半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法
专利汇可以提供半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 半导体 8寸 晶圆 蚀刻制程TD/DRM工艺 石英 绝缘环的再生方法，包括如下步骤：1)取石英绝缘环，浸泡于清洗用 水 内20~30分钟；2)取出石英绝缘环，进行第一轮 超 声波 清洗；3)进行第二轮 超声波 清洗；4)进行第三轮超声波清洗；5)对石英绝缘环进行高压喷淋清洗；6)送入烘箱，将石英绝缘环 烘烤 5~10分钟；7)由烘箱中取出后直接送入低温冷冻室，对石英绝缘环进行急速冷冻，冷冻时长30~60分钟；8)取出石英绝缘环，敲打石英绝缘环表面，自然升温至室温，完成对所述石英绝缘环的再生。所述再生方法不采用任何化学 试剂 ，通 过热 胀冷缩的物理学原理，即可实现对石英绝缘环的清洗、再生，再生成本低、节能环保，对环境友好、无污染。，下面是半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法专利的具体信息内容。
1.一种半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
1)取石英绝缘环，放置于清洗槽内，浸泡于清洗用水内20 30分钟；
~
2)取出石英绝缘环，送入第一超声波清洗机，进行第一轮超声波清洗，超声波功率为80
100KHz；
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3)取出石英绝缘环，送入第二超声波清洗机，进行第二轮超声波清洗，超声波功率为
150 200KHz；
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4)取出石英绝缘环，送入第三超声波清洗机，进行第三轮超声波清洗，超声波功率为
300 400KHz；
~
5)取出石英绝缘环，送入高压喷淋机，对石英绝缘环进行高压喷淋清洗；
6)将高压喷淋清洗后的石英绝缘环送入烘箱，设置烘箱温度700 800℃，将石英绝缘环~
烘烤5 10分钟，使得石英绝缘环表面附着物熔化、液化；
~
7)将高温烘烤后的石英绝缘环由烘箱中取出后直接送入低温冷冻室，以40 50℃/分钟~
的降温速度降温至-30 -20℃，对石英绝缘环进行急速冷冻，冷冻时长30 60分钟，使得石英~ ~
绝缘环表面附着物结块；
8)取出石英绝缘环，敲打石英绝缘环表面，使得表面附着物破碎、脱落，自然升温至室温，完成对所述石英绝缘环的再生。
2.根据权利要求1所述的半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法，其特征在于，步骤1)所述清洗用水为去离子水。
3.根据权利要求1所述的半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法，其特征在于，步骤2)中超声波清洗用水为超纯水，水温60 70℃，清洗时长4 6分钟。
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4.根据权利要求1所述的半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法，其特征在于，步骤3)中超声波清洗用水为去离子水，水温为60 80℃，清洗时长为5 10分钟。
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5.根据权利要求1所述的半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法，其特征在于，步骤4)中超声波清洗用水为超纯水，水温70 80℃，清洗时长为8 12分钟。
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6.根据权利要求1所述的半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法，其特征在于，步骤5)采用高压喷头对石英绝缘环进行高压喷淋清洗，高压喷头喷射压力为
0.5 2MPa。
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7.根据权利要求1所述的半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法，其特征在于，步骤7)采用干冰或液氮将石英绝缘环降温至-30 -20℃。
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8.根据权利要求1所述的半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法，其特征在于，步骤5)在高压喷淋清洗过程中，将石英绝缘环套设于一轴杆上，轴杆表面设置有用于支撑石英绝缘环的支撑杆，轴杆均速旋转，使得石英绝缘环外周得到充分喷淋清洗。
半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法
技术领域
背景技术
发明内容
一种半导体8寸晶圆蚀刻制程TD/DRM工艺石英绝缘环的再生方法，所述方法包括如下
步骤：
1)取石英绝缘环，放置于清洗槽内，浸泡于清洗用水内20 30分钟；
~
2)取出石英绝缘环，送入第一超声波清洗机，进行第一轮超声波清洗，超声波功率为80
100KHz；
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3)取出石英绝缘环，送入第二超声波清洗机，进行第二轮超声波清洗，超声波功率为
150 200KHz；
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4)取出石英绝缘环，送入第三超声波清洗机，进行第三轮超声波清洗，超声波功率为
300 400KHz；
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5) 取出石英绝缘环，送入高压喷淋机，对石英绝缘环进行高压喷淋清洗；
6)将高压喷淋清洗后的石英绝缘环送入烘箱，设置烘箱温度700 800℃，将石英绝缘环~
烘烤5 10分钟，使得石英绝缘环表面附着物熔化、液化；
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7)将高温烘烤后的石英绝缘环由烘箱中取出后直接送入低温冷冻室，以40 50℃/分钟
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的降温速度降温至-30 -20℃，对石英绝缘环进行急速冷冻，冷冻时长30 60分钟，使得石英~ ~
绝缘环表面附着物结块；
8)取出石英绝缘环，敲打石英绝缘环表面，使得表面附着物破碎、脱落，自然升温至室温，完成对所述石英绝缘环的再生。
然后在700 800℃的高温下烘烤，再采用干冰或液氮将石英绝缘环急速冷却至-30 -20℃，~ ~
即可有效剥离附着于石英绝缘环表面的附着物，整个过程不采用任何化学试剂，通过热胀冷缩的物理学原理，即可实现对石英绝缘环的清洗、再生，再生成本低、节能环保，对环境友好、无污染。
具体实施方式
1) 取石英绝缘环，放置于清洗槽内，浸泡于清洗用水内20 30分钟；
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2)取出石英绝缘环，送入第一超声波清洗机，进行第一轮超声波清洗，超声波功率为80
100KHz；
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3) 取出石英绝缘环，送入第二超声波清洗机，进行第二轮超声波清洗，超声波功率为
150 200KHz；
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4) 取出石英绝缘环，送入第三超声波清洗机，进行第三轮超声波清洗，超声波功率为
300 400KHz；
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5) 取出石英绝缘环，送入高压喷淋机，对石英绝缘环进行高压喷淋清洗；
6)将高压喷淋清洗后的石英绝缘环送入烘箱，设置烘箱温度700 800℃，将石英绝缘环~
烘烤5 10分钟，使得石英绝缘环表面附着物熔化、液化；
~
7) 将高温烘烤后的石英绝缘环由烘箱中取出后直接送入低温冷冻室，以40 50℃/分
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钟的降温速度降温至-30 -20℃，对石英绝缘环进行急速冷冻，冷冻时长30 60分钟，使得石~ ~
英绝缘环表面附着物结块；
8)取出石英绝缘环，敲打石英绝缘环表面，使得表面附着物破碎、脱落，自然升温至室温，完成对所述石英绝缘环的再生。
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