专利汇可以提供一种降低铟柱焊点应力的焦平面器件专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种降低铟柱焊点应 力 的焦平面器件,包括:阵列探测器光敏元芯片,通过铟柱与阵列探测器光敏元芯片互连的 硅 信号 读出 电路 ,其特征在于:在用于电学互连铟柱区域边添加1~2个较 大底 面积的降 应力 铟柱,或在面阵电学互连铟柱2区域外围四周,添加1~2排较大底面积的降应力铟柱。较大底面积的降应力铟柱尺寸的选择及精确 定位 是通过ANSYS 有限元分析 软件 编程,在PC机WIN2000平台上运行。这种结构可使铟柱焊点应力下降70%左右,可以基本缓解互连封装铟柱焊点应力造成的可靠性降低,并且只需常规工艺就可制备。,下面是一种降低铟柱焊点应力的焦平面器件专利的具体信息内容。
1.一种降低铟柱焊点应力的焦平面器件,包括:阵列探测器光敏元芯片 (1),通过铟柱(2)与阵列探测器光敏元芯片互连的硅信号读出电路(3), 其特征在于:
在用于电学互连铟柱(2)区域边添加1~2个较大底面积的降应力铟柱(4), 或在面阵电学互连铟柱(2)区域外围四周,添加1~2排较大底面积的降应力 铟柱(4)。
2.根据权利要求1的一种降低铟柱焊点应力的焦平面器件,其特征在于:
所说的较大底面积降应力铟柱尺寸的选择及精确定位是通过ANSYS有限 元分析软件编程,在PC机WIN2000平台上运行,根据输出的结果判定,其过 程如下:
A.选定PLANE13单元类型直接耦合场分析;
B.将被分析样品:探测器衬底材料、读出电路Si材料和In柱材料的杨 氏模量及热膨胀系数输入,由于外延生长的探测材料的厚度小于6微米,在这 里忽略其对应力的影响,因此不作考虑;
C.建立几何模型,即将衬底、Si读出电路和In柱几何尺寸输入;
D.设定稳态分析,样品温度不随时间变化;
E.设置被模拟对象随温度变化后,引起的形变只发生在In柱和小尺寸被 互连芯片上,较大尺寸被互连芯片作为整个模拟环境的固定基准,即其形变忽 略,设置初始温度及需要加载被模拟的温度;
F.设定非线性大变形分析;设置分析环境的收敛判据;进行运算求解; 对计算结果进行列表显示,整理数据,获得最大应力发生的位置;
G.然后添加降应力铟柱几何尺寸,如此往复运算,最后获得添加降应力 铟柱后的电学互连铟柱应力下降的曲线图,由此获得降应力铟柱尺寸。
本发明属于光电子集成技术领域,具体涉及一种能降低探测器阵列芯片与 硅读出电路互连的铟柱焊点应力的红外焦平面器件。
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