专利汇可以提供一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种太阳 电池 制备用的前级 真空 泵 保护装置。所述的保护装置包括金属 波纹管 (8)、 截止 阀 (9)、两组 过滤器 (10)和压 力 检测装置(11)。两组过滤器(10)并联,过滤器(10)进气口的一端通过 截止阀 (9)与金属波纹管(8)相连,过滤器(10)出气口的一端通过截止阀(9)与前级 真空泵 (12)相连,每组过滤器(10)的两端均装有截止阀(9),每组过滤器(10)均连接有压力检测装置(11),金属波纹管(8)的一端与两组过滤器的进气口截止阀相连,另一端与真空腔体相连。,下面是一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置专利的具体信息内容。
1.一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置,其特征在于所述的保护装置包括金属波纹管(8)、截止阀(9)、两组过滤器(10)和压力检测装置(11);两组过滤器(10)并联,过滤器(10)进气口的一端通过截止阀(9)与金属波纹管(8)相连,过滤器(10)出气口的一端通过截止阀(9)与前级真空泵(12)相连,每组过滤器(10)的两端均装有截止阀(9),每组过滤器(10)均连接有压力检测装置(11)。金属波纹管(8)的一端与两组过滤器的进气口截止阀相连,另一端与真空腔体相连。
2.根据权利要求1所述的太阳电池制备用的前级真空泵保护装置,其特征在于,所述的过滤器(10)为双层套筒式结构,内筒(4)嵌入外筒(3)中,内筒(4)和外筒(3)有一个共同的出气口(7);内筒(4)将进气室(2)与出气室(5)分隔开;进气室(2)开有进气口(1),出气室(5)开有出气口(7),压力检测装置(6)分别与进气室(2)和出气室(5)连接。
3.根据权利要求1所述的太阳电池制备用的前级真空泵保护装置,其特征在于,所述的保护装置中,在同一时间段中只有一组过滤器(10)工作。
4.根据权利要求2所述的太阳电池制备用的前级真空泵保护装置,其特征在于,所述的过滤器内筒(4)为滤芯,滤芯材料为不锈钢网。
5.根据权利要求1所述的太阳电池制备用的前级真空泵保护装置,其特征在于,所述的前级真空泵保护装置以直线式排列。
6.根据权利要求2所述的太阳电池制备用的前级真空泵保护装置,其特征在于,所述的过滤器外筒(3)采用可丽丝材料制作。
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