用于太阳能电池制造的小接触的阵列
专利汇可以提供用于太阳能电池制造的小接触的阵列专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 采用印刷的 接触 掩模(400)来制造 太阳能 电池 。该接触掩模(400)可以包括通 过喷 墨印刷形成的点(306)。该点(306)可以形成在 电介质 层(例如聚酰亚胺)之间的开口中。重叠点(306)的交叉可以形成限定接触区域的空隙(321)。空隙(321)的间隔可以取决于分送点(306)的 喷嘴 的排列。可采用点(306)作为接触掩模(400) 刻蚀 下面的电介质层，用以形成通过该下面的电介质层的接触区域。在晶片上可以形成金属接触指用以形成通过接触区域到对应的扩散区域的电连接。，下面是用于太阳能电池制造的小接触的阵列专利的具体信息内容。
1.一种太阳能电池的制造方法，该方法包括：
在要被处理到太阳能电池中的晶片上形成第一电介质层；
在该第一电介质层上形成多个第二电介质层；以及
至少在该第二电介质层之间的开口中喷墨印刷多个点用以通过该点的交叉形成多个空隙，该空隙的间隔取决于分送该点的喷墨印刷机喷嘴的排列。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中该第二电介质层包括在该晶片上丝网印刷的聚酰亚胺。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，还包括：
用该多个点作为掩模通过该第一电介质层形成接触区域；
从该晶片移除该多个点；以及
在该第一电介质层上形成金属接触指用以产生通过该接触区域到该第一电介质层下的扩散区域的电连接。
4.根据权利要求3所述的太阳能电池的制造方法，其中至少一些该金属接触指包括所形成的用以产生通过至少一些该接触区域到对应N型扩散区域的电连接的N型金属接触指，和所形成的用以产生通过至少一些该接触区域到对应P型扩散区域的电连接的P型金属接触指，该P型和N型扩散区域在该晶片的背面形成，该背面与在正常工作期间面向太阳的该晶片的前面相对。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池的制造方法，其中不是该P型金属接触指而是该N型金属接触指在该第二电介质层上形成。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中该第一电介质层包括二氧化硅且该第二电介质层包括聚酰亚胺。
7.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其中该点在该晶片上在包括该喷嘴的印刷头的一次经过中以一个方向被印刷。
8.根据权利要求7所述的太阳能电池的制造方法，还包括：
至少以另一次经过使该印刷头在该晶片上经过，用以印刷覆盖在多个空隙中的一个空隙上的另一个点。
9.一种太阳能电池的制造方法，该方法包括：
在太阳能电池晶片上形成第一电介质层；
在该第一电介质层上形成多个第二电介质层；
至少在两个该第二电介质层之间的开口中印刷多个点，该多个点形成接触掩模，形成多个空隙，每一个该空隙由在该多个点中的重叠点的交叉来限定；以及刻蚀通过该空隙暴露的该第一电介质层的部分用以形成暴露该太阳能电池的多个扩散区域的多个接触区域。
10.根据权利要求9所述的太阳能电池的制造方法，还包括：
从该晶片移除该多个点；以及
在该多个接触区域中形成金属接触指用以电连接到在该多个扩散区域中的对应的扩散区域。
11.根据权利要求10所述的太阳能电池的制造方法，其中一些该金属接触指包括N型金属接触指，其电连接到在该太阳能电池的背面上的该多个扩散区域中的N型扩散区域，并且一些该金属接触指包括P型金属接触指，其电连接到在该太阳能电池的背面上的该多个扩散区域中的P型扩散区域。
12.根据权利要求9所述的太阳能电池的制造方法，其中该多个第二电介质层在该第一电介质层上丝网印刷。
13.根据权利要求9所述的太阳能电池的制造方法，其中该多个点采用喷墨印刷机印刷。
14.根据权利要求9所述的太阳能电池的制造方法，其中该多个第二电介质层包括聚酰亚胺。
15.根据权利要求9所述的太阳能电池的制造方法，其中该第一电介质层包括二氧化硅。
16.一种太阳能电池的制造方法，该方法包括：
在太阳能电池晶片上两个电介质层之间的开口中印刷多个点，该多个点限定空隙，每个空隙通过该多个点中重叠点的交叉来形成，在该空隙之间的间隔由分送该多个点的喷嘴的物理排列所限定，以便该多个点不严格对准于其上印刷该多个点的太阳能电池晶片的部件；
用该多个点作为刻蚀掩模来刻蚀该两个电介质层中在该多个点下方的一个电介质层，用以形成到下面的扩散区域的接触区域，该接触区域由该空隙所限定；以及在该一个电介层上形成金属接触指，形成该金属接触指用以通过该接触区域电连接到该下面的扩散区域。
17.根据权利要求16所述的太阳能电池的制造方法，其中该其他层包括二氧化硅。
18.根据权利要求16所述的太阳能电池的制造方法，其中该两个电介质层包括聚酰亚胺。
19.根据权利要求16所述的太阳能电池的制造方法，其中该金属接触指包括N型金属接触指且该下面的扩散区域包括N型扩散区域。
20.根据权利要求16所述的太阳能电池的制造方法，其中多个点在该晶片上在喷墨印刷机的一次经过以一个方向被印刷。
用于太阳能电池制造的小接触的阵列
技术领域
背景技术
发明内容
附图说明
具体实施方式
然而，为了节约成本该电介质层305优选地被丝网印刷，这在太阳能电池应用中尤其重要。
在一个实施例中，在层305之间的开口约200μm。
306的交叉形成每一空隙321。有利地，可以通过分送点306的喷嘴的物理排列来限定和指定空隙321的尺寸和位置。例如，可以通过喷墨喷嘴的间距来限定点306的中心之间的尺寸401。结果，空隙之间的间隔也可以通过分送点的喷嘴的物理排列来指定。
304的暴露的部分(即空隙321正下方的部分)，来形成接触区域311。在该刻蚀工艺中，层
305用作刻蚀终止。图3C图示了在BOE工艺和随后移除接触掩模400后的图3B的例子。
在去除掩模工艺(mask strip process)中，可采用氢氧化钾(KOH)移除包括热熔树脂的接触掩模400。
3D的示例中，金属接触指312是P型金属接触指，这是因为其通过接触区域311电连接到P型扩散区域303。类似地，金属接触指313是N型金属接触指，因为其通过接触区域311电连接到N型扩散区域302。可以将外部电路电连接到金属接触指用以接收来自太阳能电池的电力。
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