在煤气锅炉、气体燃烧设备等中使用的截止阀要求有优良的截止 性能。以往，作为谋求提高截止性能的截止阀，公知有如下这种截止 阀。该截止阀，在具有流体入口和流体出口的阀壳的流道上设有阀座， 支承于阀操作轴的前端的阀体被压缩弹簧施加力而与上述阀座抵接， 由电磁开阀机构使阀体从阀座离开，该阀操作轴连接于电磁开阀机构 上、并相对于该阀座沿轴向移动。并且，上述阀座由以阀孔为中心而 形成于入口侧的第1阀座部，和形成于出口侧的、直径小于上述第1阀 座部的第2阀座部构成，并且，上述阀体以将与上述第1阀座部抵接的 大直径的第1阀体部，和与上述第2阀座部抵接的小直径的第2阀体部叠 合而成一体的方式构成(参照日本特开2003-161375号公报)。
在上述截止阀中，在开阀时，在电磁开阀机构的吸引力作用下， 上述阀体抵抗上述压缩弹簧的弹力从阀座离开而打开阀孔。此时，由 于流道内的流体压力作用于阀体上，所以电磁开阀机构的吸引力要求 是胜过上述压缩弹簧的弹力和流道内的流体压力的吸引力。由于施加 于上述阀体上的流体压力与阀体的受压面积成比例，所以阀体的直径 越大，则施加于阀体上的流体压力越大，相应地电磁开阀机构也大型 化，并且涉及到成本增高。
上述的以往的截止阀由于是流体压力作用于位于流体入口侧的大 直径的第1阀体部上，所以需要具有在开阀时胜过作用于大直径的第1 阀体部上的流体压力的吸引力的电磁开阀机构，与由1个阀体部构成的 阀体相比，存在电磁开阀机构也大型化、且导致成本增高这样的问题。

本发明的目的在于提供即使流体入口侧的流体压力所作用的第1 阀体部的外径较大，也能用比以往小的力来进行开阀的截止阀。
本发明的目的通过如下的截止阀来实现，即，具有这样的阀部： 在具有流体入口和流体出口的阀壳的流道上设有阀座，支承于阀操作 轴的前端的阀体被压缩弹簧施力而与上述阀座抵接，由电磁开闭机构 使阀体从上述阀座离开，该阀操作轴连接于电磁开闭机构上、并相对 于该阀座沿轴向移动，其特征在于：上述阀座由以阀孔为中心并形成 于其入口侧的第1阀座部，和形成于上述阀孔的出口侧的、直径比上述 第1阀座部的直径小的第2阀座部构成，上述阀体以可分离地叠合与上 述第1阀座部抵接的大直径的第1阀体部，和与上述第2阀座部抵接的小 直径的第2阀体部的方式而构成，上述第1阀体部用弹性材料形成，上 述第2阀体部的至少除与上述第2阀座部抵接的部分以外的部分用刚性 材料形成，在上述第1阀体部的中央形成有供上述阀操作轴贯通的贯通 孔，贯通了该贯通孔的上述阀操作轴的前端与上述第2阀体部连接，在 上述第1阀体部与上述阀操作轴之间具有第1阀体部移动机构，该第1阀 体部移动机构在开阀时相互卡合而使上述第1阀体部的中央部向离开 上述第2阀体部的方向移动，而且，在上述阀操作轴的前端与上述第2 阀体部的连接部具有第2阀体部开阀动作延迟机构，该第2阀体部开阀 动作延迟机构在开阀时使上述第2阀体部的开阀动作延迟，使由上述第 1阀体部移动机构引起的上述第1阀体部的移动动作优先。
如此构成，则在开阀时，由电磁开阀机构使阀操作轴向离开阀座 的方向移动时，由于第2阀体部开阀动作延迟机构，第2阀体部不马上 从阀座离开，而是首先由在第1阀体部与阀操作轴之间具有的第1阀体 部移动机构使第1阀体部的中央部向离开第2阀体部的方向移动。因第1 阀体部移动机构而被移动的第1阀体部用弹性材料形成，所以其中央部 变形，从第2阀体部离开，在其与第2阀体部之间产生了间隙。由此， 处于第1阀体部的上游侧的流道内的流体通过形成于第1阀体部中央的 贯通孔而进入在上述第1阀体部与第2阀体部之间产生的间隙，消除了 第1阀体部的上游侧与下游侧的压差，并且第1阀体部从第1阀座部离 开。通过阀操作轴进一步的移动，与阀操作轴的前端连接的第2阀体部 从第2阀座部离开，从而进行开阀。
因此，能够以小直径的第2阀体部的受压面积为基准而求出阀体离 开阀座所必须的电磁开阀机构的吸引力，所以与以大直径的第1阀体部 的受压面积为基准求出吸引力的以往的截止阀相比，能够将电磁开阀 机构的吸引力抑制得较小，能够谋求电磁开阀机构的小型化，并能够 谋求成本降低。
上述第2阀体部的与上述第2阀座部抵接的部分用弹性材料形成。
如此构成，则即使第2阀体部的其他部分由刚性材料构成，也能充 分确保其与第2阀座部之间的密封性能。
上述第1阀座部与上述第1阀体部形成面接触的结构，上述第2阀座 部与上述第2阀体部形成线接触的结构。
如此构成，则能够用线接触的第2阀座部与第2阀体部来提高密封 性能，能够用面接触的第1阀座部与第1阀体部来使密封性能稳定。
上述第2阀体部的与上述第2阀座部抵接的部分作为阀座抵接部， 用弹性材料形成，上述第2阀体部的除此之外的部分作为主体部，用刚 性材料形成，在该主体部，保持上述阀座抵接部的基部外周的部分形 成在开阀时不阻止通过了上述第1阀体部的上述贯通孔的流体的流通 的结构。
如此构成，则在闭阀时在上述第2阀体部的用刚性材料形成的主体 部的基部外周的部分没有密封性。因此，在开阀时，第2阀体部的用刚 性材料形成的主体部的基部外周的部分不妨碍开阀操作，能够用以与 上述第2阀座部抵接的第2阀体部的阀座抵接部的受压面积为基准算出 的开阀力进行开阀。
在该主体部，保持上述阀座抵接部的基部外周的部分形成有缺 口，以便在开阀时不阻止通过了上述第1阀体部的上述贯通孔的流体的 流通。
如此构成，则结构简单，可容易进行制造。
设于上述第1阀体部与上述阀操作轴之间的上述第1阀体部移动机 构由设于上述第1阀体部的中央部、突出到该第1阀体部的上述贯通孔 内的硬质的卡合部件，和在上述阀操作轴的外周突出设置的、在开阀 时与上述卡合部件的下表面卡和的卡合突部构成。
如此构成，则在开阀时，在上述阀操作轴的外周突出设置的卡合 突部卡合于突出到第1阀体部的贯通孔内的卡合部件的下表面上，能够 可靠地抬起第1阀体部的中央部，使第1阀体部与第2阀体部之间产生间 隙。
在上述第2阀体部开阀动作延迟机构上设有姿势保持机构，该姿势 保持结构使上述第2阀体部相对于上述阀操作轴正交的姿势从开阀时 保持到闭阀时。
如此构成，则从开阀时到闭阀时之间，处于由姿势保持机构使上 述第2阀体部保持相对于上述阀操作轴正交的姿势的状态，在闭阀时上 述第2阀体部不会相对于阀操作轴倾斜，而是正对第2阀座部，以正常 的姿势抵接，所以能够充分确保闭阀时的第2阀体部与第2阀座部的密 封性能。
具有上述姿势保持机构的第2阀体部开阀动作延迟机构由设于上 述阀操作轴的前端的头部，和设于上述第2阀体部上、上述头部可沿轴 向自由移动规定尺寸地嵌合在其中且防止其脱离的有底筒状部构成， 在该有底筒状部的开口部侧与上述头部的前端侧之间安装有姿势保持 用压缩弹簧，构成上述姿势保持机构，该姿势保持用压缩弹簧向将头 部的前端压靠于有底筒状部的底部的方向施力，使上述第2阀体部相对 于上述阀操作轴正交的姿势从开阀时保持到闭阀时。
如此构成，则由于具有上述姿势保持机构的第2阀体部开阀动作延 迟机构由设于阀操作轴前端的头部，和设于上述第2阀体部上、上述头 部可沿轴向自由移动规定尺寸地嵌合在其中且防止其脱离的有底筒状 部构成，所以在开阀时，在上述阀操作轴移动了上述规定尺寸之前， 第2阀体部不会离开阀座，在阀操作轴移动上述规定尺寸期间，由上述 第1阀体部移动机构使第1阀体部的中央部向离开第2阀体部的方向移 动，能够在第1阀体部与第2阀体部之间产生间隙。
并且，由于在上述有底筒状部的开口部侧与上述头部的前端侧之 间安装有姿势保持用压缩弹簧，构成上述姿势保持机构，该姿势保持 用压缩弹簧向将头部的前端压靠于有底筒状部的底部的方向施力，使 上述第2阀体部相对于上述阀操作轴正交的姿势从开阀时到闭阀时，所 以通过上述阀操作轴的移动，安装于底筒状部的开口部侧与头部的前 端侧之间的姿势保持用压缩弹簧被压缩，通过阀操作轴的进一步移 动，第2阀体部从第2阀座部离开时，借助被压缩的姿势保持用压缩弹 簧的反弹力，有底筒状部的底部被向压靠头部的前端的方向施力，第1 阀体部与第2阀体部抵接，能使上述第2阀体部相对于上述阀操作轴正 交的姿势从开阀时保持到闭阀时。
上述阀部由在具有流体入口和流体出口的阀壳的流道上串联组装 的上游侧阀部和下游侧阀部构成。
如此，则能够用2个阀部截止流道，从而能够得到截止性优良的截 止阀。并且，即使在上述上游侧阀部和下游侧阀部的某一阀部产生了 流体泄漏，也会由另一阀体截止流道，从而能够得到安全性高的截止 阀。
在上述上游侧阀部的上游侧的流道上配置有用于检测该流道内的 压力的上游侧压力传感器，在上游侧阀部和下游侧阀部之间的流道上 配置有用于检测该流道内的压力的中游部压力传感器，在上述下游侧 阀部的下游侧的流道上配置有用于检测该流道内的压力的下游侧压力 传感器。
如此构成，则通过用上游侧压力传感器、中游部压力传感器和下 游侧压力传感器检测出上游侧阀部的上游侧的流道、上游侧阀部和下 游侧阀部之间的流道、下游侧阀部的下游侧的流道的压力，能够用测 定出的压力判定上游侧阀部和下游侧阀部的泄漏，能够得到安全性更 高的截止阀。
附图说明
图1是表示本发明的截止阀的形态的第1例的纵剖视图。
图2是表示图1的阀座与阀体的部位的剖视图。
图3是图1所示的第2阀体部的仰视图。
图4是表示本例的开阀动作的说明图。
图5是表示本例的开阀动作的说明图。
图6是表示本发明的截止阀的形态的第2例的纵剖视图。

为了更详细地说明本发明，依照附图对其进行说明。
图1至图5是表示本发明的截止阀的形态的第1例的图，图1是本例 的截止阀的纵剖视图，图2是表示图1的阀座与阀体的部位的剖视图， 图3是第2阀体部的仰视图，图4、图5是表示本例的开阀动作的说明图。
本例的截止阀，在阀壳1上设有与供给侧配管连接的流体入口部 2、和与排出侧配管连接的流体出口部3，在内部设有连接流体入口部2 和流体出口部3的流道4。在该流道4上具有开闭该流道4的阀部5。
在本例中，阀部5按如下构成。
在上述阀壳1内设有将流道4分隔为流体入口部2侧和流体出口部3 侧的分隔壁6。在该分隔壁6上设有环状的阀座7，在该阀座7的中央设 有在上下方向贯通而连通流体入口部2侧和流体出口部3侧的阀孔8。
此外，在阀壳1内设有支承于阀操作轴10的前端的阀体11，该阀操 作轴10与电磁开阀机构9连接，并相对于上述阀座7轴向移动，使得该 阀体11被压缩弹簧12施加力而与上述阀座7抵接，由电磁开阀机构9而 从阀座7离开。
上述阀座7由以阀孔8为中心形成于入口侧的第1阀座部7a，和形成 于出口侧的、直径比上述第1阀座部7a小的第2阀座部7b构成。上述第1 阀座部7a和第2阀座部7b都是用金属等刚性材料形成。更详细地说，上 述阀座7由金属制的筒状部件13构成，由该筒状部件13的上部开口端部 形成上述第1阀座部7a，此外，在筒状部件13的内周形成有小直径台阶 部13a，由该小直径台阶部13a形成第2阀座部7b。在该第2阀座部7b中 与后述的第2阀体部抵接的抵接面上具有突出设置成同心环状的线状 突起部14。此外，在上述筒状部件13的上部开口端部与小直径台阶部 13a之间形成有中直径台阶部13b，后述的第2阀体部的主体部的基部外 周抵接在该中直径台阶部13b上。
相对于如上述那样构成的阀座7，支承于阀操作轴10的前端的阀体 11以可分离地叠合与上述第1阀座部7a抵接的大直径的第1阀体部11a 和与上述第2阀座部7b抵接的小直径的第2阀体部11b的方式而构成。
上述第1阀体部11a用橡胶等弹性材料形成。上述第2阀体部11b的 与第2阀座部7b抵接的部分作为阀座抵接部11bA用橡胶等弹性材料形 成，除此以外的部分作为主体部11bB用金属等刚性材料形成。上述阀 座抵接部11bA插入形成于主体部11bB的基部11bC上的环形槽11bD。保 持上述阀座抵接部11bA的基部11bC的外周具有与形成于构成上述阀 座7的筒状部件13上的中直径台阶部13b抵接的凸缘部11bE。
即使该凸缘部11bE与形成于筒状部件13上的中直径台阶部13b抵 接，也不妨碍第1阀体部11a与第1阀座部7a抵接。通过凸缘部11bE与形 成于筒状部件13上的中直径台阶部13b抵接，与第2阀座部7b抵接的第2 阀体部11b的阀座抵接部11bA不会向第2阀座部7b的线状突起部14过度 咬入。
此外，位于基部11bC的外周的凸缘部11bE成为处于与形成于筒状 部件13上的中直径台阶部13b抵接的状态时不阻止凸缘部11bE与中直 径台阶部13b之间的流体流通的构造。在本例中，为了不阻止流体的流 通，位于基部11bC外周的凸缘部11bE形成有缺口的构造。
在上述用橡胶等弹性材料形成的第1阀体部11a上面叠加有圆盘状 的阀保持部15，该阀保持部15承受上述压缩弹簧12的施力而使阀体11 与阀座7抵接，并向第1阀座部7a推压第1阀体部11a。
在该阀保持部15与第1阀体部11a之间形成了容许后述的第1阀体 部11a的中央部移动而变形的空间16。而且，在上述第1阀体部11a及阀 保持部15的中央形成有供上述阀操作轴10贯通的贯通孔17、18，贯通 了该贯通孔17、18的阀操作轴10的前端与第2阀体部11b连接。
上述第1阀体部11a与上述阀操作轴10之间具有第1阀体部移动机 构19，该第1阀体部移动机构19在开阀时相互卡合而使第1阀体部11a的 中央部向离开第2阀体部11b的方向移动。在本例中，上述第1阀体部移 动机构19由设于上述第1阀体部11a的中央部并突出到第1阀体部11的 贯通孔18内的硬质的卡合部件19a和突出设于上述上述阀操作轴10的 外周上、在开阀时与上述卡合部件19a的下表面卡合的卡合突部19b构 成。在本例中的上述卡合部件19a用金属板等形成为圆盘状。
此外，在阀操作轴10的前端与第2阀体部11b的连接部设有第2阀体 部开阀动作延迟机构20，该第2阀体部开阀动作延迟机构20在开阀时使 第2阀体部11b的开阀动作延迟，使由上述第1阀体部移动机构19带动的 第1阀体部11a的移动动作优先。该第2阀体部开阀动作延迟机构20上具 有使上述第2阀体部11b相对于上述阀操作轴10正交的姿势从开阀时保 持到闭阀时的姿势保持机构21。
在本例中，上述第2阀体部开阀动作延迟机构20由设于上述阀操作 轴10的前端的头部20a、和有底筒状部20b构成，该有底筒状部20b位于 上述第2阀体部11b的主体部11bB的中心地沿轴向设置，上述头部20a 可沿轴向自由移动规定尺寸地嵌合在其中且防止其脱离。
头部20a沿轴向在上述有底筒状部20b内移动的尺寸被设定为这样 的长度，即，通过上述阀操作轴10的移动，上述卡合突部19b与上述卡 合部件19a的下表面卡合而将第1阀体部11a的中央部向从第2阀体部 11b离开的方向抬起，从而使第1阀体部11a与第2阀体部11b之间产生间 隙。
上述姿势保持机构21是在上述有底筒状部20b的开口部侧与上述 头部20a的前端侧之间安装有姿势保持用压缩弹簧22的结构，该姿势保 持用压缩弹簧22向将头部20a的前端20aA压靠于有底筒状部20b的底部 20bA的方向施力，使上述第2阀体部11b相对于上述阀操作轴10正交的 姿势从开阀时保持到闭阀时。通过这样构成，用姿势保持用压缩弹簧 22向头部20a的前端压靠于有底筒状部20b的底部20bA的方向施力，第1 阀体部11a与第2阀体部11b抵接，上述第2阀体部11b被保持于与上述阀 操作轴10正交的姿势。
向使上述阀体11与阀座7抵接的方向施力的压缩弹簧12安装于后 述的活塞承接板与叠加在上述第1阀体部11a上面的阀保持部15之间， 经由阀保持部15向阀座7方向推压阀体11。
此外，上述电磁开阀机构9由使电磁线圈23作用的螺线管24和活塞 25构成，该活塞25设于上述阀操作轴10的后端部(图1中上侧)，由在 对上述电磁线圈23通电而产生的电磁作用下被吸引而移动的铁心构 成。而且，通过在对电磁线圈23通电而产生的电磁作用下被吸引而移 动的活塞25，上述阀体11抵抗压缩弹簧12的弹力而从阀座7离开，当切 断对上述电磁线圈23的通电时，上述活塞25解除了电磁作用，阀体11 被压缩弹簧12施力而与阀座7抵接。上述螺线管24设于阀壳1的外侧， 由罩26覆盖。此外，在阀壳1上设有限制活塞25向阀体11方向移动的活 塞承接板27，以使在未对电磁线圈23通电时，活塞25的重量不施加到 阀体11上。
这样构成的截止阀，在开阀时，当向构成电磁开阀机构9的电磁线 圈23通电使其励磁时，由电磁力吸引活塞25，阀操作轴10向离开阀座7 的方向移动。伴随该移动，与阀操作轴10的前端连接的阀体11抵抗压 缩弹簧12的弹力而向离开阀座7的方向移动。
此时的阀体11从阀座7离开是通过如下动作而进行的。阀操作轴10 刚向离开阀座7的方向移动后的第2阀体部11b，在与设于第2阀体部11b 的主体部11bB上的有底筒状部20b嵌合的阀操作轴10的前端的头部20a 压缩安装于有底筒状部20b的开口部侧与上述头部20a的前端侧之间的 姿势保持用压缩弹簧22，同时在有底筒状部20b内移动规定尺寸之前， 不离开第2阀座部7b而处于目前的状态。
然后，通过此期间阀操作轴10的移动，突出设于阀操作轴10的外 周的卡合突部19b与设于第1阀体部11a的中央部的卡合部件19a的下表 面卡合，使第1阀体部11a的中央部向离开第2阀体部11b的方向移动。
由于被移动的第1阀体部11a用弹性材料形成，所以其中央部变形 而离开第2阀体部11b，与第2阀体部11b之间产生间隙。在如此产生的 第1阀体部11a与第2阀体部11b之间的间隙内，位于上述第1阀体部11a 的上游侧的流道4的流体通过形成于第1阀体部11a及阀保持部15的中 央的贯通孔17、18而进入。
由此，消除了第1阀体部11a的上游侧和下游侧的压差，并且第1阀 体部11a从第1阀座部7a离开。然后，上述阀操作轴10的前端的头部20a 在有底筒状部20b内移动规定尺寸，到达防脱位置时，通过进一步继续 的阀操作轴10的移动，第2阀体部11b从第2阀座部7b离开而开阀。
如上所述，阀体11从阀座7离开时的流体压力由于不存在大直径的 第1阀体部11a的上游侧与下游侧的压差而由小直径的第2阀体部11b承 受。因此，阀体11从阀座7离开时所必须的电磁开阀机构9的吸引力能 够以小直径的第2阀体部11b的阀座抵接部11bA的受压面积为基准而求 出，从而与以大直径的第1阀体部11a的受压面积为基准求出必须的电 磁开阀机构的吸引力的以往的截止阀相比，能够将电磁开阀机构9的吸 引力抑制得较小，能够谋求电磁开阀机构9的小型化，并能够谋求降低 成本。
此外，上述阀体11的第2阀体部11b从第2阀座部7b离开时，与形成 于构成阀座7的筒状部件13上的中直径台阶部13b抵接的第2阀体部11b 的上述凸缘部11bE成为不阻止凸缘部11bE与中直径台阶部13b之间流 通流体、即没有密封性的结构，所以在开阀时第2阀体部11b的上述基 部11bC的外周部分不会妨碍开阀操作，能够用以与上述第2阀座部7b 抵接的第2阀体部11b的阀座抵接部11bA的受压面积为基准求出的开阀 力可靠地进行开阀。
如此，当阀体11的第2阀体部11b从第2阀座部7b离开时，伴随上述 阀操作轴10的移动，姿势保持用压缩弹簧22被在有底筒状部20b内移动 规定尺寸的阀操作轴10的前端的头部20a压缩，在被压缩的该姿势保持 用压缩弹簧22的反弹力下，头部20a的前端被向压靠于有底筒状部20b 的底部20bA的方向施力，第1阀体部11a与第2阀体部11b抵接，将上述 第2阀体部11b相对于上述阀操作轴10正交的姿势从开阀时保持到下一 闭阀时。
接着，在闭阀时，切断向构成上述电磁开阀机构9的电磁线圈23的 通电、解除励磁时，由压缩弹簧12的反弹力使阀体11向阀座7方向移动 而与阀座7抵接，关闭阀孔8，截止流道4。该流道4的截止是通过由第1 阀座部7a和第2阀座部7b构成的阀座7、与由大直径的第1阀体部11a和 小直径的第2阀体部11b构成的阀体11作为两级密封进行的，因此可得 到优良的密封性。
此外，如上所述，从开阀时到下一闭阀时，上述第2阀体部11b由 姿势保持机构21而保持为相对于上述阀操作轴10正交的姿势，所以在 闭阀时，上述第2阀体部11b不会相对于阀操作轴10倾斜，而是正对第2 阀座部7b，以正常的姿势与其抵接，所以能够充分确保闭阀时的第2阀 体部11b和第2阀座部7b的密封性能。
此外，在本例中，上述阀座7由金属制的筒状部件13构成，由该筒 状部件13的上部开口端部形成上述第1阀座部7a，而且，在筒状部件13 的内周形成有小直径台阶部13a，由该小直径台阶部13a形成第2阀座部 7b。该第2阀座部7b中与第2阀体部11b抵接的抵接面上具有突出设置成 同心环状的线状突起部14，所以第1阀座部7a与第1阀体部11a是面接 触，第2阀座部7b与第2阀体部11b的阀座抵接部11bA是线接触，从而能 够用线接触的第2阀座部7b与第2阀体部11b提高密封性能，能够用面接 触的第1阀座部7a与第1阀体部11a使密封性能稳定。
图6是表示本发明的截止阀的形态的第2例的图，图6是本例的截止 阀的纵剖视图。
本例的截止阀，在阀壳1上设有与供给侧配管连接的流体入口部 2、和与排出侧配管连接的流体出口部3，在内部设有连接流体入口部2 和流体出口部3的流道4，在上述流道4串联配置有开闭该流道4的上游 侧阀部5A和下游侧阀部5B。
上述上游侧阀部5A和下游侧阀部5B与上述的第1例的阀部5的结构 相同，因此，标注与第1例的阀部5相同的附图标记，对于其细节也引 用上述第1例的阀部5的说明，省略了本例的上游侧阀部5A和下游侧阀 部5B的说明。
另外，在本例中，在上述上游侧阀部5A的上游侧的流道4a上配置 有用于检测该流道4a内的压力的上游侧压力传感器28，在上游侧阀部 5A和下游侧阀部5B之间的流道4b上配置有用于检测该流道4b内的压力 的中游部压力传感器29，在上述下游侧阀部5B的下游侧的流道4c上配 置有用于检测该流道4c内的压力的下游侧压力传感器30。
在这样构成的截止阀中，上游侧阀部5A和下游侧阀部5B的开阀及 闭阀动作通过与上述第1例的阀部5同样的动作进行。对于上游侧阀部 5A和下游侧阀部5B的动作顺序，在开阀动作中，先打开上游侧阀部5A 和下游侧阀部5B中的任一个、或同时打开上游侧阀部5A和下游侧阀部 5B都没有问题，但在闭阀动作中，优选是先使上游侧阀部5A动作，关 闭了上游侧阀部5A后再关闭下游侧阀部5B。
这样一来，由上游侧阀部5A的闭阀，上游侧阀部5A与下游侧阀部 5B之间的流体及下游侧阀部5B的下游侧的流体被排除而减压，在该状 态下关闭上述下游侧阀部5B，所以可得到将上游侧阀部5A和下游侧阀 部5B都关闭的可靠的闭阀状态。
如此，由于用上游侧阀部5A和下游侧阀部5B截止流道4，所以能够 得到截止性优良的截止阀。并且，上述上游侧阀部5A和下游侧阀部5B 分别由分隔上述流道4的阀座7、用前端支承上述阀体11的阀操作轴 10、相对于上述阀座7向轴向对支承于上述阀操作轴10上的阀体11施力 而使其与阀座7抵接的压缩弹簧12、与阀操作轴10的后端连结并由电磁 力使阀体11从上述阀座7离开的电磁开阀机构9构成，上述上游侧阀部 5A和下游侧阀部5B分别独立地存在，因此，即使倘若在上游侧阀部5A 和下游侧阀部5B中某一阀部上产生流体泄漏，由于由另一阀部来截止 流道4，能够获得安全性高的截止阀。
另外，在本例中，在上述上游侧阀部5A的上游侧的流道4a上配置 有用于检测该流道4a内的压力的上游侧压力传感器28，在上游侧阀部 5A和下游侧阀部5B之间的流道4b上配置有用于检测该流道4b内的压力 的中游部压力传感器29，在上述下游侧阀部5B的下游侧的流道4c上配 置有用于检测该流道4c内的压力的下游侧压力传感器30，所以，通过 检测出闭阀后流道4中的上游侧阀部5A的上游侧的流道4a、上游侧阀部 5A和下游侧阀部5B之间的流道4b、下游侧阀部5B的下游侧的流道4c的 压力，能够用测定出的压力判定上游侧阀部5A和下游侧阀部5B的泄 漏。
即，设上游侧阀部5A的上游侧的流道4a的压力为X、上游侧阀部5A 和下游侧阀部5B之间的流道4b的压力为Y、下游侧阀部5B的下游侧的 流道4c的压力为Z时，能够判定为：
若X＞Y＝Z，则上游侧阀部5A和下游侧阀部5B都没有流体泄漏；
若X＝Y＞Z，则在上游侧阀部5A有流体泄漏；
若X＝Y＝Z，则上游侧阀部5A和下游侧阀部5B都有流体泄漏。
如此，能够用测定出的压力判定上游侧阀部5A和下游侧阀部5B 的流体泄漏，能够得到安全性更高的截止阀。