对准键合精度检测装置
专利汇可以提供对准键合精度检测装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及一种对准键合 精度 检测装置，其特征在于它包括：一 显微镜 ，一螺旋游标测量目镜，一CCD摄像机，一图像显示器，一红外 光源 ，所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的 接口 上，所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上，所述图像显示器通过视频 电缆 与所述CCD摄像机连接，所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。本实用新型利用在 近红外 区 硅 片 具有较好的红外通过能 力 ，CCD摄像机对红外光具有较好的成像 质量 ，以及螺旋游标测量目镜对键合误差具有较精确的测量效果等特点，将其与显微镜结合成一体，为微 电子 机械系统(MEMS)加工技术提供了一种有效的测量手段。它可以广泛用于各种硅MEMS器件加工工艺过程的质量监控中，还可以作为可见光黑白图像的摄像测量显微镜使用。，下面是对准键合精度检测装置专利的具体信息内容。
1、一种对准键合精度检测装置，其特征在于它包括：一显微镜，一螺旋游标 测量目镜，一CCD摄像机，一图像显示器，一红外光源，所述螺旋游标测量目镜 连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上，所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测 量目镜上，所述图像显示器通过视频电缆与所述CCD摄像机连接，所述红外光源 设置在所述显微镜的承片台下方。
2、如权利要求1所述的对准键合精度检测装置，其特征在于：所述红外光源 为卤素聚光灯。
3、如权利要求1或2所述的对准键合精度检测装置，其特征在于：所述显微 镜为三目镜显微镜。
4、如权利要求1或2所述的对准键合精度检测装置，其特征在于：所述显微 镜包括5倍、10倍、25倍、40倍、100倍多个物镜。
5、如权利要求3所述的对准键合精度检测装置，其特征在于：所述显微镜包 括5倍、10倍、25倍、40倍、100倍多个物镜。
技术领域
本实用新型涉及一种检测装置，特别是关于一种微电子机械系统中硅片与硅 片、硅片与玻璃或其它材料的对准键合精度检测装置。
背景技术
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种检测精度高，结构成本低，操作 方便的对准键合精度检测装置
为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：一种对准键合精度检测装置， 其特征在于：它包括一显微镜，一螺旋游标测量目镜，一CCD摄像机，一图像显 示器，一红外光源，所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜接口上， 所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上，所述图像显示器通过视频电缆 与所述CCD摄像机连接，所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。
所述红外光源可以采用卤素聚光灯。
所述显微镜可以采用三目镜显微镜。
所述显微镜中可以包括5倍、10倍、25倍、40、100倍多个物镜。
本实用新型由于采取以上技术方案，其具有以下优点：1、本实用新型利用在 近红外区硅片具有较好的红外通过能力，CCD摄像机对红外光具有较好的成像质 量，以及螺旋游标测量目镜对键合误差具有较精确的测量效果等特点，在显微镜的 承片台下方设置了一红外光源，在显微镜的垂直目镜上设置了一螺旋游标测量目镜 和一CCD摄像机，并通过视频电缆连接一图像显示器，从而实现了本实用新型用 普通显微镜对硅片与硅片，硅片与玻璃或其它材料对准键合精度检测的目的。2、 本实用新型由于设置了一红外光源，其与显微镜原有配置的可见光光源配合，既可 以使用红外光源对面对面的对准键合进行精度检测，也可以使用可见光源对暴露表 面的图像进行精度检测，还可以将两种光源混用，实现对各个被测表面的图像及键 合精度的检测，极大地增加了系统使用的灵活性和使用范围。3、本实用新型所有 基础部件都是选用市售常用部件，因此整个系统的技术性能成熟可靠，在制造和组 装上都不存在难度，而且设备成本又低，特别是采用普通卤素聚光灯，其虽然不是 真正的红外光源，但实验表明其红外线的亮度足够使本实用新型的系统显示出信噪 比良好的红外图像，从而使本实用新型整个系统的成本进一步降低。4、本实用新 型虽然结构简单，却为MEMS加工技术提供了一种有效的测量手段。本实用新型 使用25倍物镜与10倍螺旋游标测量目镜配合的情况下，无论机械还是光学的分辨 率都能够达到0.5微米的检测精度，因此其可以广泛用于各种硅MEMS器件加工工 艺过程的质量监控，比如微硅加速度计、压力计、陀螺等MEMS器件的工艺加工 中。另外，本实用新型还可以作为可见光黑白图像的摄像测量显微镜使用。
下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细的描述。
附图说明
图2是键合对准检测图形在显示器上显示的一幅红外图像
图3是键合对准检测图形在显示器上显示的另一幅红外图像
具体实施方式
上述实施例中，显微镜1还可以采用其它品牌的产品，其上也可以只具有一个 垂直目镜3，其结构更简单，但使用不如具有三目镜方便。显微镜1上的物镜可以 包括5倍、10倍、25倍、40倍、100倍等多个物镜10，其中40倍和100倍镜头由 于没有足够长的物距只能作为薄硅片的键合对准检测。一般显微镜1上原来就配有 一可见光源11，因此可以分别使用红外和可见光源9、11进行检测，也可以双光源 9、11同时使用。
上述实施例中，方正文祥600计算机本身就配置有视频采集卡，如果采用其它 显示器，CCD摄像机4和图像显示器5之间的视频采集卡可以采用其它各种现有产 品。如果将一台电视机作为图像显示器5，其可以直接连接CCD摄像机4，而不使 用视频采集卡。CCD摄像机4的品牌和型号也是可以更换的，但其分辨率应不低于 480线。
上述实施例中，卤素聚光灯虽然不是真正的红外光源，但实验表明其红外线的 亮度足够使本实用新型的系统显示出信噪比良好的红外图像，而且成本比一般红外 灯价格便宜，当然，红外光源9也可以采用其它红外灯。
上述实施例中的螺旋游标测量目镜4也可以选用其它品牌的产品。
本实用新型使用时，首先将被测物品12(以两对准键合的硅片为例)放置在显 微镜1的承片台8上，打开红外光源9，红外光通过承片台8上的透光孔(图中未 示出)、物镜10和螺旋游标测量目镜4，将硅片上的键合图像投射到CCD摄像机5 上，并显示在图像显示器6上。调节螺旋游标测量目镜4上的游标，便可以测量(读 出)上、下两硅片图像的对准键合精度。
如图2所示，从键合对准检测图形在图像显示器6上显示的红外图像可以看出， 经过25倍物镜，10倍螺旋测量目镜，4毫米摄像机镜头和1/3英寸CCD摄像机后， 第一片上的对准标记13和第二片上的对准标记14宽度差为10微米，螺旋游标测 量目镜4上的游标叉丝15宽0.4微米；如图3所示，第一片上的对准标记13和第 二片上的对准标记14在上、下方向约差2微米。
上述测量图像使用的是10倍物镜4，如果使用25倍物镜其效果更好。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 用于确定层厚度的共焦显微镜和显微镜方法 | 2020-05-12 | 428 |
| 用于显微镜的转换装置 | 2020-05-12 | 448 |
| 扫描显微镜 | 2020-05-11 | 479 |
| 变焦显微镜 | 2020-05-11 | 679 |
| 显微镜以及用于显微镜的声光合束器 | 2020-05-11 | 11 |
| 显微镜以及用于显微镜的声光合束器 | 2020-05-11 | 192 |
| 具有无线接口的显微镜和显微镜系统 | 2020-05-11 | 1055 |
| 显微镜系统与显微镜系统的操作方法 | 2020-05-11 | 364 |
| 光学显微镜和用于利用光学显微镜记录图像的方法 | 2020-05-13 | 127 |
| 照明数字光学显微镜中物体的方法、数字光学显微镜及该显微镜的明视野反射光照明装置 | 2020-05-13 | 348 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
