专利汇可以提供一种薄型器件平面减应力金属互连结构及制备方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种薄型器件平面减应 力 金属互连结构,属于薄型器件 电子 封装。平面减 应力 互连结构特征在于其减应力通过七个“Ω”结构和两个半“工”字形镂空结构来实现,调节“Ω”结构和“工”字形结构的几何尺寸,可适应不同互连间隙下薄型器件的平面减应力互连。制备方法,按照设计几何尺寸,采用激光加工或精密模具 冲压 制备。本 发明 的金属互连结构具有良好的应力缓冲或释放能力,可适应大梯度宽温域高低温环境下薄型器件的电子互连,尤其是整体胶接封装器件的平面减应力互连,且具有一定的机械强度、合适的几何尺寸,易于取、放及自动化制程。,下面是一种薄型器件平面减应力金属互连结构及制备方法专利的具体信息内容。
1.一种薄型器件平面减应力金属互连结构,其特征在于,包括:减应力结构和焊盘,所述的减应力结构由七个平面“Ω”结构和两个半“工”字形镂空结构。
2.根据权利要求1所述的一种薄型器件平面减应力金属互连结构,其特征在于:所述七个平面“Ω”形结构,其中六个由中心对称的三个串联“Ω”结构组成。
3.根据权利要求1所述的一种薄型器件平面减应力金属互连结构,其特征在于:所述两个半“工”字形镂空结构呈中心对称。
4.根据权利要求1所述的一种薄型器件平面减应力金属互连结构,其特征在于:所述金属互连结构的厚度为10μm~100μm。
5.根据权利要求1所述的一种薄型器件平面减应力金属互连结构,其特征在于:所述焊盘线宽大于或等于0.2mm。
6.根据权利要求2所述的一种薄型器件平面减应力金属互连结构,其特征在于:所述中心对称的三个串联“Ω”结构,其中两个中心对称的“Ω”结构在中心处串联,以增强其机械性能。
7.根据权利要求6所述的一种薄型器件平面减应力金属互连结构,其特征在于:所述“Ω”结构的圆弧内径大于或等于0.1mm,宽度大于或等于0.2mm。
8.一种薄型器件平面减应力金属互连结构制备方法,其特征在于,包含激光切割或精密模具冲压成型,切割或成型精度大于或等于0.05mm。
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