技术领域
[0001] 本
发明涉及再生精密清洗技术领域，特别涉及
半导体技术
铝/
铜室(AL/CU Chamber)再生精密清洗技术领域，具体是指压紧环清洗保护及测量治具。
背景技术
[0002] 再生精密清洗是在失效模式控制范围内，清洗客户在使用过程中产生的残留物，并且恢复器件表面和内部的物理性能，以使得客户可以再次使用该器件；铝/铜室(AL/CUChamber)压紧环(Clamp ring)的内边缘夹面(chuck面)在再生过程中会产生一定的损耗，随着再生次数的增加，夹面的损耗程度不断增加，最终导致压紧环无法正常使用。
[0003] 请参见图1所示，图1是压紧环1部件，其内边缘夹面11高度在再生过程中会损耗，每次清洗再生、经
过喷砂处理后，夹面11区域的厚度有一定量的损耗(内径每次清洗损耗大约0.045mm)，并且夹面11产生向下卷曲现象，随着清洗次数的增加，最终导致部件无法满足客户的使用要求，导致部件报废。
[0004] 目前，压紧环1的清洗次数一般20次左右就报废，客户部件更换周期短，更换频繁，中间检查对压紧环1保护需要人工加工工时及保护
胶带，且目前压紧环1失效判断采用的夹面高度测量治具比较昂贵、效率低，如使用Ring chuck测量机测量、监控夹面11高度，判断是否失效，此测量效率不高(测量一个压紧环1大约需要10分钟)，并且此台测量仪价格比价昂贵，用户使用维护成本高。
[0005] 因此，有必要对现有铝/铜室压紧环再生精密清洗存在的上述
缺陷进行全新的设计和改进，
力求减少夹面高度在再生过程中的损耗，提高压紧环清洗次数，延长客户部件更换周期，解决夹面高度测量效率低，测量治具比较昂贵的问题，大大降低用户使用维护成本。
发明内容
[0006] 本发明的目的是克服了上述
现有技术中的缺点，提供了压紧环清洗保护及测量治具，该压紧环清洗保护及测量治具设计巧妙，能大大减少夹面高度在再生过程中的损耗，显著提高压紧环清洗次数，延长客户部件更换周期，解决夹面高度测量效率低、测量治具比较昂贵的问题，大大降低用户使用维护成本，适于大规模推广应用。
[0007] 为了实现上述目的，在第一方面，本发明提供了一种压紧环清洗底部保护治具，其特点是，所述压紧环清洗底部保护治具包括夹面
支撑部，所述夹面支撑部具有支撑所述压紧环的夹面底部的顶部表面。
[0008] 较佳地，所述夹面支撑部为夹面支撑环。
[0009] 更佳地，所述夹面支撑环的顶部外侧具有至少一对向内对称的凹陷。保证压紧环夹面上的小
块(pad)落在凹陷内，使夹面与压紧环清洗底部保护治具的顶部表面紧贴，从而保证在
喷砂处理时压紧环清洗底部保护治具起到完全的保护作用。
[0010] 较佳地，所述压紧环清洗底部保护治具还包括底座，所述夹面支撑部设置在所述底座上。
[0011] 更佳地，所述压紧环清洗底部保护治具还包括限位所述压紧环的限位部，所述限位部设置在所述底座上，所述夹面支撑部位于所述限位部内。
[0012] 更进一步地，所述限位部为限位环，所述夹面支撑部为支撑环。
[0013] 在本发明的第二方面，还提供了一种压紧环清洗上部保护治具，其特点是，所述压紧环清洗上部保护治具包括遮盖所述压紧环的夹面上部的遮盖面。
[0014] 较佳地，所述压紧环清洗上部保护治具为环形圈，所述遮盖面为所述环形圈的下表面。
[0015] 更佳地，所述的环形圈的下表面上设置有对称凹部。与夹面上部有凸部(shadow)的夹紧环匹配，起到
定位作用，使夹面上部与压紧环清洗上部保护治具的遮盖面紧贴，从而保证在喷砂处理时压紧环清洗上部保护治具起到完全的保护作用。
[0016] 在本发明的第三方面，还提供了一种压紧环夹面高度检测治具，其特点是，所述压紧环夹面高度检测治具包括
底板和设置在所述底板上的夹面支承部，所述夹面支承部具有支承所述压紧环的夹面底部的上部表面，所述底板的上表面平行于所述上部表面。
[0017] 较佳地，所述夹面支承部是夹面支承环。
[0018] 本发明的有益效果具体如下：
[0019] 1、本发明的压紧环清洗底部保护治具包括夹面支撑部，所述夹面支撑部具有支撑所述压紧环的夹面底部的顶部表面，使用时压紧环的夹面底部紧贴在夹面支撑部的顶部表面上，防止部件夹面受外作用力而使夹面产生弯曲，节省中间检查对压紧环保护人工加工工时及保护胶带，大大降低用户使用维护成本；
[0020] 2、本发明的压紧环清洗上部保护治具包括遮盖所述压紧环的夹面上部的遮盖面，使用时该遮盖面遮盖住压紧环的夹面上部，合理保护夹面上部，进行分段分压力进行喷砂，大大降低压紧环的夹面高度在再生过程中的损耗，显著提高压紧环清洗次数，延长客户部件更换周期，大大降低用户使用维护成本；
[0021] 3、本发明的压紧环夹面高度检测治具包括底板和设置在所述底板上的夹面支承部，所述夹面支承部具有支承所述压紧环的夹面底部的上部表面，所述底板的上表面平行于所述上部表面，测量时，部件夹面紧贴在检测治具的上部平面上，采用塞尺测量、监控夹面高度，判断是否失效，解决夹面高度测量效率低、测量治具比较昂贵的问题，大大降低用户使用维护成本。
附图说明
[0022] 图1是现有压紧环的剖视示意图。
[0023] 图2是本发明的压紧环清洗底部保护治具的一具体
实施例的俯视示意图。
[0024] 图3是图2所示的具体实施例的剖视示意图。
[0025] 图4是本发明的压紧环清洗上部保护治具的一具体实施例的俯视示意图。
[0026] 图5是图4所示的具体实施例的剖视示意图。
[0027] 图6是本发明的压紧环夹面高度检测治具的一具体实施例的俯视示意图。
[0028] 图7是图6所示的具体实施例的局部剖视示意图。
[0029] 图8是图3所示的具体实施例使用时与图1所示的压紧环的对应示意图。
[0030] 图9是图4所示的具体实施例使用时与图1所示的压紧环的对应示意图。
[0031] 图10是图6所示的具体实施例使用时与图1所示的压紧环的对应示意图。
具体实施方式
[0032] 为了能够更清楚地理解本发明的技术内容，特举以下实施例详细说明。
[0033] 请参阅图2和图3所示，并结合图1所示，本发明的压紧环清洗底部保护治具2包括夹面支撑部21，所述夹面支撑部21具有支撑所述压紧环1的夹面11底部的顶部表面22。
[0034] 较佳地，所述夹面支撑部21为夹面支撑环。更佳地，所述夹面支撑环的顶部外侧具有至少一对向内对称的凹陷23。在本发明的具体实施例中，所述夹面支撑环的顶部外侧具有三对向内对称的凹陷23。保证压紧环1的夹面11上的6个小块(pad)落在6个凹陷23内，使夹面11与压紧环清洗底部保护治具2的顶部表面22紧贴，从而保证在喷砂处理时压紧环清洗底部保护治具2起到完全的保护作用。
[0035] 较佳地，所述压紧环清洗底部保护治具2还包括底座24，所述夹面支撑部21设置在所述底座24上。更佳地，所述压紧环清洗底部保护治具2还包括限位所述压紧环1的限位部25，所述限位部25设置在所述底座24上，所述夹面支撑部21位于所述限位部25内。在本发明的具体实施例中，所述限位部25为限位环，所述夹面支撑部21为支撑环。
[0036] 请参见图4和图5所示，本发明的压紧环清洗上部保护治具3包括遮盖所述压紧环1的夹面11上部的遮盖面31。较佳地，所述压紧环清洗上部保护治具3为环形圈，所述遮盖面31为所述环形圈的下表面。在本发明的具体实施例中，所述的环形圈的下表面上设置有对称凹部32。与夹面11上部有凸部(shadow)的夹紧环1匹配，起到定位作用，使夹面11上部与压紧环清洗上部保护治具3的遮盖面31紧贴，从而保证在喷砂处理时压紧环清洗上部保护治具3起到完全的保护作用。
[0037] 请参见图6和图7所示，本发明的压紧环夹面高度检测治具4包括底板41和设置在所述底板41上的夹面支承部42，所述夹面支承部42具有支承所述压紧环1的夹面11底部的上部表面43，所述底板41的上表面44平行于所述上部表面43。在本发明的具体实施例中，所述夹面支承部42是夹面支承环。
[0038] 本发明的压紧环清洗底部保护治具2是压紧环1的底部清洗时的保护治具。请参见图8所示，使用时，压紧环清洗底部保护治具2放置在压紧环1的下部，压紧环1的夹面11紧贴在夹面支撑部21的顶部表面22上，从而防止压紧环1的夹面11在受外作用力使夹面11产生弯曲，减少中间检查对压紧环1保护人工加工工时及节省保护胶带(使用压紧环清洗底部保护治具2保护每个压紧环1可节省0.95m保护胶带和5min人工加工工时)。
[0039] 本发明的压紧环清洗上部保护治具3是压紧环1的上部清洗时的保护治具。请参见图9所示，使用时，压紧环清洗上部保护治具3放置在压紧环1的夹面11的上部区域，遮盖面31紧贴压紧环1的夹面11的上部，使用此保护治具，对易损耗区域进行保护，并且采取分段分压的喷砂方式来降低压紧环1的夹面11高度的清洗再生损耗(内径每次清洗损耗大约0.025mm)。
[0040] 本发明的压紧环夹面高度检测治具4是压紧环1的夹面11的高度检测治具。请参见图10所示，使用时，压紧环夹面高度检测治具4放置在压紧环1的下部，压紧环1的夹面11紧贴在夹面支承部42的上部表面43上，采用塞尺测量、监控夹面11高度，判断失效标准。
[0041] 采用了本发明的上述压紧环清洗底部保护治具2、压紧环清洗上部保护治具3和压紧环夹面高度检测治具4后，压紧环1的清洗次数达到35次左右(原来20次左右就报废)。
[0042] 综上，本发明的压紧环清洗保护及测量治具设计巧妙，能大大减少夹面高度在再生过程中的损耗，显著提高压紧环清洗次数，延长客户部件更换周期，解决夹面高度测量效率低、测量治具比较昂贵的问题，大大降低用户使用维护成本，适于大规模推广应用。
[0043] 在此
说明书中，本发明已参照其特定的实施例作了描述。但是，很显然仍可以作出各种
修改和变换而不背离本发明的精神和范围。因此，说明书和附图应被认为是说明性的而非限制性的。
