极低温环境大口径反射式望远镜防霜膜系及其制备方法
专利汇可以提供极低温环境大口径反射式望远镜防霜膜系及其制备方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且用于极低温的大口径反射 光学望远镜 防霜膜系及其制备方法，防霜膜系的结构如下，自主镜表面开始依次为： 透明导电膜 层、中间绝缘层、反射膜层及最外介质保护层；在所述透明导电膜层的两边，设有导电 电极 。步骤如下：⑴准备工作；⑵.导电膜 镀 制步骤；⑶.中间绝缘层镀制步骤；⑷.反射膜镀制步骤；⑸.最外介质保护层的镀制步骤；⑹.导电电极镀制步骤。本 发明 可用于极端低温环境下，结合镜面温升控制避免镜面结霜。本发明对防霜反射膜系的结构进行了合理设计，在具有防霜功能的同时保证了膜系的 光谱 反射性能。在膜层反射材料同样使用 铝 时，在400nm-2000nm波段范围，本防霜反射膜系光谱反射率平均值优于89%。，下面是极低温环境大口径反射式望远镜防霜膜系及其制备方法专利的具体信息内容。
1.一种用于极低温环境下的大口径反射式光学红外望远镜防霜膜系，在反射式光学望远镜的主镜表面集成有透明导电膜，其特征在于，所述透明导电膜的结构如下，自主镜表面开始，依次为：透明导电膜层、中间绝缘层、反射膜层及最外介质保护层；在所述透明导电膜层的两边，设有导电电极。
2.根据权利要求1所述的用于极低温的大口径反射式光学红外望远镜防霜膜系，其特征在于，所述透明导电膜层采用氧化铟锡；所述中间绝缘层采用二氧化硅；所述反射膜层采用铝或银；所述最外介质保护层采用二氧化硅或五氧化二钽；导电电极的材料为铜。
3.根据权利要求1所述的用于极低温的大口径反射式光学红外望远镜防霜膜系，其特征在于，所述透明导电膜层的膜层厚度为180纳米；所述中间绝缘层的膜层厚度为200纳米；所述反射膜层的膜层厚度为100纳米；所述最外介质保护层的膜层为单层或高低折射率膜层搭配结构；所述导电电极的膜层厚度为300纳米。
4. 根据权利要求2-4之一所述的用于极低温的大口径反射式光学红外望远镜防霜膜系，其特征在于，所述氧化铟锡的质量比组成是：90%In2O3、10% SnO2。
5.权利要求1所述的用于极低温的大口径反射式光学红外望远镜防霜膜系的制备方法，其特征在于，步骤如下：
⑴准备工作：
⑴-1.清洁真空室内所有相关部件；
⑴-2.加入相关膜料；
⑴-3.放入待镀光学反射镜片；
⑴-4.对真空室抽真空；
⑵.导电膜镀制步骤：烘烤后，进行导电膜材料的蒸镀，工艺条件：导电膜材料为氧化铟锡，膜层监控厚度180纳米；
⑶.中间绝缘层镀制步骤：中间绝缘层镀制材料为二氧化硅，膜层监控厚度200纳米；
⑷.反射膜镀制步骤：反射膜镀制材料为铝或银，膜层监控厚度100纳米；
⑸.最外介质保护层的镀制步骤：最外介质保护层镀制材料为二氧化硅与五氧化二钽等，为单层或高低折射率膜层搭配而成；
⑹.导电电极镀制步骤：导电电极镀制材料为铜，膜层监控厚度300纳米。
6.根据权利要求5所述的用于极低温的大口径反射式光学红外望远镜防霜膜系的制备方法，其特征在于，所述准备工作中的步骤⑴-2加入相关膜料是指：在坩埚中分别加入-4
氧化铟锡、二氧化硅、铝、铜膜料；步骤⑴-4对真空室抽真空，真空度优于6×10 Pa。
7.根据权利要求5或6所述的用于极低温的大口径反射式光学望远镜防霜膜系的制备方法，其特征在于，所述各步骤⑵-⑹的工艺条件分别是：
⑵.导电膜镀制步骤：在180摄氏度的烘烤温度下恒定3小时后，进行导电膜材料的蒸-4
镀，工艺条件：导电膜材料为氧化铟锡，真空度优于6×10 Pa，霍尔离子源充40SCCM氧气，离子源阳极电压180伏，阳极电流6安培；
-4
⑶.中间绝缘层镀制步骤：中间绝缘层镀制材料为二氧化硅，真空度优于6×10 Pa，霍尔离子源充40SCCM氧气，离子源阳极电压180伏，阳极电流6安培；
-4
⑷.反射膜镀制步骤：反射膜镀制材料为铝或银，真空度好于6×10 Pa；
⑸.最外介质保护层的镀制步骤：最外介质保护层镀制材料为二氧化硅，真空度优于-4
6×10 Pa，霍尔离子源充40SCCM氧气，离子源阳极电压180伏，阳极电流6安培；
-4
⑹.导电电极镀制步骤：导电电极镀制材料为铜，真空度优于6×10 Pa。
8. 根据权利要求7所述的用于极低温的大口径反射式光学望远镜防霜膜系的制备方法，其特征在于，所述氧化铟锡的质量比组成是：90%In2O3、10% SnO2。
极低温环境大口径反射式望远镜防霜膜系及其制备方法
技术领域
背景技术
发明内容
反射膜层材料采用铝或银，膜层厚度为100纳米；
最外介质保护层采用二氧化硅、五氧化二钽等介质氧化物材料，膜层结构为单层氧化物材料或采用高、低折射率交替的介质氧化物材料组合，起到保护金属膜与增加特定波段反射的作用。
⑴-1.清洁真空室内所有相关部件；
⑴-2.加入相关膜料；
⑴-3.放入待镀光学反射镜片；
⑴-4.对真空室抽真空；
⑵.导电膜镀制步骤：烘烤后，进行导电膜材料的蒸镀，工艺条件：导电膜材料为氧化铟锡，采用氧离子辅助的方式蒸镀，膜层监控厚度180纳米；
⑶.中间绝缘层镀制步骤：中间绝缘层镀制材料为二氧化硅，膜层监控厚度200纳米；
⑷.反射膜镀制步骤：反射膜镀制材料为铝或银，膜层监控厚度100纳米；
⑸.最外介质保护层的镀制步骤：最外介质保护层镀制材料为二氧化硅、五氧化二钽等介质氧化物材料，膜层结构为单层氧化物材料或采用高、低折射率交替的介质氧化物材料组合，起到保护金属膜与增加特定波段反射的作用。
-4
步骤⑴-4.对真空室抽真空，真空度优于6×10 Pa；
其他各步骤的工艺条件分别是：
⑵.导电膜镀制步骤：在180摄氏度的烘烤温度下恒定3小时后，进行导电膜材料的蒸镀，工艺条件：导电膜材料为氧化铟锡（所述氧化铟锡的质量比组成是：90%In2O3、10% -4
SnO2），真空度优于6×10 Pa，霍尔离子源充40SCCM氧气，离子源阳极电压180伏，阳极电流
6安培；
-4
⑶.中间绝缘层镀制步骤：中间绝缘层镀制材料为二氧化硅，真空度优于6×10 Pa，霍尔离子源充40SCCM氧气，离子源阳极电压180伏，阳极电流6安培；
-4
⑷.反射膜镀制步骤：反射膜镀制材料为铝或银，真空度好于6×10 Pa，蒸发速率大于
10纳米/秒；
⑸.最外介质保护层的镀制步骤：最外介质保护层镀制材料为二氧化硅、五氧化二钽-4
等氧化物膜料，真空度优于6×10 Pa，霍尔离子源充40SCCM氧气，离子源阳极电压180伏，阳极电流6安培；
-4
⑹.导电电极镀制步骤：导电电极镀制材料为铜，真空度优于6×10 Pa。
具体实施方式
SnO2），真空度为优于6×10 Pa，膜层监控厚度180纳米，霍尔离子源充40SCCM氧气，离子源阳极电压180伏，阳极电流6安培。
极电流6安培；反射膜镀制材料为铝，真空度好于6×10 Pa，膜层监控厚度100纳米，铝膜-4
完成后镀制二氧化硅保护层，真空度优于6×10 Pa，膜层监控厚度180纳米，霍尔离子源充
40SCCM氧气，离子源阳极电压180伏，阳极电流6安培
-4
C、导电电极镀制步骤：导电电极镀制材料为铜，真空度好于6×10 Pa，膜层监控厚度
300纳米。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 一种基于红外面阵探测器扫描成像的光机结构 | 2020-06-02 | 630 |
| 一种红外玻璃非均匀性检测装置及检测方法 | 2020-06-16 | 581 |
| 发现隐形飞行器的方法及装置 | 2020-06-11 | 226 |
| 一种短波红外望远镜头 | 2020-05-12 | 248 |
| 手持便携式技术侦查辅助仪 | 2020-05-28 | 224 |
| 一种激光照射器高原环境性能试验系统及其试验方法 | 2020-06-20 | 333 |
| 一种快速射电暴实时探测装置、系统和方法 | 2020-06-18 | 772 |
| 车载红外远望装置 | 2020-05-30 | 211 |
| 手持便携式技术侦查辅助仪 | 2020-06-04 | 273 |
| 一种可红外识别的太阳能杆号牌 | 2020-06-08 | 276 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
