基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台
专利汇可以提供基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且基于 形状记忆材料 粗动 驱动器 的精密微动平台属于微动平台技术；在底座上从下至上依次安装Y向粗动平台底座、X向粗动平台底座、X向粗动平台、XY二维微动平台底座、Y向微动平台和载物台，所述的Y向微动平台通过Y向微动柔性 铰链 机构安装在X向微动平台内，X向微动平台通过X向微动柔性铰链机构安装在XY二维微动平台底座内；由X向和Y向压电微动驱动器驱动；X向粗动平台与X向粗动平台底座通过X向粗动滑道相配合，由X向和Y向形状记忆材料粗动驱动器驱动；本平台结构简单紧凑，易于控制， 定位 精度 高，应用前景广泛。，下面是基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台专利的具体信息内容。
1.一种基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台，其特征在于载物台(21)通过载物台安装螺栓(10)固装在Y向微动平台(11)上端面上，所述的Y向微动平台(11)通过四个Y向微动柔性铰链机构(9)安装在X向微动平台(7)的内部；Y向压电微动驱动器(19)安装在X向微动平台(7)的驱动槽内，且其两端分别与Y向微动平台(11)和X向微动平台(7)接触配合；X向微动平台(7)通过四个X向微动柔性铰链机构(20)安装在XY二维微动平台底座(12)内部，X向压电微动驱动器(6)安装在XY二维微动平台底座(12)的驱动槽内，且其两端分别与X向微动平台(7)和XY二维微动平台底座(12)接触配合；XY二维微动平台底座(12)通过XY二维微动平台安装螺栓(5)固装在X向粗动平台(17)上端面上；
X向粗动平台(17)与X向粗动平台底座(16)通过X向粗动滑道(13)相配合；X向形状记忆材料粗动驱动器(4)的两端部通过连接件分别安装在X向粗动平台(17)和X向粗动平台底座(16)的槽内，X向粗动平台底座(16)通过X向粗动平台底座安装螺栓(14)固装在Y向粗动平台(3)上端面上，Y向粗动平台(3)与Y向粗动平台底座(2)通过Y向粗动滑道(8)相配合；Y向形状记忆材料粗动驱动器(18)的两端通过连接件分别安装在Y向粗动平台(3)和Y向粗动平台底座(2)的槽内；Y向粗动平台底座安装螺栓(15)将Y向粗动平台底座(2)固装在底座(1)上端面上。
基于形状记忆材料粗动驱动器的精密微动平台
技术领域
背景技术
发明内容
13、X向粗动滑道、14、X向粗动平台底座安装螺栓、15、Y向粗动平台底座安装螺栓、16、X向粗动平台底座、17、X向粗动平台、18、Y向形状记忆材料粗动驱动器、19、Y向压电微动驱动器、20、X向微动柔性铰链机构、21、载物台。
具体实施方式
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