一种三甲基铝提纯设备 |
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| 申请号 | CN202122688974.1 | 申请日 | 2021-11-03 | 公开(公告)号 | CN216573030U | 公开(公告)日 | 2022-05-24 |
| 申请人 | 南大光电半导体材料有限公司; | 发明人 | 陆平; 孟庆典; | ||||
| 摘要 | 本实用新型涉及微 电子 材料领域，尤其是涉及一种三甲基 铝 提纯设备，包括反应仓，所述反应仓的上端内表面固定连接有 冷凝器 ，所述冷凝器的右侧固定连接有储物盒，所述反应仓的左侧靠近下端的 位置 固定连接有进料管，所述反应仓的下端边缘处固定连接有 支撑 腿，所述反应仓的下端固定连接进气管，所述反应仓的内部靠近下端的位置固定连接有 搁板 ，所述搁板的内部中心处固定连接有加热 块 ，所述搁板的内部靠近两侧的位置均固定连接有气筒，该装置能够在通入惰性气体的时候，通过气压带动 螺纹 杆转动，进而使搅拌叶转动，这样可以对三甲基铝溶液进行搅拌，使得三甲基铝与惰性气体更好的 接触 ，使得到的三甲基铝更纯。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种三甲基铝提纯设备，包括反应仓(1)，其特征在于：所述反应仓(1)的上端内表面固定连接有冷凝器(3)，所述冷凝器(3)的右侧固定连接有储物盒(4)，所述反应仓(1)的左侧靠近下端的位置固定连接有进料管(5)，所述反应仓(1)的下端边缘处固定连接有支撑腿(6)，所述反应仓(1)的下端固定连接进气管(7)，所述反应仓(1)的内部靠近下端的位置固定连接有搁板(8)，所述搁板(8)的内部中心处固定连接有加热块(9)，所述搁板(8)的内部靠近两侧的位置均固定连接有气筒(10)，所述气筒(10)的上端螺旋传动有螺纹杆(14)，所述螺纹杆(14)的下端转动连接有活塞(15)，所述活塞(15)的外侧与气筒(10)的内壁滑动连接，所述反应仓(1)的下端内表面靠近两侧的位置均固定连接有弹簧(16)，所述弹簧(16)的上端与活塞(15)的下端固定连接，所述螺纹杆(14)的上端固定连接有搅拌叶(11)，所述气筒(10)的两侧均开设有L形通孔(12)，所述L形通孔(12)的上端固定连接有半透膜(13)。 |
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| 说明书全文 | 一种三甲基铝提纯设备技术领域[0001] 本实用新型涉及化学品提纯技术领域，尤其是涉及一种三甲基铝提纯设备。 背景技术[0002] 高纯度三甲基铝属于高纯金属有机化合物，是利用先进的金属有机化学气相沉积 (MOCVD)工艺或原子层沉积薄膜技术(ALD)制备化合物半导体薄膜材料的关键支撑原材料，其广泛运用于LED设备、新一代太阳能电池、相变存储器、半导体激光器、红外探测器和超级计算机等领域。 [0003] 在对三甲基铝提纯的时候需要内部加入惰性气体，这样可以起到对三甲基铝的保护作用，使三甲基铝在提纯的时候不会被其他因素所转变，现有的装置在进行加入惰性气体的时候不能对内部进行搅拌，使惰性气体在内部不能完全扩散开，使得惰性气体的利用率下降。 [0004] 为此，提出一种三甲基铝提纯设备。实用新型内容 [0005] 本实用新型的第一目的在于提供一种三甲基铝提纯设备，该装置能够在通入惰性气体的时候，通过气压带动螺纹杆转动，进而使搅拌叶转动，这样可以对三甲基铝溶液进行搅拌，使得三甲基铝与惰性气体更好的接触，使得到的三甲基铝更纯，以解决上述背景技术中提出的问题。 [0006] 本实用新型提供一种三甲基铝提纯设备，包括反应仓，所述反应仓的上端内表面固定连接有冷凝器，所述冷凝器的右侧固定连接有储物盒，所述反应仓的左侧靠近下端的位置固定连接有进料管，所述反应仓的下端边缘处固定连接有支撑腿，所述反应仓的下端固定连接进气管，所述反应仓的内部靠近下端的位置固定连接有搁板，所述搁板的内部中心处固定连接有加热块，所述搁板的内部靠近两侧的位置均固定连接有气筒，所述气筒的上端螺旋传动有螺纹杆，所述螺纹杆的下端转动连接有活塞，所述活塞的外侧与气筒的内壁滑动连接，所述反应仓的下端内表面靠近两侧的位置均固定连接有弹簧，所述弹簧的上端与活塞的下端固定连接，所述螺纹杆的上端固定连接有搅拌叶，所述气筒的两侧均开设有L 形通孔，所述L形通孔的上端固定连接有半透膜。 [0007] 通过采用上述技术方案，将三甲基铝物料通过进料管进入反应仓的内部，此时加热块对内部的三甲基铝进行加热，在经过冷凝器将蒸发的三甲基铝进行冷凝，冷凝后的三甲基铝进入储物盒的内部，此时通过进气管通入惰性气体，随着气体的加入，此时反应仓下端的气压增大，使活塞在气筒的内部向上移动，活塞带动螺纹杆线上移动，因为螺纹杆与气筒的上端为螺旋传动，所以螺纹杆在向上移动的时候发生转动，螺纹杆带动搅拌叶转动，当活塞移动到L形通孔的位置的时候，此时惰性气体通过L形通孔进入反应仓的内部，当反应仓下端的气压减小的时候，此时在弹簧的作用下，使活塞复位，设有的半透膜可以通过气体分子，不能通过液体等大分子物体，避免三甲基铝溶液进入L形通孔的内部。 [0009] 通过采用上述技术方案，当搅拌叶转动的时候带动齿块转动，齿块转动带动轴承转动，轴承转动带动清洁杆转动，这样可以将冷凝在反应仓内壁上的三甲基铝进行清理，进一步提高了该装置的实用性。 [0010] 优选的，所述冷凝器为倾斜设计。 [0011] 通过采用上述技术方案，避免冷凝时流动堵塞的现象。 [0012] 优选的，所述加热块为耐高温材质所制成。 [0013] 通过采用上述技术方案，避免加热块加热时对搁板造成损坏。 [0014] 优选的，所述进料管的位置与搁板的位置处于同一水平。 [0015] 通过采用上述技术方案，有利于反应仓在排出废料的时候更加的方便。 [0016] 优选的，所述螺纹杆的螺旋数与齿块的数比为1:10。 [0017] 通过采用上述技术方案，这样可以保证在螺纹杆上移的时候，使清洁杆转动一圈，增加清理效果。 [0018] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果是： [0019] 1、在通入惰性气体的时候，通过气压带动螺纹杆转动，进而使搅拌叶转动，这样可以对三甲基铝溶液进行搅拌，使得三甲基铝与惰性气体更好的接触，使得到的三甲基铝更纯。 [0021] 为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 [0022] 图1为本实用新型的立体图； [0023] 图2为本实用新型正面剖视； [0024] 图3为本实用新型图2中A处的放大图； [0025] 图4为本实用新型图2中B处的放大图。 [0026] 附图标记说明： [0027] 1、反应仓；2、清洁杆；3、冷凝器；4、储物盒；5、进料管；6、支撑腿；7、进气管；8、搁板；9、加热块；10、气筒；11、搅拌叶；12、L形通孔；13、半透膜；14、螺纹杆；15、活塞；16、弹簧；17、轴承；18、齿块。 具体实施方式[0028] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 [0029] 在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语"中心"、"纵向"、"横向"、"长度"、" 宽度"、"厚度"、"上"、"下"、"前"、"后"、"左"、"右"、"坚直"、"水平"、"顶"、"底"、 "内"、"外"、"顺时针"、"逆时针"等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。 [0030] 此外，术语"第一"、"第二"仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有"第一"、"第二"的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，"多个"的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。此外，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。 [0031] 请参阅图1至图4，本实用新型提供一种三甲基铝提纯设备技术方案： [0032] 一种三甲基铝提纯设备，包括反应仓1，所述反应仓1的上端内表面固定连接有冷凝器3，所述冷凝器3的右侧固定连接有储物盒4，所述反应仓1的左侧靠近下端的位置固定连接有进料管5，所述反应仓1的下端边缘处固定连接有支撑腿6，所述反应仓1的下端固定连接进气管7，所述反应仓1的内部靠近下端的位置固定连接有搁板8，所述搁板8 的内部中心处固定连接有加热块9，所述搁板8的内部靠近两侧的位置均固定连接有气筒 10，所述气筒10的上端螺旋传动有螺纹杆14，所述螺纹杆14的下端转动连接有活塞15，所述活塞15的外侧与气筒10的内壁滑动连接，所述反应仓1的下端内表面靠近两侧的位置均固定连接有弹簧16，所述弹簧16的上端与活塞15的下端固定连接，所述螺纹杆14 的上端固定连接有搅拌叶11，所述气筒10的两侧均开设有L形通孔12，所述L形通孔12 的上端固定连接有半透膜13。 [0033] 通过采用上述技术方案，将三甲基铝物料通过进料管5进入反应仓1的内部，此时加热块9对内部的三甲基铝进行加热，再经过冷凝器3将蒸发的三甲基铝进行冷凝，冷凝后的三甲基铝进入储物盒4的内部，此时通过进气管7通入惰性气体，随着气体的加入，此时反应仓1下端的气压增大，使活塞15在气筒10的内部向上移动，活塞15带动螺纹杆 14线上移动，因为螺纹杆14与气筒10的上端为螺旋传动，所以螺纹杆14在向上移动的时候发生转动，螺纹杆14带动搅拌叶11转动，当活塞15移动到L形通孔12的位置的时候，此时惰性气体通过L形通孔12进入反应仓1的内部，当反应仓1下端的气压减小的时候，此时在弹簧16的作用下，使活塞15复位，设有的半透膜13可以通过气体分子，不能通过液体等大分子物体，避免三甲基铝溶液进入L形通孔12的内部；这样可以在通入惰性气体的时候，通过气压带动螺纹杆14转动，进而使搅拌叶11转动，这样可以对三甲基铝溶液进行搅拌，使得三甲基铝与惰性气体更好的接触，使得到的三甲基铝更纯。 [0034] 具体的，所述反应仓1的内表面转动连接有轴承17，所述轴承17的内表面固定连接有齿块18，所述轴承17的上端靠近内表面的位置固定连接有清洁杆2，所述齿块18的外侧与搅拌叶11的外侧啮合连接。 [0035] 通过采用上述技术方案，当搅拌叶11转动的时候带动齿块18转动，齿块18转动带动轴承17转动，轴承17转动带动清洁杆2转动，这样可以将冷凝在反应仓1内壁上的三甲基铝进行清理，进一步提高了该装置的实用性。 [0036] 具体的，所述冷凝器3为倾斜设计。 [0037] 通过采用上述技术方案，避免冷凝时流动堵塞的现象。 [0038] 具体的，所述加热块9为耐高温材质所制成。 [0039] 通过采用上述技术方案，避免加热块9加热时对搁板8造成损坏。 [0040] 具体的，所述进料管5的位置与搁板8的位置处于同一水平。 [0041] 通过采用上述技术方案，有利于反应仓1在排出废料的时候更加的方便。 [0042] 具体的，所述螺纹杆14的螺旋数与齿块18的数比为1:10。 [0043] 通过采用上述技术方案，这样可以保证在螺纹杆14上移的时候，使清洁杆2转动一圈，增加清理效果。 [0044] 工作原理：将三甲基铝物料通过进料管5进入反应仓1的内部，此时加热块9对内部的三甲基铝进行加热，在经过冷凝器3将蒸发的三甲基铝进行冷凝，冷凝后的三甲基铝进入储物盒4的内部，此时通过进气管7通入惰性气体，随着气体的加入，此时反应仓1下端的气压增大，使活塞15在气筒10的内部向上移动，活塞15带动螺纹杆14线上移动，因为螺纹杆14与气筒10的上端为螺旋传动，所以螺纹杆14在向上移动的时候发生转动，螺纹杆14带动搅拌叶11转动，当活塞15移动到L形通孔12的位置的时候，此时惰性气体通过L形通孔12进入反应仓1的内部，当反应仓1下端的气压减小的时候，此时在弹簧16的作用下，使活塞15复位，设有的半透膜13可以通过气体分子，不能通过液体等大分子物体，避免三甲基铝溶液进入L形通孔12的内部；这样可以在通入惰性气体的时候，通过气压带动螺纹杆14转动，进而使搅拌叶11转动，这样可以对三甲基铝溶液进行搅拌，使得三甲基铝与惰性气体更好的接触，使得到的三甲基铝更纯，当搅拌叶11转动的时候带动齿块18转动，齿块18转动带动轴承17转动，轴承17转动带动清洁杆2转动，这样可以将冷凝在反应仓1内壁上的三甲基铝进行清理，进一步提高了该装置的实用性。 [0045] 最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。 |
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