部中；以及
传送机器人，所述传送机器人能移动地耦合至所述腔室主体，以将所述快门盘组件传送至所述基板支撑件或从所述基板支撑件传送所述快门盘组件。
12.如权利要求11所述的工艺腔室，其中所述传送机器人包括机器人快门臂，所述机器人快门臂具有对齐插塞，所述对齐插塞设置进入在所述下部载具构件的所述底部表面中形成的孔穴，以在所述机器人快门臂上自对齐整个所述快门盘组件。
13.一种使用于工艺腔室中的快门盘组件，用于保护设置于所述快门盘组件下方的基板支撑件，所述快门盘组件包括：
上部盘构件，所述上部盘构件具有顶部表面和底部表面，其中在所述底部表面的中心中形成第一中心对齐凹部；以及
下部载具构件，所述下部载具构件具有：固体基底，所述固体基底具有上支撑表面，其中所述上支撑表面包括第二自定心特征，其中所述第二自定心特征在所述下部载具构件的底部表面中形成第二凹部，所述第二凹部配置为接收第三自定心特征，其中所述第二自定心特征设置于在所述上部盘构件的所述底部表面的所述中心中形成的所述凹部中，并且其中所述下部载具构件包括外部环状对齐特征，所述外部环状对齐特征从所述下部载具构件的顶部表面向上突出且形成口袋部，并且其中所述上部盘构件设置于所述口袋部中，其中所述上部盘构件为经配置以使用于粘合工艺的工艺腔室目标，并且其中所述下部载具构件以及所述外部环状对齐特征形成绕着所述上部盘构件目标的电绝缘障碍，所述电绝缘障碍经配置以在粘合工艺期间防止电弧。