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一种保温筒吊装装置

申请号 CN202410122724.7 申请日 2024-01-29 公开(公告)号 CN117923297A 公开(公告)日 2024-04-26
申请人 江苏科赢应材科技有限公司; 发明人 唐珊珊; 唐青岗; 张亮; 吴金友; 陈小飞; 黎心如; 徐子云;
摘要 本 申请 涉及一种保温筒吊装装置,涉及 半导体 技术领域,一种保温筒吊装装置,包括吊盘、用于 支撑 保温筒的安装圆环以及环绕安装圆环设置的多根吊杆,所述吊杆与所述安装圆环可拆卸连接,所述吊盘包括安装盘、转动连接于安装盘内的调节盘以及能够沿着所述安装盘径向方向移动的支撑杆,所述调节盘的一侧开设有涡状槽,所述支撑杆的一端插入至所述安装盘内且连接有多个与所述涡状槽匹配的限位 块 ,所述支撑杆的另一端设置有能够与所述吊杆连接的 定位 套。本申请具有通用性更高的效果。
权利要求

1.一种保温筒吊装装置,其特征在于,包括吊盘(1)、用于支撑保温筒(30)的安装圆环(2)以及环绕安装圆环(2)设置的多根吊杆(40),所述吊杆(40)与所述安装圆环(2)可拆卸连接,所述吊盘(1)包括安装盘(11)、转动连接于安装盘(11)内的调节盘(12)以及能够沿着所述安装盘(11)径向方向移动的支撑杆(13),所述调节盘(12)的一侧开设有涡状槽(121),所述支撑杆(13)的一端插入至所述安装盘(11)内且连接有多个与所述涡状槽(121)匹配的限位(14),所述支撑杆(13)的另一端设置有能够与所述吊杆(40)连接的定位套(50)。
2.根据权利要求1所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述安装盘(11)的顶端连接有用于驱动所述安装盘(11)转动的驱动组件(3),所述驱动组件(3)包括连接套(31)和驱动电机(32),所述连接套(31)的顶端具有吊(20),所述安装盘(11)的顶端开设有避让孔(111),所述驱动电机(32)可拆卸连接于所述连接套(31)内,所述驱动电机(32)的输出轴穿过所述避让孔(111)并与所述调节盘(12)连接。
3.根据权利要求2所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述驱动组件(3)还包括多根环绕所述连接套(31)设置的限位杆(33),所述调节盘(12)上开设有限位环槽(132),所述限位杆(33)的一端与所述连接套(31)可拆卸连接,所述限位杆(33)的另一端插入至所述限位环槽(132)内。
4.根据权利要求1所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述安装圆环(2)设置有两个且沿着所述吊杆(40)的长度方向依次设置,一个所述安装圆环(2)用于与所述保温筒(30)的底侧抵接,另一个所述安装圆环(2)用于与所述保温筒(30)的顶侧抵接,两个所述安装圆环(2)的外圈均连接有限位环板(4)。
5.根据权利要求4所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述安装圆环(2)上环绕设置有多组防护件(5),多组所述防护件(5)与多根所述吊杆(40)一一对应设置,所述防护件(5)包括两块防护垫板(51),两块所述防护垫板(51)均可拆卸连接在所述安装圆环(2)上。
6.根据权利要求5所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述防护件(5)还包括两个弧形防护板(52),所述弧形防护板(52)的弧形面背离保温筒(30)外侧壁设置,两个所述弧形防护板(52)对向设置在所述防护垫板(51)上并任意一个所述防护垫板(51)连接。
7.根据权利要求1所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述支撑杆(13)与所述定位套(50)连接的一侧设置有缓冲件(6),所述缓冲件(6)包括缓冲套(61)以及第一弹性元件(62),所述定位套(50)安装于所述缓冲套(61)的底侧,所述缓冲套(61)与所述支撑杆(13)插接,所述第一弹性元件(62)置于所述缓冲套(61)内且两端分别与所述缓冲套(61)和所述支撑杆(13)连接。
8.根据权利要求7所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述支撑杆(13)的两侧均设置有约束块(7),所述缓冲套(61)沿自身长度方向贯穿开设有约束槽(611),所述约束块(7)置于所述约束内并能够相对所述缓冲套(61)滑动。
9.根据权利要求7所述的一种保温筒吊装装置,其特征在于,所述定位套(50)与所述缓冲套(61)连接的一侧台阶状设置,所述缓冲套(61)上开设有与所述定位套(50)相匹配的台阶孔(612),所述台阶孔(612)的内壁上延伸有定位环板(8)且内设有第二弹性元件(9),所述定位套(50)的端部开设有与所述定位环板(8)相匹配的定位槽(501),所述第二弹性元件(9)的两端分别与所述定位套(50)的台阶面和所述台阶孔(612)壁面抵接。

说明书全文

一种保温筒吊装装置

技术领域

[0001] 本申请涉及半导体技术领域,尤其是涉及一种保温筒吊装装置。

背景技术

[0002] 单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主环境中,用石墨加热器将多晶等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,在半导体技术领域中起着至关重要的作用。
[0003] 其中,单晶炉的炉体和石墨加热器之间设有石墨保温筒,石墨保温筒主要包括上保温毡、下保温毡以及底座,在取出单晶炉内的坩埚时,需要将保温筒从炉体内取出,取出时会用到吊装装置对保温筒进行吊装,吊装装置主要包括吊盘和吊杆,吊盘具有多个固定吊点,在吊装时,将吊杆的一端通过吊索与吊盘相连,吊盘的另一端插入炉体内并与保温筒配合,随后操纵吊机进行吊升。
[0004] 然而,在吊盘上的吊点固定,对于不同尺寸大小的保温筒,吊索会在绷直状态下与保温筒的轴线之间形成夹,对吊杆以及吊盘形成沿径向方向的撕扯,使吊盘造成较大的伤害,因此在吊装时,会根据不同尺寸大小的保温筒定制吊盘,导致吊盘的通用性不高。发明内容
[0005] 本申请的目的是提供一种通用性更高的对保温筒进行吊装的吊装装置。
[0006] 本申请提供的一种保温筒吊装装置采用如下的技术方案:一种保温筒吊装装置,包括吊盘、用于支撑保温筒的安装圆环以及环绕安装圆环
设置的多根吊杆,所述吊杆与所述安装圆环可拆卸连接,所述吊盘包括安装盘、转动连接于安装盘内的调节盘以及能够沿着所述安装盘径向方向移动的支撑杆,所述调节盘的一侧开设有涡状槽,所述支撑杆的一端插入至所述安装盘内且连接有多个与所述涡状槽匹配的限位,所述支撑杆的另一端设置有能够与所述吊杆连接的定位套。
[0007] 通过采用上述技术方案,在对保温筒进行吊装时,将吊杆与安装圆环插接,使吊杆对保温筒进行定位,随后转动安装于安装盘内的调节盘,而支撑杆上的限位块与涡状槽相匹配,在调节盘的带动下,支撑杆沿着远离安装盘中心的方向伸出安装盘,通过转动调节盘,以对支撑杆的长度进行调节,使支撑杆上的定位套能够与吊杆处在同一轴线上,使吊盘能够与不同尺寸大小的保温筒相匹配,通用性更高。
[0008] 可选的,所述安装盘的顶端连接有用于驱动所述安装盘转动的驱动组件,所述驱动组件包括连接套和驱动电机,所述连接套的顶端具有吊,所述安装盘的顶端开设有避让孔,所述驱动电机可拆卸连接于所述连接套内,所述驱动电机的输出轴穿过所述避让孔并与所述调节盘连接。
[0009] 通过采用上述技术方案,在调节支撑杆的伸出安装盘的长度时,使驱动电机带动调节盘转动,待调节完毕后,将连接套顶端上的吊耳与吊机相连,操作方便。
[0010] 可选的,所述驱动组件还包括多根环绕所述连接套设置的限位杆,所述调节盘上开设有限位环槽,所述限位杆的一端与所述连接套可拆卸连接,所述限位杆的另一端插入至所述限位环槽内。
[0011] 通过采用上述技术方案,限位杆伸入至限位环槽内,对调节盘的转动进行约束,阻止调节盘在转动时位置发生偏移的可能性,有利于提高吊装的安全性。
[0012] 可选的,所述安装圆环设置有两个且沿着所述吊杆的长度方向依次设置,一个所述安装圆环用于与所述保温筒的底侧抵接,另一个所述安装圆环用于与所述保温筒的顶侧抵接,两个所述安装圆环的外圈均连接有限位环板。
[0013] 通过采用上述技术方案,在吊装保温筒的过程中,安装圆环对保温筒进行承托,而安装圆环上的限位环板则与保温筒的外侧壁相抵接,阻止保温筒的位置发生偏移。
[0014] 可选的,所述安装圆环上环绕设置有多组防护件,多组所述防护件与多根所述吊杆一一对应设置,所述防护件包括两块防护垫板,两块所述防护垫板均可拆卸连接在所述安装圆环上。
[0015] 通过采用上述技术方案,防护垫板直接与保温筒的端面相抵接,形成安装圆环与保温筒之间的缓冲,阻止安装圆环在承托保温筒时发生变形的可能性,对安装圆环起到较好的保护作用。
[0016] 可选的,所述防护件还包括两个弧形防护板,所述弧形防护板的弧形面背离保温筒外侧壁设置,两个所述弧形防护板对向设置在所述防护垫板上并任意一个所述防护垫板连接。
[0017] 通过采用上述技术方案,在吊装保温筒的过程中,弧形防护板的弧形面与保温炉的内壁面相贴合,阻止保温筒与保温炉的侧壁相接触进而发生碰撞的可能性。
[0018] 可选的,所述支撑杆与所述定位套连接的一侧设置有缓冲件,所述缓冲件包括缓冲套以及第一弹性元件,所述定位套安装于所述缓冲套的底侧,所述缓冲套与所述支撑杆插接,所述第一弹性元件置于所述缓冲套内且两端分别与所述缓冲套和所述支撑杆连接。
[0019] 通过采用上述技术方案,在吊装时,若吊机操作失误使吊盘的位置发生偏移,此时位于缓冲套内的第一弹性元件适应性收缩或伸张,起到较好地减震缓冲作用,阻止弧形防护板对保温炉之间形成较大的压力从而使吊杆被折断的可能性,有利于提高装置的安全性。
[0020] 可选的,所述支撑杆的两侧均设置有约束块,所述缓冲套沿自身长度方向贯穿开设有约束槽,所述约束块置于所述约束内并能够相对所述缓冲套滑动。
[0021] 通过采用上述技术方案,在缓冲套相对支撑杆滑动的过程中,置于约束槽内的约束块对缓冲套的移动进行约束,阻止缓冲套的位置发生偏移。
[0022] 综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:1.本申请中设置有吊盘对保温筒进行吊装,在对保温筒进行吊装时,将吊杆与安
装圆环插接,使吊杆对保温筒进行定位,随后转动安装于安装盘内的调节盘,而支撑杆上的限位块与涡状槽相匹配,在调节盘的带动下,支撑杆沿着远离安装盘中心的方向伸出安装盘,通过转动调节盘,以对支撑杆的长度进行调节,使支撑杆上的定位套能够与吊杆处在同一轴线上,使吊盘能够与不同尺寸大小的保温筒相匹配,通用性更高。
[0023] 2.本申请中设置有驱动组件为吊盘的调节提供动力,且在调节过程中,限位杆伸入至限位环槽内,对调节盘的转动进行约束,阻止调节盘在转动时位置发生偏移的可能性,有利于提高吊装的安全性。
[0024] 3.本申请中设置有防护件对保温筒以及安装圆环进行保护,在吊装保温筒的过程中,安装圆环对保温筒进行承托,而防护垫板直接与保温筒的端面相抵接,形成安装圆环与保温筒之间的缓冲,阻止安装圆环在承托保温筒时发生变形的可能性,对安装圆环起到较好的保护作用。附图说明
[0025] 图1是本申请中吊装装置的立体结构示意图;图2是本申请中吊装装置的剖视结构示意图;
图3是图2中A部分的局部放大示意图;
图4是图2中B部分的局部放大示意图;
图5是图2中C部分的局部放大示意图。
[0026] 图中,1、吊盘;11、安装盘;111、避让孔;112、插入孔;12、调节盘;121、涡状槽;122、内六方孔;13、支撑杆;131、第二贯穿孔;14、限位块;132、限位环槽;2、安装圆环;3、驱动组件;31、连接套;32、驱动电机;33、限位杆;4、限位环板;5、防护件;51、防护垫板;52、弧形防护板;6、缓冲件;61、缓冲套;611、约束槽;612、台阶孔;62、第一弹性元件;7、约束块;8、定位环板;9、第二弹性元件;10、吊索;20、吊耳;30、保温筒;40、吊杆;50、定位套;501、定位槽。

具体实施方式

[0027] 以下结合附图1‑附图5,对本申请作进一步详细说明。
[0028] 一种保温筒吊装装置,参照图1和图2,包括吊盘1、用于支撑保温筒30的安装圆环2以及环绕安装圆环2设置的多根吊杆40,吊杆40与安装圆环2可拆卸连接,吊杆40的一端与吊盘1连接,吊杆40的另一端与保温筒30插接。
[0029] 参照图3和图4,安装圆环2设置有两个且沿着吊杆40的长度方向依次设置,结合图5,一个安装圆环2用于与保温筒30的底侧抵接,另一个安装圆环2用于与保温筒30的顶侧抵接,其中,下保温毡以及底座之间具有间隙,位于底侧的安装圆环2置于间隙之间,而位于顶侧的另一个安装圆环2,则与上保温毡的端面抵接,通过两个安装圆环2,对保温筒30进行支撑。
[0030] 进一步地,两个安装圆环2的外圈均连接有限位环板4,限位环板4竖向设置,在安装圆环2对保温筒30进行支撑时,限位环板4的内侧壁与保温筒30的外侧壁抵接,对保温筒30进行限位,阻止保温筒30在被吊装时,位置发生偏移。
[0031] 参照图1,安装圆环2上环绕设置有多组防护件5,多组防护件5与多根吊杆40一一对应设置,具体地,在本实施例中,吊杆40设置有6根,而防护件5设置有六组,其中防护件5包括两块防护垫板51,两块防护垫板51均可拆卸连接在安装圆环2上,其中,位于顶端的安装圆环2上的每组防护件5中的两块防护垫板51均连接在安装圆环2的顶端,而位于底端的安装圆环2上的每组防护件5中的两块防护垫板51则连接在安装圆环2的两侧。
[0032] 在吊装时,位于底端的安装圆环2承担主要的支撑作用,而两块防护垫板51则分别作用在底座和下保温毡上,形成缓冲,阻止保温筒30使安装圆环2被压坏。
[0033] 进一步地,防护件5还包括两块弧形防护板52,弧形防护板52的弧形面背离保温筒30外侧壁设置,用于与炉体的内侧壁相抵接,阻止在吊装时,炉体与保温筒30发生碰撞,而弧形防护板52的直边面则与保温筒30的外侧壁贴合,用于对保温筒30进行进一步限位。两个弧形防护板52对向设置且均连接在两个防护垫板51中的一个防护垫板51上,在本实施例中,弧形垫板连接在位于安装圆环2最上方的防护垫板51上。
[0034] 参照图2和图3,支撑杆13与定位套50连接的一侧设置有缓冲件6,缓冲件6包括缓冲套61以及第一弹性元件62,定位套50安装于缓冲套61的底侧,缓冲套61与支撑杆13插接,第一弹性元件62置于缓冲套61内且两端分别与缓冲套61和支撑杆13连接。
[0035] 参照图3和图4,吊盘1包括安装盘11、转动连接于安装盘11内的调节盘12以及能够沿着安装盘11径向方向移动的支撑杆13,其中,支撑杆13的数量设置有多根,在本实施例中,支撑杆13的数量是3根并环绕调节盘12设置,调节盘12的底侧开设有涡状槽121,支撑杆13的一端插入至安装盘11内且连接有多个与涡状槽121匹配的限位块14,对应地,安装盘11内开设有供支撑杆13插入的插入孔112,支撑杆13的另一端设置有能够与吊杆40连接的定位套50。
[0036] 进一步地,吊杆40与定位套50之间设置有吊索10,吊杆40和定位套50均中空设置,吊杆40和定位套50上开设有安装孔,吊索10通过插销插入安装孔的方式,其两端分别与定位套50和吊杆40连接。
[0037] 而在吊索10与吊杆40连接之前,首先转动调节盘12,受到涡状槽121的推动以及插入孔112的约束,此时调节盘12推动支撑杆13沿着背离或靠近调节盘12中心的方向运动,使支撑杆13伸出或回退,以保障支撑杆13上的定位套50与吊杆40处于同一轴线上,阻止吊索10在绷直状态下与吊盘1的轴线方向形成夹角,形成横向撕扯调节盘12的拉力。
[0038] 参照图2和图4,安装盘11的顶端连接有用于驱动安装盘11转动的驱动组件3,驱动组件3包括连接套31和驱动电机32,连接套31的顶端具有吊耳20,用于与吊机连接,连接套31的外端设置有凸沿,凸沿部分与安装盘11之间通过螺钉可拆卸连接,而驱动电机32可拆卸连接于连接套31内,进一步地,安装盘11的顶端开设有避让孔111,驱动电机32的输出轴穿过避让孔111并与调节盘12连接。
[0039] 在本实施例中,驱动电机32的输出轴呈内六方状设置,对应地,调节盘12的顶端中央开设有与输出轴相匹配的内六方孔122,形成较好的传动效果。
[0040] 进一步地,驱动组件3还包括多根环绕连接套31设置的限位杆33,在本实施例中,限位杆33设置有6根,对应地,调节盘12上开设有限位环槽132,限位杆33的一端通过螺钉与连接套31可拆卸连接,限位杆33的另一端插入至限位环槽132内并与限位环槽132的底壁间隙配合,在调节盘12转动的过程中,限位杆33对调节盘12进行限位,以阻止调节盘12在转动时位置发生偏移的可能性,并预防吊索10在绷直状态下与吊盘1的轴线方向形成夹角,形成横向撕扯调节盘12的拉力,导致调节盘12被支撑杆13拉动而发生位置偏移。
[0041] 参照图3和图4,支撑杆13的两侧均固定连接有约束块7,在本实施例中,约束块7以支撑杆13一体成型,在其他的实施例中,约束快也可以采用焊接的方式固定连接在支撑杆13上,缓冲套61沿自身长度方向贯穿开设有约束槽611,约束块7置于约束内并能够相对缓冲套61滑动。
[0042] 进一步地,缓冲套61主要由两个连接板拼接而成,两个连接板均贯穿开设有第一贯穿孔并通过螺栓插入至第一贯穿孔的方式可拆卸连接,当需要拆换缓冲套61时,将螺栓拧出,使两个连接板脱离配合即可,对应地,支撑杆13沿自身宽度方向开设有用于避让该螺栓的第二贯穿孔131。
[0043] 参照图3和图4,定位套50与缓冲套61连接的一侧台阶状设置,缓冲套61上开设有与定位套50相匹配的台阶孔612,使定位套50与缓冲套61的台阶孔612壁面相咬合,进一步地,定位孔内设置有第二弹性元件9,第二弹性元件9的一端与缓冲套61的台阶面抵
接,第二弹性元件9的另一端与台阶孔612的孔壁抵接,当吊装过程中定位套50受到冲击时,第二弹性元件9会发生收缩,起到较好的减振缓冲效果。
[0044] 此外,台阶孔612的内壁上延伸有定位环板8,定位套50的端部开设有与定位环板8相匹配的定位槽501,第二弹性元件9的两端分别与定位套50的台阶面和台阶孔612壁面抵接,从而对定位套的移动进行约束。
[0045] 本申请实施例的实施原理为:在对保温筒30进行吊装时,将吊杆40与安装圆环2插接,使吊杆40对保温筒30进行定位,随后转动安装于安装盘11内的调节盘12,而支撑杆13上的限位块14与涡状槽121相匹配,在调节盘12的带动下,支撑杆13沿着远离安装盘11中心的方向伸出安装盘11,通过转动调节盘12,以对支撑杆13的长度进行调节,使支撑杆13上的定位套50能够与吊杆40处在同一轴线上,使吊盘1能够与不同尺寸大小的保温筒30相匹配,通用性更高。
[0046] 本具体实施方式的实施例均为本申请的较佳实施例,并非依此限制本申请的保护范围,其中相同的零部件用相同的附图标记表示。故:凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本申请的保护范围之内。
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