技术领域
[0001] 本
发明涉及一种电性量测装置，特别是关于一种电阻率量测装置。
背景技术
[0002]
方块电阻又称
薄膜电阻，为表征薄膜
导电性能的物理量。薄膜的电阻及电阻均匀性与产品功能息息相关。一般采用四探针法进行量测，该方法原理简单，且为非破坏性的测量方式。
[0003] 传统量测方法是将待测的产品，如ITO薄膜或玻璃等，置于工作平台上，然后通过测试人员将四探针量测仪的探针测试头垂直
接触于产品需要量测的区域，待量测仪的读数稳定时，记录该读数作为此区域的表面阻抗。
[0004] 这种传统电阻率量测方法由人工完成，测试效率较低且要耗费较高的人工成本。且不同测试人员在测量时手法和量测
力度上会有所不同，导致量测的准确性受到影响。
发明内容
[0005] 本发明提供一种自动化的电阻率量测装置，包括：一载物平台，用以承载被测产品；一入料传送机，该载物平台设于该入料传送机上，该入料传送机包括用以横向移动该载物平台的入料导轮组；一探针模组，用以对该被测产品进行电阻测试；一探针
位置调节机构，设于该入料传送机上且连接该探针模组，用以升降及纵向移动该探针模组；一
旋转机，连接该入料传送机，用以将该被测产品从入料端传送至出料端，且该旋转机可调整该被测产品于其上的传送方向；以及一
控制器，分别与该入料传送机、探针模组、探针位置调节机构及旋转机电连接。
[0006] 采用本发明，实现了自动检测电阻率，提高了量测效率、减少了人力成本。且相对于习知的手工量测方法，提高了量测的准确性。通过旋转机自动将量测不合格的产品送入收料机内，杜绝电阻值不合格的不良品流出。
附图说明
[0007] 图1为本发明电阻率量测装置一较佳
实施例的立体图；
[0008] 图2为本发明电阻率量测装置一较佳实施例之探测段的立体图；
[0009] 图3为图2所示探测段的主视图；
[0010] 图4为图2所示探测段的左视图；
[0011] 图5为图2所示探测段的俯视图；
[0012] 图6为图1所示旋转机和收料机的立体图；
[0013] 图7为图6所示旋转机的主视图；
[0014] 图8为图7所示旋转机的左视图；
[0015] 图9为图7所示旋转机的俯视图；
[0016] 图10为图1所示电阻率量测装置中升降机构的局部示意图；
[0017] 图11为探针位置调节机构和探针量测头之一较佳实施例的立体图；
[0018] 图12为图11所示探针位置调节机构和探针量测头的主视图；
[0019] 图13为设置在滑块上之探针量测头的立体图；
[0020] 图14为图13所示设置在滑块上之探针量测头的主视图；
[0021] 图15为图13所示设置在滑块上之探针量测头的左视图。
具体实施方式
[0022] 下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。
[0023] 图1为本发明电阻率量测装置一较佳实施例的立体图，如图1所示，本发明中的电阻率量测装置100主要包括：一载物平台110、一入料传送机120、一探针模组130(图1未标示)、一探针位置调节机构140、一旋转机160及一控制器。其中，载物平台110、入料传送机120、探针模组130及探针位置调节机构140共同组成探测段200(图1未标示)。
[0024] 请参阅图2至图5，图2为本发明电阻率量测装置一较佳实施例中之探测段200的立体图，图3为图2所示探测段200的主视图；图4为图2所示探测段200的左视图；图5为图2所示探测段200的俯视图。如图2至图5所示，载物平台110设于入料传送机120上，用以承载被测产品，例如玻璃
基板。入料传送机120包括用以在平面上横向移动载物平台110的入料导轮组122，其通过转动入料导轮组122，带动载物平台110横向移动。
[0025] 探针位置调节机构140设于入料传送机120上，且连接用以对被测产品进行电阻量测的探针模组130。探针位置调节机构140用以在垂直方向上升降及
水平方向上纵向移动该探针模组130。
[0026] 请参与图6至图9，图6为图1所示旋转机160和收料机170的立体图；图7为图6所示旋转机160的主视图；图8为图7所示旋转机160的左视图；图9为图7所示旋转机
160的俯视图。如图6至图9所示：旋转机160的一端连接入料传送机120，另一端与收料机170或下游设备相连。旋转机160包括出料导轮组162，用以将被测产品从出料导轮组
162的入料端运至出料端，该入料端即出料导轮组162从载物平台110上接收被测产品的一端。旋转机160还包括用以在平面内转动该出料导轮组162的旋转机构164，该旋转机构164可将出料导轮组162从入料导轮组122的传动方向(即横向)水平旋转至垂直方向(即纵向)，以控制出料导轮组162可将被测产品运送至收料机170或下游设备。
[0027] 控制器分别与入料传送机120、探针模组130、探针位置调节机构140及旋转机160电连接，用以控制入料导轮组122转动，通过入料传送机120的横向移动将载物平台110上的被测产品送至探针模组130的下方。控制器随后控制探针位置调节机构140将探针模组130下压，与被测产品表面形成欧姆连接，进行电阻量测。还可根据被测产品的类型，纵向移动探针模组130以调整探针模组130与被测产品接触的位置。电阻量测完毕后，控制器随后控制载物平台110下降以及探针模组130上升，控制器控制入料传送机120与旋转机160配合，将被测产品通过出料导轮组162送至旋转机160上，并根据先前电阻量测的结果，将被测产品送往下游设备或收料机170上。其中若电阻量测通过，则出料导轮组162将被测产品纵向送至下游设备，进行后续的清洗、网印等工艺流程；若电阻量测不合格，则控制器控制旋转机构164将出料导轮组162水平旋转90度，将被测产品纵向送入收料机170内。在其它实施例中，亦可将收料机170与下游设备位置调换，即收料机170改为横向设置，而下游设备变为纵向设置。或将收料机170替换为其它可实现收纳电阻量测不合格的被测产品的设备。控制器可以采用Omron的可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller，PLC)。
[0028] 上述电阻率量测装置100，实现了电阻率的自动检测，提高了量测效率、减少了人力成本。且相对于手工量测，提高了量测的准确性。通过旋转机160自动将量测不合格的产品送入收料机170内，杜绝电阻值不合格的不良品流出。
[0029] 请进一步参阅图1，在该实施例中，电阻率量测装置100包括防尘罩150，探测段200设于防尘罩150内。防尘罩150上设有空气
过滤器152，用以防止防尘罩150内积累粉尘。
[0030] 在一实施例中，载物平台110为
吸盘平台，入料导轮组122采用
磁性导轮组，从而实现了不接触传动，有效减少粉尘产生的可能性。
[0031] 请参见图10，图10为图1所示电阻率量测装置中升降机构的局部示意图，在另一实施例中，电阻率量测装置100还包括一升降机构124，用以升降载物平台110。升降机构124可通过一
气缸驱动。
[0032] 请继续参阅图1和图2，在该实施例中，电阻率量测装置100更包括一主机、一显示器182及一数字源表184，该主机电连接显示器182，该主机包括一数字输入输出卡，该数字输入输出卡电连接数字源表184和探针模组130。其中，主机可以置于防尘罩150下方的容置柜内。在一实施例中，数字源表184采用keithley 2400c，数字输入输出卡采用PCI-7230。主机安装有电阻率量测
软件，配合
硬件进行电阻率量测。
[0033] 请参阅图11和图12，图11为探针位置调节机构和探针量测头一较佳实施例的立体图；图12为图11所示探针位置调节机构和探针量测头的主视图。在该实施例中，探针模组130包括4个探针量测头132，4个探针量测头132在纵向上等距排列。在其它实施例中，探针量测头132在纵向上亦可不等距排列，但并不以此为限。每个探针量测头132包括依次排列的4根圆探针133，在进行电阻量测时，通过数字输入输出卡轮流切换4个探针量测头132的通电与断开，通过数字源表184给探针量测头132的第1、4探针通以小
电流(在一实施例中为4.532mA)，测出量测头第2、第3探针间
电压，然后根据相应公式计算出被测产品的薄膜电阻和电阻均匀性，通过主机自动采集和保存该薄膜电阻和电阻均匀性的资料，并根据事先设定的上下限
阈值判断被测产品合格与否。量测得到的资料及合格与否的结果均可通过显示器182显示出来。
[0034] 电阻率量测装置100可根据被测产品类型、量测位置及制程方案进行设定，调整探针模组130使用探针量测头132的数量、循环量测次数以及量测点数，电阻量测中使用的探针量测头132数量优选为3或4个，循环量测次数优选为3或4次，量测点数优选为9、12或16点。
[0035] 请参阅图11至图15，图13为设置在滑块上之探针量测头132的立体图；图14为图13所示设置在滑块上之探针量测头132的主视图；图15为图13所示设置在滑块上之探针量测头132的左视图。如图11至图15所示：探针位置调节机构140包括用以升降探针模组130的Z轴伺服
电机142，探针位置调节机构140还包括
导轨145、滑块147、转接板149及滑台144。每个探针量测头132设于一滑台144上，滑台144通过转接板149与滑块147固定连接，滑块147与导轨145滑动连接，可带动探针量测头132于导轨145上滑动。Z轴
伺服电机142的下压距离可根据被测产品的厚度进行调整。可通过调节滑台144来调整探针量测头132的平整度。
[0036] 电阻率量测装置100还包括复数根导杆，入料导轮组122和出料导轮组162均设于导杆上，并通过导杆带动。
[0037] 经实际测算，上述电阻率量测装置100对于涂覆有ITO(IndiumTinOxides，铟
锡氧化物)的玻璃面板，测量
精度达到±0.1Ω内，同时将原有抽检时间由每块面板需2位量测人员配合量测60秒，减少为目前的无需人工操作20～35秒。
[0038] 以上所述，仅为本发明较佳实施例而已，故不能以此限定本发明的范围，即依本发明
申请专利范围及
说明书内容所作的等效变化与修饰，皆应仍属本发明专利涵盖的范围内。
