专利汇可以提供微机械角加速度传感器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及了微机械 角 加速 度 传感器 ,主要包括一个悬浮 质量 块 ,两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测 角加速度 相关的检测极板,检测极板与固定端固定,质量块与检测极板为电容的两个极;在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时,质量块将发生偏转,导致质量块与检测极板之间的距离发生变化,最终导致检测极板与质量块之间的电容值发生变化,通过测试检测极板的电容变化量就可以判定被测角加速度的大小。具有结构简单,抗过载能 力 强,灵敏度和测量 精度 高的微机械角加速度传感器。,下面是微机械角加速度传感器专利的具体信息内容。
1、微机械角加速度传感器,包括一个悬浮质量块,两根连接悬浮质量块与 固定端的梁,其特征在于:还包括两块与检测角加速度相关的检测极板;检测 极板与固定端固定,质量块与检测极板为电容的两个极;在连接质量块的梁上 施加一个旋转的角加速度时,质量块将发生偏转,导致质量块与检测极板之间 的距离发生变化,最终导致检测极板与质量块的电容值发生变化,通过测试检 测极板的电容变化量,来判定被测角加速度的大小。
2、根据权利要求1所述的微机械角加速度传感器,其特征在于:所述的一 个质量块上设有若干个方孔,对应于质量块上所设的方孔,检测极板上设有若 干个叉齿,叉齿插入质量块上的方孔中间,增加了检测极板与质量块之间的电 容值和电容变化量,提高了传感器的灵敏度。
3、根据权利要求1所述的微机械角加速度传感器,其特征在于:它有差分 解调信号检测系统;微机械角加速度传感器的质量块与两块检测极板构成两个 电容C1、C2,电容两边加一高频电压VAC作为调制信号,将低频变化的角加速 度机械振动信号通过幅度调制为高频电压信号,并将检测到的高频电压信号分 别通过所连接的两个运放电路放大后变为电压信号V1、V2,该电压信号V1、V2 通过连接的差分放大器、全波整流器、低通滤波器后,可将低频角加速度信号 从高频载波上解调出来,再由放大器将信号再次放大并输出所检测的角加速度 的电压信号。
4、根据权利要求1所述的微机械角加速度传感器,其特征在于:它有自振 荡信号检测系统;微机械角加速度传感器的质量块与检测极板组成两个电极; 其中一个电极作为检测电极,用来测试由角加速度引起的电容变化信号,将该 信号经过所连接电容/电压C/V转换器转换为电压信号,再经所连接全波整流器、 低通滤波器的整流及滤波后,由放大器将信号再次放大并输出所检测的角加速 度的电压信号;另一个电极作为驱动电极,通过作用在驱动电极上的电压作为 静电驱动力,让质量块围绕中间的轴摆动起来,作用在驱动电极上的电压包括驱 动直流电压和驱动交流电压,驱动直流电压由固定的参加电压VREF提供,驱动 交流电压是由C/V转换后连接并经过相移器和限幅电路的相移和限幅后产生的。 从检测电极到驱动电极构成了闭环振荡系统,自振荡的频率作为角加速信号的 载波频率。
5、根据权利要求3所述的微机械角加速度传感器,其特征在于:所述的两 个运放电路分别由放大集成电路、电容C和电阻R构成,并分别由直流电源VT1、 VT2供电,调整VT1、VT2电压值,可用于调节输出角加速度的偏置和灵敏度。
6、根据权利要求4所述的微机械角加速度传感器,其特征在于:所述的放 大器C/V由放大集成电路、电容C和电阻R构成,由直流电源VT3供电,调整 VT3电压值,可用于调节输出角加速度的偏置和灵敏度。
本发明属于微电子技术领域,特别涉及一种用于测量运动体的姿态的角加 速度传感器。
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