专利汇可以提供基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 提供一种 基板 偏离校正装置,包括多个偏离 感知 结构和偏离调整结构,多个偏离感知结构设置于载台本体表面的四周边缘,偏离感知结构包括可上下伸缩的 定位 销、以及设置于定位销两侧的 光源 发射器和光源感知器,光源感知器与偏离调整结构电性连接,偏离调整结构包括鼓 风 调整结构和鼓风配合结构,鼓风配合结构设置于载台本体表面且可鼓出竖直方向的风以托住偏移的基板,鼓风调整结构设置于定位销的斜面处且可鼓出 水 平方向载台本体内侧的风以调整基板相对 位置 。本发明还提供一种基板偏离校正装置的基板偏离校正方法、以及一种具有基板偏离校正装置的载台。,下面是基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台专利的具体信息内容。
1.一种基板偏离校正装置(20),其特征在于:包括多个偏离感知结构(21)和偏离调整结构(23),多个所述偏离感知结构(21)设置于载台本体(10)表面的四周边缘,所述偏离感知结构(21)包括可上下伸缩的定位销(211)、以及设置于所述定位销(211)两侧的光源发射器(212)和光源感知器(213),所述光源感知器(213)与所述偏离调整结构(23)电性连接,所述偏离调整结构(23)包括鼓风调整结构(232)和鼓风配合结构(234),所述鼓风配合结构(234)设置于所述载台本体(10)表面且可鼓出竖直方向的风以托住偏移的基板(200),所述鼓风调整结构(232)设置于所述定位销(211)的斜面处且可鼓出水平方向所述载台本体(10)内侧的风以调整所述基板(200)相对位置。
2.如权利要求1所述的基板偏离校正装置(20),其特征在于:所述定位销(211)包括锲形体(2111)和与所述锲形体(2111)连接的弹性部件(2112),所述载台本体(10)表面边缘开设槽体(12),所述弹性部件(2112)一端固定于所述槽体(12)的底面上且另一端固定于所述锲形体(2111)的下端面,所述锲形体(2111)的斜面朝向所述载台本体(10)的内侧。
3.如权利要求2所述的基板偏离校正装置(20),其特征在于:所述弹性部件(2112)为弹簧。
4.如权利要求1所述的基板偏离校正装置(20),其特征在于:所述光源发射器(212)的光源发射口(2122)发出水平光线且朝向所述定位销(211),所述光源感知器(213)的光源感知口(2132)朝向所述定位销(211),所述光源感知口(2132)的位置与所述光源发射口(2122)的位置相对应,当所述光源发射器(212)和所述光源感知器(213)之间没有所述定位销(211)阻挡时,所述光源感知口(2132)可接收到所述光源发射口(2122)发出的光线。
5.如权利要求1所述的基板偏离校正装置(20),其特征在于:所述基板偏离校正装置(20)还包括报警器(22),所述报警器(22)分别与所述光源感知器(213)和所述偏离调整结构(23)电性连接,所述光源感知器(213)接收到所述光源发射器(212)发出的光线时所述报警器(22)开始报警同时所述偏离调整结构(23)开启,所述光源感知器(213)不再接收到所述光源发射器(212)发出的光线时所述报警器(22)停止报警同时所述偏离调整结构(23)关闭。
6.如权利要求2所述的基板偏离校正装置(20),其特征在于:所述鼓风调整结构(232)包括多个第一出风口(2321)、第一风管路(2322)、及第一风机,多个所述第一出风口(2321)沿水平方向均匀开设于所述锲形体(2111)的斜面上,所述第一出风口(2321)通过所述第一风管路(2322)与所述第一风机连通,所述第一出风口(2321)的风向沿水平方向吹向所述载台本体(10)内侧。
7.如权利要求6所述的基板偏离校正装置(20),其特征在于:所述鼓风配合结构(234)包括多个第二出风口(2341)、第二风管路(2342)、及第二风机,多个所述第二出风口(2341)沿竖直方向均匀开设于所述载台本体(10)表面,所述第二出风口(2341)通过所述第二风管路(2342)与所述第二风机连通,所述第二出风口(2341)的风向竖直向上。
8.如权利要求7所述的基板偏离校正装置(20),其特征在于:所述第二风机与所述第一风机共用同一风机。
9.一种基板偏离校正装置的基板偏离校正方法,其特征在于,包括如下步骤:基板(200)偏移而触压定位销(211)时,所述定位销(211)向下收缩而光源感知器(213)可接收光源发射器(212)发出的光线,报警器(22)开始报警,同时偏离调整结构(23)开启,所述偏离调整结构(23)的鼓风配合结构(234)鼓出竖直方向的风以托住所述基板(200),所述偏离调整结构(23)的鼓风调整结构(232)鼓出水平方向的风以调整所述基板(200)相对位置,直至所述基板(200)调正所述基板(200)不再触压所述定位销(211),所述定位销(211)升起而阻挡所述光源感知器(213)接收所述光源发射器(212)发出的光线,同时所述偏离调整结构(23)关闭,所述基板(200)下落并贴附于载台本体(10)表面。
10.一种具有基板偏离校正装置的载台(100),其特征在于:所述载台(100)包括载台本体(10)和如权利要求1至8任一项所述的基板偏离校正装置(20)。
装置的载台
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