专利汇可以提供一种单腔多孔式节流结构的气体轴承专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种单腔多孔式节流结构的 气体 轴承 ,其特征在于:在 气体轴承 上开有中心孔,该中心孔内镶嵌有圆柱体,该圆柱体的直径为5~10mm,长度为0.1~2mm,该圆柱体上开有微型孔阵列,微型孔的孔径为1~100μm,微型孔阵列构成节流器,中心孔的上端开有一个圆柱体腔作为进气腔,中心孔的下端开有一个圆柱体腔作为压 力 腔,压力腔与进气腔的直径具有相同量级,为1~10mm,压力腔的深度为0.01~0.5mm。这种单腔多孔式节流结构的气体轴承具有良好的 稳定性 和力学性能,能应用于各种超精密运动平台中,实现平台纳米甚至亚纳米 精度 的运动。,下面是一种单腔多孔式节流结构的气体轴承专利的具体信息内容。
本发明属于静压气体轴承技术,具体涉及一种单腔多孔式节流结构的气体轴承。这种气体轴承,尤其适用于超精密运动机构。
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