专利汇可以提供一种超声波雾化等离子体处理装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种 超 声波 雾化 等离子体 处理装置,包括电源、 超声波 换能器 、超声波 喷嘴 以及 电极 座,上述超声波喷嘴连接上述超声波换能器,上述超声波换能器与上述电极座之间设有绝缘层,上所述电极座接地,上述超声波换能器接高频电源正极。电极座与超声波换成器之间产生 电场 放电, 喷雾器 ,将雾化后的反应原料进行放电,进而产生等离子体。超声波雾化使得产生的等离子体更加均匀分布,超声波换能器可以将 电能 转换成振动机械能,能有效促进气体的均匀分布,并有助于放电产生等离子体。,下面是一种超声波雾化等离子体处理装置专利的具体信息内容。
1.一种超声波雾化等离子体处理装置,其特征在于,包括电源、超声波换能器、超声波喷嘴以及电极座,所述超声波换能器上开设有通气孔,所述超声波换能器中还开设有注液孔,所述超声波喷嘴与所述超声波换能器连接设置,所述超声波换能器与所述超声波喷嘴设置于所述电极座上,所述超声波换能器连接高频电源正极,所述电极座接地,所述超声波换能器及所述超声波喷嘴与所述电极座之间设有绝缘层。
2.根据权利要求1所述的超声波雾化等离子体处理装置,其特征在于,所述注液孔通过通液管道连接设有注射泵。
3.根据权利要求1所述的超声波雾化等离子体处理装置,其特征在于,所述通气孔连接通气管道。
4.根据权利要求3所述的超声波雾化等离子体处理装置,其特征在于,所述通气管道上还设有流量调节阀。
5.根据权利要求1所述的超声波雾化等离子体处理装置,其特征在于,所述高频电源的频率范围为10Khz—100Khz。
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