一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路
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1.一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路，它包括CPLD模块、CCD控制信号驱动模块、电源及过流保护器、电压变换器、CCD传感器、数据存储器、单片机控制模块、A/D转换模块、信号放大电路、以太网/USB通讯模块；其特征在于所述的CPLD模块中的CPLD芯片型号为
5M1270Z TQ144；所述的单片机控制模块中的单片机芯片型号为PIC32MZ-144；所述的CCD传感器型号为S11155-2048-01；所述的单片机控制模块分别与数据存储器、电源及过流保护器、以太网/USB通讯模块、电压变换器、A/D转换模块相连；所述的CCD传感器分别与CCD控制信号驱动模块、电压变换器、信号放大电路相连；所述的CPLD模块分别与数据存储器、CCD控制信号驱动模块、电压变换器相连。
2.根据权利要求1所述的一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路其特征在于：还包括所述A/D转换模块包括一AD9826型模/数信号转换芯片。
3.根据权利要求1所述的一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路其特征在于：还包括所述的电压变换电路中包含有一AD5203型数字可调电阻芯片。
一种全波长晶圆蚀刻终点探测控制系统电路
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