吸嘴装置
阅读：541发布：2020-05-12
专利汇可以提供吸嘴装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 系揭露一种 吸嘴 装置，其系包含一吸嘴本体与一中空吸杆。吸嘴本体具有一贯穿自身的吸孔，中空吸杆具有复数个贯穿自身的通孔，中空吸杆设于吸孔中，以连通所有通孔与吸孔，中空吸杆的底部位于吸孔的底部的正上方。本发明利用中空吸杆作为 支撑 结构，当吸嘴本体吸取 薄膜 时，起到承载作用，防止薄膜进一步形变。，下面是吸嘴装置专利的具体信息内容。
1.一种吸嘴装置，其特征在于，包含：
一吸嘴本体，具有一贯穿自身的吸孔；以及
一中空吸杆，具有复数个贯穿自身的通孔，该中空吸杆设于该吸孔中，以连通该些通孔与该吸孔，该中空吸杆的底部位于该吸孔的底部的正上方。
2.如权利要求1所述的吸嘴装置，其中该中空吸杆的该底部相距该吸孔的该底部的最短距离为1.0～1.5毫米，且每一该通孔的截面直径为0.8毫米。
3.如权利要求2所述的吸嘴装置，其中该些通孔呈纵向且间隔排列。
4.如权利要求2所述的吸嘴装置，其中该些通孔在同一平面上排列成一同心圆阵列。
5.如权利要求1所述的吸嘴装置，其中该吸孔呈喇叭状，且该吸孔的周长由上而下渐增。
6.如权利要求5所述的吸嘴装置，其中该吸嘴本体往上延伸以形成一中空套筒，该中空套筒的中央套孔连通该吸孔与该些通孔。
7.如权利要求6所述的吸嘴装置，其中该中空吸杆往上延伸以依序形成一第一中空柱体与一第二中空柱体，该第一中空柱体位于该中空吸杆与该第二中空柱体的间，且该第一中空柱体的外周长小于该第二中空柱体的外周长，该第一中空柱体位于该中央套孔中，该第二中空柱体设于该中空套筒的顶部，该第一中空柱体的第一中央穿孔连通该第二中空柱体的第二中央穿孔与该些通孔。
8.如权利要求5所述的吸嘴装置，其中该吸孔的最短该周长等于该中空吸杆的外周长。
9.如权利要求1所述的吸嘴装置，其中该中空吸杆与该吸嘴本体为一体成型者。
10.如权利要求1所述的吸嘴装置，其中该中空吸杆透过黏着剂固定于该吸嘴本体上，并位于该吸孔中。
吸嘴装置
技术领域
[0001] 本发明系关于一种吸取装置，且特别关于一种吸嘴装置。
背景技术
[0002] 随着科技进步，现今的半导体产业的产品也随着科技的进步而日渐精密，更逐渐缩小了产品的体积，因此在进行半导体元件的自动化生产制程时，会藉由一真空吸嘴提供薄膜的吸取及放置功能，使真空吸嘴在机械手臂的带动下，并搭配真空抽气装置，用以将所述薄膜自预备区移动至预定的加工区域。然而，在吸取过程中，由于吸附区域的内外压差，容易造成过度形变与折伤，后续加工中伴随气泡等不良产生，如图1所示，以光学胶10为例，利用吸嘴12置于光学胶10上，并配合真空吸引的方式，对光学胶10进行吸取动作。然而，因为吸附区域没有任何支撑，导致吸嘴12的内外压差使光学胶10发生过度形变，因此在靠近吸嘴12的底部边缘处的光学胶10，及最靠近吸嘴10的内部的光学胶10，会形成折伤。
[0003] 因此，本发明系在针对上述的困扰，提出一种吸嘴装置，以解决习知所产生的问题。
发明内容
[0004] 本发明的主要目的，在于提供一种吸嘴装置，其系利用中空吸杆作为支撑结构，当吸嘴本体吸取薄膜时，起到承载作用，防止薄膜进一步形变。
[0005] 为达上述目的，本发明提供一种吸嘴装置，包含一吸嘴本体与一中空吸杆。吸嘴本体具有一贯穿自身的吸孔，中空吸杆具有复数个贯穿自身的通孔，中空吸杆设于吸孔中，以连通所有通孔与吸孔，中空吸杆的底部位于吸孔的底部的正上方。
[0006] 在本发明的一实施例中，中空吸杆的底部相距吸孔的底部的最短距离为1.0～1.5毫米(mm)，且每一通孔的截面直径为0.8毫米。
[0007] 在本发明的一实施例中，所有通孔呈纵向且间隔排列。
[0008] 在本发明的一实施例中，所有通孔在同一平面上排列成一同心圆阵列。
[0009] 在本发明的一实施例中，吸孔呈喇叭状，且吸孔的周长由上而下渐增。
[0010] 在本发明的一实施例中，吸嘴本体往上延伸以形成一中空套筒，中空套筒的中央套孔连通吸孔与所有通孔。
[0011] 在本发明的一实施例中，中空吸杆往上延伸以依序形成一第一中空柱体与一第二中空柱体，第一中空柱体位于中空吸杆与第二中空柱体的间，且第一中空柱体的外周长小于第二中空柱体的外周长，第一中空柱体位于中央套孔中，第二中空柱体设于中空套筒的顶部，第一中空柱体的第一中央穿孔连通第二中空柱体的第二中央穿孔与所有通孔。
[0012] 在本发明的一实施例中，吸孔的最短周长等于中空吸杆的外周长。
[0013] 在本发明的一实施例中，中空吸杆与吸嘴本体为一体成型者。
[0014] 在本发明的一实施例中，中空吸杆透过黏着剂固定于吸嘴本体上，并位于吸孔中。
[0016] 图1为先前技术的吸嘴与光学胶的结构示意图。
[0017] 图2为本发明的吸嘴装置的第一实施例的结构示意图。
[0018] 图3为本发明的沿图2的A-A’线的结构剖视图。
[0019] 图4为本发明的吸嘴装置的第一实施例的运作的结构示意图。
[0020] 图5为本发明的吸嘴装置的第二实施例的结构示意图。
[0021] 图6为本发明的沿图5的B-B’线的结构剖视图。
[0022] 图7为本发明的吸嘴装置的第二实施例的运作的结构示意图。
[0023] 图8为本发明的吸嘴装置的第三实施例的结构示意图。
[0024] 图9为本发明的沿图8的C-C’线的结构剖视图。
[0025] 图10为本发明的吸嘴装置的第三实施例的运作的结构示意图。
[0026] 附图标记：
[0027] 10 光学胶
[0028] 12 吸嘴
[0029] 14 吸嘴本体
[0030] 16 中空吸杆
[0031] 18 吸孔
[0032] 20 通孔
[0033] 22 黏着剂
[0034] 24 抽气管路
[0035] 26 抽气装置
[0036] 28 薄膜
[0037] 30 吸嘴本体
[0038] 32 中空吸杆
[0039] 34 吸孔
[0040] 36 通孔
[0041] 38 抽气管路
[0042] 40 抽气装置
[0043] 42 薄膜
[0044] 44 吸嘴本体
[0045] 46 中空吸杆
[0046] 48 吸孔
[0047] 50 通孔
[0048] 52 中空套筒
[0049] 54 中央套孔
[0050] 56 第一中空柱体
[0051] 58 第二中空柱体
[0052] 60 第一中央穿孔
[0053] 62 第二中央穿孔
[0054] 64 抽气管路
[0055] 66 抽气装置
[0056] 68 薄膜
具体实施方式
[0057] 本发明的实施例将藉由下文配合相关图式进一步加以解说。尽可能的，于附图与说明书中，相同标号系代表相同或相似构件。于附图中，基于简化与方便标示，形状与厚度可能经过夸大表示。可以理解的是，未特别显示于附图中或描述于说明书中的元件，为所属技术领域中具有通常技术者所知的形态。本领域的通常技术者可依据本发明的内容而进行多种的改变与修改。
[0058] 当一个元件被称为『在…上』时，它可泛指该元件直接在其他元件上，也可以是有其他元件存在于两者之中。相反地，当一个元件被称为『直接在』另一元件，它是不能有其他元件存在于两者的中间。如本文所用，词汇『及/或』包含了列出的关联项目中的一个或多个的任何组合。
[0059] 于下文中关于“一个实施例”或“一实施例”的描述系指关于至少一实施例内所相关连的一特定元件、结构或特征。因此，于下文中多处所出现的“一个实施例”或“一实施例”的多个描述并非针对同一实施例。再者，于一或多个实施例中的特定构件、结构与特征可依照一适当方式而结合。
[0060] 以下请参阅图2与图3，并介绍本发明的吸嘴装置的第一实施例。吸嘴装置包含一吸嘴本体14与一中空吸杆16。中空吸杆16的材质可为一种易加工与高机械强度的工程塑料，例如聚醚醚酮高分子材料(peek)。吸嘴本体14具有一贯穿自身的吸孔18，中空吸杆16具有复数个贯穿自身的通孔20，中空吸杆16设于吸孔18中，以连通所有通孔20与吸孔18，中空吸杆16的底部位于吸孔18的底部的正上方。在第一实施例中，中空吸杆16透过黏着剂22固定于吸嘴本体14上，并位于吸孔18中。在本发明的某些实施例中，中空吸杆16的底部相距吸孔18的底部的最短距离d1为1.0～1.5毫米(mm)，较佳者为1.5毫米，且每一通孔20的截面直径d2为0.8毫米，但本发明并不以此为限。在本发明的某些实施例中，所有通孔20呈纵向且间隔排列，例如所有通孔20在同一平面上排列成一同心圆阵列。
[0061] 以下请参阅图2与图4，并介绍本发明的吸嘴装置的第一实施例的吸取方式。吸嘴本体14与中空吸杆16透过一抽气管路24连接一抽气装置26，以连通抽气管路24、所有通孔20与吸孔18，并在吸嘴本体14的底部放置一薄膜28，例如厚度为70微米(μm)的防反射增透膜(ARF,Anti-reflection Film)。当抽气装置26透过抽气管路24、所有通孔20与吸孔18开始抽真空时，薄膜28接触吸嘴本体14的底部，使吸嘴本体14的底边缘先接触受力，起到缓冲作用。随着吸嘴本体14的内外压差愈来愈大，薄膜28产生轻微变形后就会接触到中空吸杆
16的底部，起到承载作用，防止薄膜28过度形变而导致折伤，使折伤不良比例由原来的
0.3％降低至0.01％以下，同时提升机台运行时的稳定性。其中，中空吸杆16的底部相距吸孔18的底部的最短距离d1对应薄膜28的厚度与硬度，当薄膜28的厚度与硬度的至少其中一者愈大，中空吸杆16的底部相距吸孔18的底部的最短距离d1愈小，因为若中空吸杆16的底部相距吸孔18的底部的最短距离d1太大，还是会造成薄膜28过度形变而导致折伤。
16的底部，起到承载作用，防止薄膜28过度形变而导致折伤，使折伤不良比例由原来的
0.3％降低至0.01％以下，同时提升机台运行时的稳定性。其中，中空吸杆16的底部相距吸孔18的底部的最短距离d1对应薄膜28的厚度与硬度，当薄膜28的厚度与硬度的至少其中一者愈大，中空吸杆16的底部相距吸孔18的底部的最短距离d1愈小，因为若中空吸杆16的底部相距吸孔18的底部的最短距离d1太大，还是会造成薄膜28过度形变而导致折伤。
[0062] 以下请参阅图5与图6，并介绍本发明的吸嘴装置的第二实施例。吸嘴装置包含一吸嘴本体30与一中空吸杆32。中空吸杆32的材质可为一种易加工与高机械强度的工程塑料，例如聚醚醚酮高分子材料(peek)。吸嘴本体30具有一贯穿自身的吸孔34，中空吸杆32具有复数个贯穿自身的通孔36，中空吸杆32设于吸孔34中，以连通所有通孔36与吸孔34，中空吸杆32的底部位于吸孔34的底部的正上方。在第二实施例中，中空吸杆32与吸嘴本体30为一体成型者，因此吸嘴本体30的材质同样为聚醚醚酮高分子材料。在本发明的某些实施例中，中空吸杆32的底部相距吸孔34的底部的最短距离d3为1.0～1.5毫米(mm)，较佳者为1.5毫米，且每一通孔36的截面直径d4为0.8毫米，但本发明并不以此为限。在本发明的某些实施例中，所有通孔36呈纵向且间隔排列，例如所有通孔36在同一平面上排列成一同心圆阵列。
[0063] 以下请参阅图5与图7，并介绍本发明的吸嘴装置的第二实施例的吸取方式。吸嘴本体30与中空吸杆32透过一抽气管路38连接一抽气装置40，以连通抽气管路38、所有通孔36与吸孔34，并在吸嘴本体30的底部放置一薄膜42，例如厚度为70微米(μm)的防反射增透膜(ARF,Anti-reflection Film)。当抽气装置40透过抽气管路38、所有通孔36与吸孔34开始抽真空时，薄膜42接触吸嘴本体30的底部，使吸嘴本体30的底边缘先接触受力，起到缓冲作用。随着吸嘴本体30的内外压差愈来愈大，薄膜42产生轻微变形后就会接触到中空吸杆
32的底部，起到承载作用，防止薄膜42过度形变而导致折伤，使折伤不良比例由原来的
0.3％降低至0.01％以下，同时提升机台运行时的稳定性。其中，中空吸杆32的底部相距吸孔34的底部的最短距离d3对应薄膜42的厚度与硬度，当薄膜42的厚度与硬度的至少其中一者愈大，中空吸杆32的底部相距吸孔34的底部的最短距离d3愈小，因为若中空吸杆32的底部相距吸孔34的底部的最短距离d3太大，还是会造成薄膜42过度形变而导致折伤。
32的底部，起到承载作用，防止薄膜42过度形变而导致折伤，使折伤不良比例由原来的
0.3％降低至0.01％以下，同时提升机台运行时的稳定性。其中，中空吸杆32的底部相距吸孔34的底部的最短距离d3对应薄膜42的厚度与硬度，当薄膜42的厚度与硬度的至少其中一者愈大，中空吸杆32的底部相距吸孔34的底部的最短距离d3愈小，因为若中空吸杆32的底部相距吸孔34的底部的最短距离d3太大，还是会造成薄膜42过度形变而导致折伤。
[0064] 以下请参阅图8与图9，并介绍本发明的吸嘴装置的第三实施例。吸嘴装置包含一吸嘴本体44与一中空吸杆46。中空吸杆46的材质可为一种易加工与高机械强度的工程塑料，例如聚醚醚酮高分子材料(peek)。吸嘴本体44具有一贯穿自身的吸孔48，中空吸杆46具有复数个贯穿自身的通孔50，中空吸杆46设于吸孔48中，以连通所有通孔50与吸孔48，中空吸杆46的底部位于吸孔48的底部的正上方。在本发明的某些实施例中，中空吸杆46的底部相距吸孔48的底部的最短距离d5为1.0～1.5毫米(mm)，较佳者为1.5毫米，且每一通孔50的截面直径d6为0.8毫米，但本发明并不以此为限。在本发明的某些实施例中，所有通孔50呈纵向且间隔排列，例如所有通孔50在同一平面上排列成一同心圆阵列。
[0065] 在第三实施例中，吸孔48呈喇叭状，且吸孔48的周长由上而下渐增，使吸孔48的最短周长等于中空吸杆46的外周长，以便于容置中空吸杆46于吸孔48中。此外，吸嘴本体44往上延伸以形成一中空套筒52，中空套筒52的中央套孔54连通吸孔48与所有通孔50。中空吸杆46往上延伸以依序形成一第一中空柱体56与一第二中空柱体58，因此第一中空柱体56与第二中空柱体58的材质皆为聚醚醚酮高分子材料，第二中空柱体58的高度d7为10毫米，中空吸杆46、第一中空柱体56与第二中空柱体58的总高度d8为20毫米。第一中空柱体56位于中空吸杆46与第二中空柱体58的间，且第一中空柱体56的外周长小于第二中空柱体58的外周长，第一中空柱体56位于中央套孔54中，第二中空柱体58设于中空套筒52的顶部，第一中空柱体56的第一中央穿孔60连通第二中空柱体58的第二中央穿孔62与所有通孔50。
[0066] 以下请参阅图8与图10，并介绍本发明的吸嘴装置的第三实施例的吸取方式。第二中空柱体58透过一抽气管路64连接一抽气装置66，以连通抽气管路64、第二中央穿孔62、第一中央穿孔60、所有通孔50与吸孔48，并在吸嘴本体44的底部放置一薄膜68，例如厚度为70微米(μm)的防反射增透膜(ARF,Anti-reflection Film)。当抽气装置66透过抽气管路64、第二中央穿孔62、第一中央穿孔60、所有通孔50与吸孔48开始抽真空时，薄膜68接触吸嘴本体44的底部，使吸嘴本体44的底边缘先接触受力，起到缓冲作用。随着吸嘴本体44的内外压差愈来愈大，薄膜68产生轻微变形后就会接触到中空吸杆46的底部，起到承载作用，防止薄膜68过度形变而导致折伤，使折伤不良比例由原来的0.3％降低至0.01％以下，同时提升机台运行时的稳定性。其中，中空吸杆46的底部相距吸孔48的底部的最短距离d5对应薄膜68的厚度与硬度，当薄膜68的厚度与硬度的至少其中一者愈大，中空吸杆46的底部相距吸孔48的底部的最短距离d5愈小，因为若中空吸杆46的底部相距吸孔48的底部的最短距离d5太大，还是会造成薄膜68过度形变而导致折伤。
[0067] 综上所述，本发明将中空吸杆置于吸嘴中，以利用中空吸杆作为支撑结构，当吸嘴本体吸取薄膜时，起到承载作用，防止薄膜进一步形变。
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