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基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台

阅读：591发布：2020-05-11

专利汇可以提供基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种基板偏离校正装置，包括多个偏离感知结构和偏离调整结构，多个偏离感知结构设置于载台本体表面的四周边缘，偏离感知结构包括可上下伸缩的定位销、以及设置于定位销两侧的光源发射器和光源感知器，光源感知器与偏离调整结构电性连接，偏离调整结构包括鼓风调整结构和鼓风配合结构，鼓风配合结构设置于载台本体表面且可鼓出竖直方向的风以托住偏移的基板，鼓风调整结构设置于定位销的斜面处且可鼓出水平方向载台本体内侧的风以调整基板相对位置。本发明还提供一种基板偏离校正装置的基板偏离校正方法、以及一种具有基板偏离校正装置的载台。，下面是基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种基板偏离校正装置(20)，其特征在于：包括多个偏离感知结构(21)和偏离调整结构(23)，多个所述偏离感知结构(21)设置于载台本体(10)表面的四周边缘，所述偏离感知结构(21)包括可上下伸缩的定位销(211)、以及设置于所述定位销(211)两侧的光源发射器(212)和光源感知器(213)，所述光源感知器(213)与所述偏离调整结构(23)电性连接，所述偏离调整结构(23)包括鼓风调整结构(232)和鼓风配合结构(234)，所述鼓风配合结构(234)设置于所述载台本体(10)表面且可鼓出竖直方向的风以托住偏移的基板(200)，所述鼓风调整结构(232)设置于所述定位销(211)的斜面处且可鼓出水平方向所述载台本体(10)内侧的风以调整所述基板(200)相对位置。
2.如权利要求1所述的基板偏离校正装置(20)，其特征在于：所述定位销(211)包括锲形体(2111)和与所述锲形体(2111)连接的弹性部件(2112)，所述载台本体(10)表面边缘开设槽体(12)，所述弹性部件(2112)一端固定于所述槽体(12)的底面上且另一端固定于所述锲形体(2111)的下端面，所述锲形体(2111)的斜面朝向所述载台本体(10)的内侧。
3.如权利要求2所述的基板偏离校正装置(20)，其特征在于：所述弹性部件(2112)为弹簧。
4.如权利要求1所述的基板偏离校正装置(20)，其特征在于：所述光源发射器(212)的光源发射口(2122)发出水平光线且朝向所述定位销(211)，所述光源感知器(213)的光源感知口(2132)朝向所述定位销(211)，所述光源感知口(2132)的位置与所述光源发射口(2122)的位置相对应，当所述光源发射器(212)和所述光源感知器(213)之间没有所述定位销(211)阻挡时，所述光源感知口(2132)可接收到所述光源发射口(2122)发出的光线。
5.如权利要求1所述的基板偏离校正装置(20)，其特征在于：所述基板偏离校正装置(20)还包括报警器(22)，所述报警器(22)分别与所述光源感知器(213)和所述偏离调整结构(23)电性连接，所述光源感知器(213)接收到所述光源发射器(212)发出的光线时所述报警器(22)开始报警同时所述偏离调整结构(23)开启，所述光源感知器(213)不再接收到所述光源发射器(212)发出的光线时所述报警器(22)停止报警同时所述偏离调整结构(23)关闭。
6.如权利要求2所述的基板偏离校正装置(20)，其特征在于：所述鼓风调整结构(232)包括多个第一出风口(2321)、第一风管路(2322)、及第一风机，多个所述第一出风口(2321)沿水平方向均匀开设于所述锲形体(2111)的斜面上，所述第一出风口(2321)通过所述第一风管路(2322)与所述第一风机连通，所述第一出风口(2321)的风向沿水平方向吹向所述载台本体(10)内侧。
7.如权利要求6所述的基板偏离校正装置(20)，其特征在于：所述鼓风配合结构(234)包括多个第二出风口(2341)、第二风管路(2342)、及第二风机，多个所述第二出风口(2341)沿竖直方向均匀开设于所述载台本体(10)表面，所述第二出风口(2341)通过所述第二风管路(2342)与所述第二风机连通，所述第二出风口(2341)的风向竖直向上。
8.如权利要求7所述的基板偏离校正装置(20)，其特征在于：所述第二风机与所述第一风机共用同一风机。
9.一种基板偏离校正装置的基板偏离校正方法，其特征在于，包括如下步骤：基板(200)偏移而触压定位销(211)时，所述定位销(211)向下收缩而光源感知器(213)可接收光源发射器(212)发出的光线，报警器(22)开始报警，同时偏离调整结构(23)开启，所述偏离调整结构(23)的鼓风配合结构(234)鼓出竖直方向的风以托住所述基板(200)，所述偏离调整结构(23)的鼓风调整结构(232)鼓出水平方向的风以调整所述基板(200)相对位置，直至所述基板(200)调正所述基板(200)不再触压所述定位销(211)，所述定位销(211)升起而阻挡所述光源感知器(213)接收所述光源发射器(212)发出的光线，同时所述偏离调整结构(23)关闭，所述基板(200)下落并贴附于所述载台本体(10)表面。
10.一种具有基板偏离校正装置的载台(100)，其特征在于：所述载台(100)包括载台本体(10)和如权利要求1至8所述的基板偏离校正装置(20)。

说明书全文

基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正

装置的载台

技术领域

[0001] 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板偏离校正装置、基板偏离校正方法及具有基板偏离校正装置的载台。

背景技术

[0002] 目前，激光晶化装置是通过机械手臂将基板运输至载台，并通过载台边缘设置的定位销来对基板进行定位。图1是现有的载台的结构示意图，图2是图1中Ⅱ－Ⅱ处的剖视图，参见图1和图2所示，载台300的表面边缘设置有多对定位销301，定位销301与机械手臂(图未出)配合而使得基板400对位放置于载台300上。

[0003] 当机械手臂放置基板400时，有可能会使得基板400的实际放置位置相对于预设的放置位置发生偏移，例如机械手臂将基板400放置在载台300边缘的定位销301上，使得基板400与载台300表面不能贴合在一起，具体可参见图3和图4所示。然而，由于载台300表面存在真空吸附力，真空吸附力则会将上方的基板400向下吸附，而偏移的基板400在真空吸附力作用下并不能被吸附固定于载台300上，代替的基板400与定位销301间的作用力加强，基板400容易于发生弯曲甚至破裂等问题。

发明内容

[0004] 鉴于上述状况，有必要提供一种结构简单、可对偏移基板进行校正的基板偏离校正装置，以现有技术中的不足。

[0005] 本发明提供一种基板偏离校正装置，包括多个偏离感知结构和偏离调整结构，多个所述偏离感知结构设置于载台本体表面的四周边缘，所述偏离感知结构包括可上下伸缩的定位销、以及设置于所述定位销两侧的光源发射器和光源感知器，所述光源感知器与所述偏离调整结构电性连接，所述偏离调整结构包括鼓风调整结构和鼓风配合结构，所述鼓风配合结构设置于所述载台本体表面且可鼓出竖直方向的风以托住偏移的基板，所述鼓风调整结构设置于所述定位销的斜面处且可鼓出水平方向所述载台本体内侧的风以调整所述基板相对位置。

[0006] 进一步地，所述定位销包括锲形体和与所述锲形体连接的弹性部件，所述载台本体表面边缘开设槽体，所述弹性部件一端固定于所述槽体的底面上且另一端固定于所述锲形体的下端面，所述锲形体的斜面朝向所述载台本体的内侧。

[0007] 进一步地，所述弹性部件为弹簧。

[0008] 进一步地，所述光源发射器的光源发射口发出水平光线且朝向所述定位销，所述光源感知器的光源感知口朝向所述定位销，所述光源感知口的位置与所述光源发射口的位置相对应，当所述光源发射器和所述光源感知器之间没有所述定位销阻挡时，所述光源感知口可接收到所述光源发射口发出的光线。

[0009] 进一步地，所述基板偏离校正装置还包括报警器，所述报警器分别与所述光源感知器和所述偏离调整结构电性连接，所述光源感知器接收到所述光源发射器发出的光线时所述报警器开始报警同时所述偏离调整结构开启，所述光源感知器不再接收到所述光源发射器发出的光线时所述报警器停止报警同时所述偏离调整结构关闭。

[0010] 进一步地，所述鼓风调整结构包括多个第一出风口、第一风管路、及第一风机，多个所述第一出风口沿水平方向均匀开设于所述锲形体的斜面上，所述第一出风口通过所述第一风管路与所述第一风机连通，所述第一出风口的风向沿水平方向吹向所述载台本体内侧。

[0011] 进一步地，所述鼓风配合结构包括多个第二出风口、第二风管路、及第二风机，多个所述第二出风口沿竖直方向均匀开设于所述载台本体表面，所述第二出风口通过所述第二风管路与所述第二风机连通，所述第二出风口的风向竖直向上。

[0012] 进一步地，所述第二风机与所述第一风机共用同一风机。

[0013] 本发明还提供一种基板偏离校正装置的基板偏离校正方法，包括如下步骤：基板偏移而触压定位销时，所述定位销向下收缩而光源感知器可接收光源发射器发出的光线，报警器开始报警，同时偏离调整结构开启，所述偏离调整结构的鼓风配合结构鼓出竖直方向的风以托住所述基板，所述偏离调整结构的鼓风调整结构鼓出水平方向的风以调整所述基板相对位置，直至所述基板调正所述基板不再触压所述定位销，所述定位销升起而阻挡所述光源感知器接收所述光源发射器发出的光线，同时所述偏离调整结构关闭，所述基板下落并贴附于所述载台本体表面。

[0014] 本发明还提供一种具有基板偏离校正装置的载台，所述载台包括载台本体和所述的基板偏离校正装置。

[0015] 本发明实施例的技术方案带来的有益效果是：上述基板偏离校正装置，由于包括偏离感知结构和偏离调整结构，使得基板的偏离可被感知，同时可以将偏离的基板进行校正，避免偏离的基板的发生弯曲及破裂的问题。附图说明

[0016] 图1是现有的载台的结构示意图。

[0017] 图2是图1中Ⅱ－Ⅱ处的剖视图。

[0018] 图3是现有的载台在放置有偏移基板状况时的结构示意图。

[0019] 图4是图3中Ⅱ－Ⅱ处的剖视图。

[0020] 图5是本发明实施例的载台的结构示意图。

具体实施方式

[0021] 为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

[0022] 图5是本发明实施例的载台的结构示意图，请参见图5所示，本发明的载台100包括载台本体10和基板偏离校正装置20。

[0023] 载台本体10为平面矩形结构，载台本体10表面光滑用于承放基板200，载台本体10的下端四角处分别设置有支腿(图未示)，支腿的下端位于地面上，支腿可为角钢、角铁、角铜、方钢、方铁、或方铜等材料，但不限于此。

[0024] 基板偏离校正装置20包括偏离感知结构21、报警器22、及偏离调整结构23，基板偏离校正装置20设置于载台本体10上，且与载台本体20配合而对放置偏离的基板200进行校正归位。

[0025] 偏离感知结构21为多个设置于载台本体10表面的四周边缘，在本实施例中，偏离感知结构21为四对且分别对称地设置于载台本体10表面的四周边缘。偏离感知结构21包括定位销211、光源发射器212、以及光源感知器213。

[0026] 定位销211设置于载台本体10表面的四周边缘。定位销211包括锲形体2111和与锲形体2111连接的弹性部件2112，为配合定位销211的安装而在载台本体10表面边缘开设槽体12，弹性部件2112的一端固定于槽体12的底面上，弹性部件2112的另一端固定于锲形体2111的下端面，锲形体2111的斜面朝向载台本体10的内侧，以便于对基板200的定位。弹性部件2112可带动锲形体2111沿弹性部件2112轴向伸缩，弹性部件2112自由状态时锲形体
2111上表面伸出槽体12而高于载台本体10表面，锲形体2111受外力压缩弹性部件2112时弹性部件2112带动锲形体2111收缩回槽体12中，外力消失后在弹性部件2112回复力带动锲形体2111再伸出槽体12。在本实施例中，弹性部件2112为弹簧，但不限于此。

[0027] 光源发射器212和光源感知器213分别设置于定位销211的两侧且固定于载台本体10表面边缘。光源发射器212的光源发射口2122朝向定位销211，光源发射口2122发出的光线为水平光线，该光线一般为红外线，光源感知器213的光源感知口2132朝向定位销211，光源感知口2132的位置与光源发射口2122的位置相对应，当光源发射器212和光源感知器213之间没有定位销211的锲形体2111阻挡时，光源感知口2132可接收到光源发射口2122发出的光线。具体地，无外力作用锲形体2111时，锲形体2111于源发射器212和光源感知器213之间阻挡源感知口2132接收光源发射口2122发出的光线；在外力作用锲形体2111如基板200偏移而触压锲形体2111时，锲形体2111向下缩回槽体12，光源发射器212和光源感知器213之间没有锲形体2111阻挡，光源感知口2132接收到光源发射口2122发出的光线。

[0028] 在本实施例中，报警器22数量与偏离感知结构21的数量相对应，报警器22设置于靠近偏离感知结构21的载台本体10的某处，报警器22用于提示基板200发生偏离并触压了锲形体2111。报警器22与对应位置的光源感知器213电性连接，当光源感知器213接收到光源发射器212发出的光线时报警器22开始报警，直至光源感知器213不再接收到光源发射器212发出的光线时报警器22停止报警。报警器22还与偏离调整结构23电性连接，报警器22报警的同时偏离调整结构23开启，报警器22停止报警偏离调整结构23关闭。

[0029] 还可以理解，在其他实施例中，报警器22仅为一个，其设置位置不限，多个偏离感知结构21均与报警器22电性连接，任意偏离感知结构21的光源感知器213接收到光源发射器212发出的光线时报警器22开始报警。

[0030] 偏离调整结构23包括鼓风调整结构232和鼓风配合结构234。

[0031] 鼓风调整结构232为多个分别设置于每个定位销211的锲形体2111的斜面处。鼓风调整结构232包括第一出风口2321、第一风管路2322、及第一风机(图未示)。第一出风口2321为多个且沿水平方向均匀开设于锲形体2111的斜面上，第一风管路2322的一端从锲形体2111内部与第一出风口2321连通，第一风管路2322的另一端与第一风机连通。第一出风口2321的风向沿水平方向吹向载台本体10内侧。

[0032] 鼓风配合结构234设置于载台本体10表面，鼓风配合结构234包括第二出风口2341、第二风管路2342、及第二风机(图未示)。第二出风口2341为多个且沿竖直方向均匀地开设于载台本体10表面，第二风管路2342的一端于载台本体10内部与第二出风口2341连通，第二风管路2342的另一端与第二风机连通，第二出风口2341的风向竖直向上。第二风机与第一风机可共用同一风机，风机鼓出的风可为N2风。

[0033] 当报警器22报警的同时鼓风调整结构232的第一风机和鼓风配合结构234的第二风机开启而于第一出风口2321和第二出风口2341处出风，发生偏移的基板200搭在锲形体2111的斜面，于基板200下方的第二出风口2341的出风可在竖直方向托住基板200，第一出风口2321的出风在水平方向调整基板200相对位置，直至基板200调正，基板200不再触压定位销211的锲形体2111，锲形体2111升起而阻挡光源感知口2132接收光源发射口2122发出的光线，报警器22停止报警，同时鼓风调整结构232的第一风机和鼓风配合结构234的第二风机关闭，基板200下落并贴附于载台本体10表面。

[0034] 本发明实施例中的基板偏离校正装置20的基板偏离校正方法，包括如下步骤：

[0035] 机械手臂放置基板200发生偏移，基板200边缘触压某个或某些偏离感知结构21的定位销211的锲形体2111上，锲形体2111向下缩回槽体12中，光源发射器212和光源感知器213之间没有锲形体2111阻挡，光源发射器212的光源感知口2132接收到光源感知器213的光源发射口2122发出的光线，报警器22开始报警，同时偏离调整结构23的鼓风调整结构232的第一风机和鼓风配合结构234的第二风机开启而于第一出风口2321和第二出风口2341处出风，于基板200下方的第二出风口2341的出风在竖直方向托住基板200，第一出风口2321的出风在水平方向调整基板200相对位置，直至基板200调正则基板200不再触压定位销211的锲形体2111，锲形体2111升起而阻挡光源感知口2132接收光源发射口2122发出的光线，报警器22停止报警，同时鼓风调整结构232的第一风机和鼓风配合结构234的第二风机关闭，基板200下落并贴附于载台本体10表面。

[0036] 本发明实施例的技术方案带来的有益效果是：上述基板偏离校正装置20，由于包括偏离感知结构21和偏离调整结构23，使得基板200的偏离可被感知，同时可以将偏离的基板200进行校正，避免偏离的基板200的发生弯曲及破裂的问题。

[0037] 在本发明中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。

[0038] 在本发明中，所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的，只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解，所述方位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。

[0039] 在不冲突的情况下，本发明中上述实施例及实施例中的特征可以相互结合。

[0040] 以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

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