光学装置和显微镜
阅读：216发布：2020-05-12
专利汇可以提供光学装置和显微镜专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种 显微镜 上的光学装置，带有照明机构、分光机构(2)和反射镜机构(5)，所述照明机构用于产生在照明侧上伸展的照明光线(1)，所述分光机构(2)用于将照明光线(1)分成至少两个分光束(3、4)，和所述反光镜机构(5)用于将分光束(3、4)反射到照明范围(6)，对样品(7)进行平面照明，出于对结构简单的机构的灵活应用的考虑，其特征在于设置在与照明侧相背的照明范围(6)侧上的检测光学机构(8)。另外，本 发明 还提出一种具有相应的光学装置的显微镜。，下面是光学装置和显微镜专利的具体信息内容。
1.显微镜上的光学装置，带有照明机构、分光机构(2)和反射镜机构(5)，所述照明机构用于产生在照明侧上伸展的照明光线(1)，所述分光机构(2)用于将照明光线(1)分成至少两个分光束(3、4)，和所述反光镜机构(5)将分光束(3、4)反射到照明范围(6)，对样品(7)进行平面照明，其特征在于设置在与照明侧相背的照明范围(6)侧上的检测光学机构(8)。
2.按照权利要求1所述的装置，其特征在于，设置在照明侧的照明光学机构(9)与检测光学机构(8)同轴。
3.按照权利要求1或2所述的装置，其特征在于，反光镜机构(5)具有一组或多组反光镜或平板反光镜，或一个环形反光镜或多个环形反光镜段。
4.按照权利要求1至3中任一项所述的装置，其特征在于，分光机构(2)具有偏振光学机构或用于光瞳分光的器件，优选为反射或透射器件，或至少一个棱镜或光阑(33)，其中分光机构(2)优选为模块结构。
5.按照权利要求1至4中任一项所述的装置，其特征在于，在分光机构(2)后面设有用于由分光束(3、4)分别产生片光源的机构(10)，其中所述机构(10)优选为模块结构。
6.按照权利要求5所述的装置，其特征在于，所述用于分别产生片光源的机构(10)具有柱面光学机构或扫描器(35)。
7.按照权利要求1至6中任一项所述的装置，其特征在于，分光束(3、4)或片光源与光轴具有预定间隔并平行于光轴或在光轴附近并与光轴的夹角不等于0°。
8.按照权利要求1至7中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置具有用于控制和/或影响照明光线(1)的相干性的机构(11)，其中所述机构(11)优选为模块结构。
9.按照权利要求1至8中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置具有用于控制和/或影响分光束(3、4)或照明范围(6)内片光源的干涉能力的机构。
10.按照权利要求1至9中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置具有用于对偏振状态和/或至少一个分光束(3、4)或片光源的相干长度进行选择性影响的机构。
11.按照权利要求1至10中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置具有用于对至少一个分光束(3、4)或片光源进行相位变化的机构。
12.按照权利要求1至11中任一项所述的装置，其特征在于，相对于照明范围(6)或相对于样品(7)，分光束(3、4)或片光源的入射方向的偏振角度是可调的或可变化的，其中优选分光机构(2)和尤为优选的是分光机构(2)和反光镜机构(5)可以以光轴为圆心旋转。
13.显微镜，具有按照权利要求1至12任一项所述的光学装置。
光学装置和显微镜
技术领域
[0001] 本发明涉及一种在显微镜上的光学装置，带有照明机构、分光机构和反光镜机构，所述照明机构用于产生在照明侧上伸展的照明光线，所述分光机构用于将照明光线分成至少两个分光束，所述反光镜机构用于将分光束反射到对样品进行平面照明的照明范围。另外，本发明还涉及一种显微镜，所述显微镜具有相应的光学装置。
背景技术
[0002] 在利用光学显微镜对活性的生物组织进行观察时，重要的是尽可能将对样品的光致附生损伤保持在很小的程度。为此研发了在显微镜的检测平面内用片光源照明的方案。在此实现了一种利用选择平面照明的显微成像(Selective Plane Illumination Microscopy,SPIM)。在这种情况下，照明光线的扩散方向垂直于检测方向，其中通过垂直于检测物镜的照明光学机构，例如通过第二照明透镜入射到样品体内。其中由于样品会产生阴影效应，因此从不同方向对样品进行照明最为相宜，以便克服该问题。此点迄今随着时间的推移和/或付出大的机械代价的情况下得以实现。因此对显微成像的样品准备工作的影响很大，并且显微成像的样品准备工作与传统的光学显微成像常常不能兼容。
[0003] 在DE102004034957A1中披露了一种设置在显微镜上的光学装置，其中利用照明机构产生在照明侧上伸展的照明光线。利用分光机构T将照明光线分成两个分光束Ls1和Ls2。利用反光镜机构R1，R2将分光束反射到用于对样品进行平面照明的照明范围。
[0004] 具体地说，两个分光束Ls1和Ls2被在壳体H内设置的光导向机构LF导向，从物镜Lz侧面绕过，然后通过反射镜机构被反射到样品的照明范围。物镜Lz设置在壳体H内，因此物镜的尺寸必须与壳体的尺寸一致或壳体的尺寸必须与物镜的尺寸一致。为此最终实现具有在壳体H内形成的光导向机构LF和镶嵌在壳体内的物镜的综合结构。由于壳体的尺寸是预定的，所以任意选择物镜常常是不可能的。从照明侧通过镶嵌在壳体内的物镜实现对光信号的检测。
[0005] 在DE10257423A1中披露了一种设置在显微镜上的光学装置，利用该光学装置同样可以实现对样品的平照明。具体地说，已知的装置具有两个相互垂直的物镜，其中一个用于照明，另一个用于检测。这种装置要求具有特别专用适配的样品承纳机构，故常常在几何形状和结构设计上很难实现。
发明内容
[0008] 从本发明中首先了解到，具有平面照明的光学机构不需要将照明光学机构和检测光学机构设置在照明范围或样品的同一侧上。因此可以相互不受影响地实现照明光学机构的设计和检测光学机构的设计，所以在很大程度上保证了设计的灵活性和对不同应用范围的适配。特别是用于检测的物镜的尺寸和设计不再受具有光导向机构的壳体的尺寸的约束。在本发明中检测光学机构具体地设置在与照明侧相背的照明范围侧上。由于实现了照明光学机构与检测光学机构之间尽可能大的空间分隔，因而可以提供对照明光学机构以及对检测光学机构的多种多样的设计可能。
[0009] 因而利用本发明的光学装置和本发明的显微镜可以实现对结构简单的机构的灵活的应用。
[0010] 具体地说，设置在照明侧的照明光学机构与检测光学机构同轴。在每种情况下，照明光学机构都与检测光学机构分隔，从而对检测物镜的选用与照明光学机构无关可以与任何试验情况适配。由于照明光学机构与检测光学机构同轴，因此可以实现光学装置的特别简单的结构。
[0011] 分别根据应用情况和出于对简单的结构设计的考虑，反光镜机构具有一组或多组反光镜或平板反光镜或一个环形反光镜或多个环形反光镜段。就反光镜机构的具体设计而言，可以对不同的应用情况加以考虑。
[0012] 就简单并可靠的将照明光线分成至少两个分光束而言，分光机构可以具有偏振光学机构或用于光瞳分光的器件，优选反射或透射器件。替代上述方案分光机构具有至少一个棱镜或光阑。在每种情况下，分光机构都可为模块结构，从而可以实现在光学装置或显微镜内的简单的实施和设置。
[0013] 根据一个有益的设计，分光机构本身或与照明光学机构的其余器件相结合实现由分光束产生片光源。替代上述方案，可以在分光机构后设置有由分光束分别产生片光源的机构。根据进一步有益的实施方式，这种用于分别产生片光源的机构为模块结构，从而便于将其嵌入光学装置或显微镜中。
[0014] 具体地说，用于产生相应片光源的机构具有柱面光学器件或扫描器。这两种设计都可以可靠地产生一片光源。最好根据某一应用情况，对一种片光源产生技术或另一种片光源产生技术加以选用。
[0015] 根据进一步有益的方式，分光束或片光源以预定距离与光轴相互间隔并平行于光轴或在光轴附近并与光轴的夹角不等于0°。由于与光轴间隔的或在光轴附近实现的对分光束或片光源的导向，因而在光轴上留下了相对大的可用于设置样品的范围。此点可以实现对多种常见的需要很大空间的不同样品的检测。
[0016] 就光学装置或显微镜的进一步有益的设计而言，所述装置可以具有用于控制和/或影响照明光线相干性的机构。这种机构最好为模块结构，例如在照明方向上并在分光机构前设置在光学装置内。利用这种机构可以在样品的照明范围内对分光束的干涉能力或干涉特性有益地加以影响和/或设计。
[0017] 根据另一个替代设计，所述装置具有用于控制和/或影响在照明范围内的分光束或片光源的干涉能力的机构。就此，替代或附加于上述方案，所述装置可以具有选择性影响至少一个分光束或片光源的偏振状态和/或相干长度的机构。另外，所述装置可以具有对至少一个分光束或片光源进行相位变化的机构。
[0018] 为减小阴影效应以及在不受方向影响的改善分辨率的结构化照明的情况下，可对对分光束或片光源的入射方向的偏振角相对于照明范围或相对于样品进行调整或变化。因此可以从样品所需求的一侧实施照明。为此，具体而言并根据一个特别简单的设计，分光机构和优选地分光机构与反光镜机构可以以光轴为圆心旋转。
[0019] 采用本发明的光学装置可以使一种便于实施的并与一种与通常的(反转的)光学显微镜适配的系统实现平面照明。其中可以实现同时从多个方向对照明平面或照明范围的照明。
[0020] 下面将再次对本发明的实施方式的重要方面加以说明：
[0021] 通过对片光源的偏振状态的有选择的施加影响，在使用具有充足的相干长度的光源时可以对其干涉能力施加影响。特别是本发明可以产生相向的片光源对，并在采用为2π完整的偏振角谱的情况下实现片光源照明。
[0022] 为便于平面照明的方案与通常的反转光学显微镜适配，最好照明光学机构与检测光学机构同轴(与典型的聚光器相同)并在照明光学机构外面实现照明光线的偏转。为此，本发明在照明光学机构前设置反射镜机构，所述反光镜机构位于照明光学机构的视野范围内。其中所述反光镜机构涉及一组或多组相对设置的并具有相应倾角的平板反光镜或也可以涉及一种环形反光镜。为利用反光镜机构从侧面对样品的照明，利用在光轴外面的照明光学机构，从而在照明和检测光学机构的共同的光轴上产生用于设置样品的可用范围。
[0023] 照明光学机构的任务在于将照明光线以确定的方式入射到样品的范围内并分别根据实 施方式的不同产生片光源。其中最简单的情况下涉及的是柱面光学机构，必要时用预先嵌入的玻璃板对浸入溶剂进行覆盖。但也可以联想到采用综合光学系统，例如采用一种显微镜物镜，并为产生片光源可采用种柱面光学机构，用于在照明光学机构的光瞳上的聚焦-实现对视野的同时照射-也可以采用扫描器，对视野顺序扫描。
[0024] 根据本发明这时照明光学机构同时用多个分光束，实现从侧面由至少两个方向同时对样品进行照射。其中例如采用偏振光学方案，或也可以采用光瞳分光将照明光线分成多个分光束。在对光瞳分光时，可以通过采用反射或透射的器件实现此点，并实现对光线非连续的或连续的分光。
[0025] 根据本发明的进一步的实施方式，可在样品范围内对光束的干涉能力施加影响。其中可以采用偏振光学方法或采取改善照明光线的相干长度，例如采取散射的方法对干涉能力施加影响。在将光线分成一定数量非连续的分光束时，每个分光束有针对性地，例如采取空间分隔或偏振光学方法可以实现此点。在将照明光线分成两个分光束时，采取相应的措施以相交的方式实现两个分光束的偏振状况。在将照明光线分成两个以上的分光束时，可以通过相干长度的变化对干涉能力施加影响。
[0026] 在各个分光束相互相干和偏振方向相同时，在样品上形成视野上的结构化照明，所述照明可以以高的分辨率实现图像的再现。为此需要实现照明光线的各个分光束的相位的变化，在对分光束进行空间分隔时很容易实现该相位变化，在分光时采用偏振光学机构，而且也可以采用双折射器件很容易实现该相位变化。在出于相干或偏振原因不存在该干涉能力时，可以实现对图像视野的均匀的照明。而且在采用奇数的具有等距的偏振角差的相干分光束时也可以实现此点。
[0027] 通过相对于样品-在结构化照明时也包括相对于结构化方向-分光束的入射方向偏振角的旋转可以进一步减小阴影效应，以及在结构化照明的情况下可以实现与方向无关的分辨率的提升。为此在样品上也可以产生干涉图形，该干涉图形是由分光束形成的，其相对传播方向的相互夹角不等于180°。例如分光束相互的90°的夹角产生旋转45°的结构化。附图说明
[0028] 存在有对本发明的教导以有益的方式进行设计和进一步设计的各种方案。对此一方面参见本申请的权利要求的描述，另一方面参见下面结合附图对本发明的优选实施例的说明。下面结合对本发明的在附图中所示的优选实施例的说明而且在整体上对本发明教导的优选设计和进一步设计做了说明。图中示出：
[0029] 图1本发明的光学装置的第一实施例的示意图；
[0030] 图2照明光学机构的实施例的侧视(双侧)示意图；
[0031] 图3照明光学机构的另一个实施例的侧视(双侧)示意图；
[0032] 图4照明光学机构的另一个实施例和实现反光镜机构的不同方案的示意图；
[0033] 图5分光机构的两个实施例的示意图；
[0034] 图6分光机构的另外的两个实施例的示意图；
[0035] 图7分光机构的另一个实施例的示意图；
[0036] 图8分光机构的另一个实施例的示意图；
[0037] 图9分光机构的另一个实施例以及不同的光阑形状的示意图；
[0038] 图10产生片光源的实施例的示意图；
[0039] 图11产生片光源另一个实施例的示意图。
具体实施方式
[0040] 图1为本发明在显微镜上的光学装置的第一实施例的示意图。光学装置具有照明机构，所述照明机构用于产生在照明侧伸展的照明光线1。另外光学装置还具有分光机构2和反光镜机构5，所述分光机构2用于将照明光线1分成至少两个分光束3和4，所述反光镜机构5用于将两个分光束3和4反射到照明范围6，用于对样品7进行平面照明。为实现对结构简单的机构的灵活的应用，光学装置另外还具有一个设置在与照明侧相背的照明范围侧上的检测光学机构8。换句话说，在照明侧上除了照明光线外还设置有所有其它用于对样品7进行照明的光学器件，例如分光机构2和反射镜机构5。在与照明侧相背的照明范围6侧上仅设置有检测光学机构8。通过这种对照明的光学器件与检测机构8的空间分隔实现了本光学装置简单的结构。
[0041] 此外，在本实施例中设置在照明侧的照明光学机构9与检测光学机构8同轴。反射镜机构5由两个相对设置的平面反光镜构成，从而可以实现在相互偏移180°的方向对样品7的照明。
[0042] 在分光机构2后设置有一个用于由分光束3和4分别产生片光源的机构10。该机构10与分光机构2相同为模块结构。
[0043] 分光束3和4与光轴相互间隔。其中光轴平行于照明光线1穿透样品7。在光学机构的该范围内，即在分光机构2后分光束3和4并不非得与光轴间隔，也可以就视场角意义而言倾斜。然后照明光学机构，例如显微镜物镜的傅立叶变换特性可以将该倾斜在样品7范围内变换成间隔。
[0044] 另外，该装置具有用于控制和/或影响照明光线1相干性的机构11。该机构11同样为模块结构。
[0045] 由照明光学机构9发出的分光束12和13适用于在样品7范围内产生片光源。为此利 用反光镜机构5将分光束反射到样品7上。
[0046] 样品7被设置在具有在其内设有浸没溶剂15的样品容器14内。样品7设置在衬片16上，衬片16又设置在样品托盘17上。样品托盘17在轴向上，即可沿光轴调整或定位。
[0047] 孔径光束18通过检测光学机构8被导向光学检测器19或一照相机。替代或附加于该方案也可采用目镜进行观察。
[0048] 本实施例的方案为模块结构，并可拆解成多个部分，但不必非得在本发明所有可能的实施例中都设有这些部分。另外，不同模块或分系统的顺序可以与图1所示的顺序不同。模块或分系统之间的接口是各自的入瞳和出瞳。本实施例的特征不在于各个模块本身，而在于将各个模块设置成整个系统，以便于实现多方向的平照明。
[0049] 为实现对照明光线1的干涉能力的影响，机构11用于控制和/或影响照明光线1的相干性。在将照明光线1分成多个分光束3和4时不会对照明光线1的干涉能力造成干扰时，可以采用此方式影响干涉能力。
[0050] 本实施例的核心组成部分是分光机构2，通过所述分光机构2产生分光束3和4，所述分光束3和4利用反光镜机构5同时对样品7的平面照明。为实现对样品7范围内分光束12和13的干涉能力的控制，所述机构11用于控制和/或影响相干性。
[0051] 根据图1所示的实施例，设有机构10，所述机构10用于由分光束3和4分别产生片光源。其中例如可以涉及一种用细的发光丝对照明平面进行扫描的扫描系统，但也可以涉及一种为柱面光学机构的轴棱镜聚光系统。如果由分光机构2和照明光学机构9不需要其它辅助机构即可在样品7上产生片光源，则可以省去生成片光源的机构10。
[0052] 照明光学机构9的任务在于将照明光线投射到具有浸入溶剂的样品空间内，以及与生成片光源的机构10和反光镜机构5相结合在样品7上产生片光源。最好照明光学机构9与反光镜机构5之间进行固定机械连接。为实现反光镜机构5与样品7的相适应的相对位置，有必要在样品7下面设置一个衬片16，以便提升样品7的高度。
[0053] 特别是发光-发荧光或发磷光-适用于作为成像的衬比方法，但也可以采用暗视场-衬比。利用检测光学机构8对由样品7发出的作为孔径光束18的散射光线或发光光线进行收集并在位置传感检测器，例如在照相机-芯片上成像。为实现体成像可以利用样品托盘17对样品7实施轴向移动，同时照明光学机构9连同反光镜机构5以及检测光学机构8的位置保持固定不变。
[0054] 如果照明光线1被分成两个分光束3和4，则所述的反光镜机构5可以由相对设置的反光镜对构成。但如果分成N个分光束，则也可以是N个反光镜。其中N不必非得是偶数。而且反光镜机构5也可以是围绕样品7设置的环形反光镜或多个反光镜段。在利用机构10进行分光时，可以通过相应的修正光学机构对由不平的反光镜面造成的片光源12和13的 几何形状的变化进行补偿。
[0055] 图2示意示出照明光学机构和用于产生片光源的机构的实施例(双侧视图)，其中两个部件由一个简单的柱面透镜20构成。
[0056] 图3示意示出照明光学机构和用于产生片光源的机构的实施例(双侧视图)，其中在这里两个部件也是由一个简单的柱面透镜20构成的，另外在此还有一个平板21，用于建立向浸入溶剂15定义的过渡表面。
[0057] 图4示意示出照明光学机构9的另一个实施例，其中这里具体地涉及一种显微镜物镜。其中用单独的机构10或模块产生片光源。
[0058] 另外在图4的右半部分示出实现反光镜机构5的不同的方案。其中具体地涉及两个、三个或四个单反光镜或涉及一种环形反光镜。
[0059] 可以采用不同的方法将照明光线1分成多个分光束3和4。图5示出一种采用偏振光学方法的方案。通过加入λ/2-延迟器件25可以实现相对于诺莫斯基-棱镜的速射轴的线性偏振的照明光线的偏振方向的控制，从而实现对分光束的强度比例的调整。在图5中示意示出分光机构的两个实施例。其中用以对应于速射轴45°线性偏振的光线或用环形偏振的光线对相切的诺莫斯基-棱镜22进行照射。两个出射的分光束相互正交偏振并具有与光轴的夹角±α。采用棱镜22实施时可以提供在棱镜22外侧的出瞳23位置。如果不是上面的情况，则可以借助变形光学机构24在一个共同的出瞳23上形成两个光束。
[0060] 根据另一个图中未示出的实施方式，上述描述的方式的两个机构顺序设置，其中第二系统以45°沿光轴旋转。这样就形成四个分光束，在一个共同的出瞳上形成所述四个分光束。
[0061] 图6示意示出分光机构的另一个实施方式，其中专用的棱镜机构将照明光线分成两个分光束。该实施方式可以具有偏振分光层26和λ/2-层27。通过另一个λ/2-层28可建立垂直偏振方向。而且在此也可以将两个系统串接在一起。
[0062] 而且也可以采用光瞳分光产生多个具有相同偏振的分光束。在这种机构中可以通过分别改变相干长度对各个分光束的干涉能力施加影响。图7示意示出分光机构的另一个实施方式，其中利用反射棱镜29实现光瞳分光成N个分光束，例如利用屋脊棱镜分成两个分光束，利用四面体棱镜分成三个分光束，利用三角锥棱镜分成四个分光束等。其中利用相应的反光镜机构5将各个分光束投射在一个共同的出瞳30上。
[0063] 图8示意示出分光机构的另一个实施方式。其中利用透射棱镜31，以便通过透射产生多个分光束。利用相应的光学机构将这些分光束投射在一个共同的出瞳32上。
[0064] 根据另一个在图中未示出的实施方式，另外可以利用轴锥镜在照明光束上产生连续的偏振角谱-环形。利用相应的光学机构可以将该环投射在一个共同的出瞳上。
[0065] 替代透射的光学机构，实现照明光线1的连续分光的另一个实施方式采用反射的光学 机构代替投射的光学机构。对此参见图7所示的实施例，其中替代反射棱镜29可以采用反射锥体并利用环形反光镜5将产生的光线投射在出瞳30上。
[0066] 图9为分光机构的另一个实施例的示意图。其中在方位角固定的情况下产生连续的偏振角谱，其中为此采用环形光阑33，所述环形光阑33被成像光学机构34投射，环形光阑在其表面上。为产生非连续的偏振角谱，所述的光阑也可以具有点状通孔或圆弓状通孔。在图9的右半部分举例示出环形光阑33和具有非连续的点状通孔的双光阑33。
[0067] 另一个图中未示出的实施例，在衍射光学器件上实现分光和产生片光源。也可以用衍射、折射和反射器件组合进行分光，有时也可以与产生片光源相结合加以利用。
[0068] 在连续的光瞳分光的情况下，例如在图8和9所示的实施例中，光环通过照明光学机构，优选通过显微镜物镜，并通过反光镜机构5，优选通过环形反光镜投射在样品上，从而来自所有偏振角的分光束产生片光源。在此没有必要产生特殊的片光源。另外在根据图2和图3所示的实施例的照明光学机构产生片光源的情况下，没有必要产生特殊的片光源。
[0069] 在所有其它的情况下，根据在图10示意示出的产生片光源的实施例通过扫描系统35垂直于瞄准的视野角的扫描移动产生片光源并实现对照明光学机构的光瞳36的瞄准照明。
[0070] 图11示意示出产生片光源的另一个实施例，其中在这里通过将分光束变形聚焦37到照明光学机构，优选显微镜物镜的入瞳38产生片光源。其中聚焦机构的方位垂直于分光束的视野角。
[0071] 可以实现对分光束干涉能力控制的两个不同的方案。在采用两个分光束时可以对两个分光束的偏振状况进行控制。根据图5和6所示的实施例，只要分光束在空间上是相互分隔的，此点就可以通过在分光束上加入λ/2-板得以实现。当分光束在空间上相互没有分隔开，利用以45°旋转的线性偏振器可以实现两个分光束在偏振方向上的投射。
[0072] 在采用N>2分光束时，可以通过加入旋转的散射片破坏照明光线的相干性，以便不会产生干涉。
[0073] 最好改变照明方向的偏振角，以便进一步减小阴影效应。
[0074] 根据另一个实施例，整个照明系统或至少分光机构和反光镜机构可以光轴为圆心机械旋转。
[0075] 根据另一个实施例，反光镜机构的成型应能实现从多个偏振方向的片光源-照明，例如采用多个反光镜对或一个环形反光镜。只要实现以光轴为圆心的分光机构和片光源产生机构的机械旋转，则足以满足要求。
[0076] 根据另一个实施例可以设置的反光镜机构的结构应能实现由多个偏振方向的片光源的照明。其中可以在片光源产生机构与照明光学机构之间采用光学旋转器件-旋转棱镜或K-反光镜，从而实现照明偏振角的旋转。
[0077] 根据另一个实施例，可以采用图7、8或9所示的实施例-采用轴棱镜或采用根据图8或7所示的实施例的反射锥体-用于产生分光束，以及拼合光阑，用于限制在两个相对的偏振角范围。在本实施例中，通过旋转拼合光阑确定相反的片光源的偏振角±β。
[0079] 最后要明确指出的是，上述实施例仅用于对要求保护的教导加以说明，所述要求保护的教导并不限于所述的实施例。
[0080] 附图标记对照表
[0081] 1 照明光线
[0082] 2 分光机构
[0083] 3 分光束
[0084] 4 分光束
[0085] 5 反光镜机构
[0086] 6 照明范围
[0087] 7 样品
[0088] 8 检测光学机构
[0089] 9 照明光学机构
[0090] 10 用于产生片光源的机构
[0091] 11 用于控制和/或影响相干性的机构
[0092] 12 用于产生片光源的分光束
[0093] 13 用于产生片光源的分光束
[0094] 14 样品容器
[0095] 15 浸没溶剂
[0096] 16 衬片
[0097] 17 样品托盘
[0098] 18 孔径光束
[0099] 19 光学检测器/照相机
[0100] 20 柱面透镜
[0101] 21 平板
[0102] 22 诺莫斯基棱镜
[0103] 23 出瞳
[0104] 24 光学机构
[0105] 25 延迟器件
[0106] 26 层
[0107] 27 λ/2-层
[0108] 28 λ/2-层
[0109] 29 反射棱镜
[0110] 30 出瞳
[0111] 31 透射棱镜
[0112] 32 出瞳
[0113] 33 光阑
[0114] 34 成像光学机构
[0115] 35 扫描系统
[0116] 36 光瞳
[0117] 37 聚焦
[0118] 38 入瞳
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