真空配管灾害防止装置
专利汇可以提供真空配管灾害防止装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种 真空 配管灾害防止装置，主要是于 半导体 IC、 液晶 TFT-LCD等制程的真空管路与排气管内，设以O2侦测器(Sensor)、 温度 侦测器以及氮气 气动 阀 ，以供分别侦测配管龟裂渗入的气体、排气管内的制程气体、可燃性气体的异常升温，以经由电脑纪录警示项目，并利用区域网路通知相关负责人员，以达到防止灾害发生的目的；其中的 气动阀 是可于管路内充满氮气，以防止回火可能造成的灾害。，下面是真空配管灾害防止装置专利的具体信息内容。
1.一种真空配管灾害防止装置，其特征在于：于半导体IC及液晶TFT-LCD制程的真空配管及排气管装设温度及O2侦测器，以供侦测制程气体、可燃性气体的浓度及温度，以防止因管路渗入空气或异常升温，造成燃烧反应的灾害；该真空配管及排气管装设有氮气气动阀，以于侦测器测得异常时，自动开启气动阀使管路内充满氮气，以达到灭火作用。
2.如权利要求1所述的一种真空配管灾害防止装置，其特征在于：该真空配管及排气管装设有压力侦测器，以供侦测管路的压力变化。
3.如权利要求1所述的一种真空配管灾害防止装置，其特征在于：真空配管及排气管又装设有UV侦测器，以供侦测管内的紫外线变化，进而检查是否存在火苗。
4.如权利要求1所述的一种真空配管灾害防止装置，其特征在于：该真空配管及排气管又装设有流速侦测器，以供侦测气体的流速及流动方向，进而检查是否存在回火回流。
5.如权利要求1所述的一种真空配管灾害防止装置，其特征在于：该等侦测器是连接于一控制器，由该控制器构成对各种侦测信号的处理。
6.如权利要求5所述的一种真空配管灾害防止装置，其特征在于：该控制器连接于一计数器，以定期储存、列印、显示侦测的数据。
7.如权利要求5所述的一种真空配管灾害防止装置，其特征在于：该控制器透过CC Link与HUB连接，并与电脑连接，以将测得的数据传输至电脑，经由电脑将紧急讯号传至维修人员手机。
真空配管灾害防止装置
技术领域
背景技术
2.因无法预防真空管路及排气管内制程气体、可燃性气体的异常升温，故而有温度异常形成灾害的疑虑。
3.配管施工时因焊接不良或接续不确实，因此造成空气渗入造成爆炸的危险。
由是，前述习知的管路常于发现明显泄漏或燃烧后方得以采取相关补救措施，造成业者的损失，实也待有效改善。
发明内容
前述的灾害防止装置，是于管路内装置温度侦测器以供侦测管内的温度变化，以及一UV侦测器以供侦测火苗，防止管内的异常升温造成灾害。
前述的灾害防止装置，是于管路内装设O2侦测器，以供侦测是否有空气渗入，防止渗入空气与制程气体、可燃性气体因燃烧反应造成灾害。
前述的灾害防止装置，是于管路内装设Gas侦测器，以供侦测管路内的气体浓度是否异常，以及Flow侦测器供侦测管内流速及流动方向，以防止回火回流。
前述的灾害防止装置，是透过一定时器将所测的数据储存、列印及显示，并通过CCLink(计算器仪器联网)及HUB的连线与电脑连接，将所测的数据传至电脑，并由电脑传送至维修人员的手机。
前述的灾害防止装置，是设有一氮气气动阀，以于异常时紧急开启，将管内充满氮气，以达到灭火的目的，防止回火造成可能的灾害。
附图说明
图1是本发明的配线方块图。
图2是本发明防护装置电路方块图。
图3是本发明侦测器的配线方块图。
1.管路 23.印表机 31.温度侦测器2.防护装置 24.显示器 32.O2侦测器3.主设备 25.启动开关 33.UV侦测器21.控制器 26.清除杂质装置 34.压力侦测器22.记忆体 27.I/O端 35.气体侦测器36.流动侦测器 42.CC Link 44.电脑41.定时器 43.HUB 45.手机50.氮气气动阀 51.阀体 52.多向接头
具体实施方式
前述各侦测器，是可由O2侦测器32的侦测，防止管内的制程气体、可燃性气体浓度过高造成灾害，亦可防止因地震导致配管龟裂使空气渗入时，与气体产生燃烧反应造成灾害，而温度侦测器31则侦测气体的异常温度，以防止灾害发生，且当回火发生时，可启动清除杂质装置26，将管路内充满氮气，以达到灭火的目的。
该控制器21又连接有一定时器41，将所测的数据定期储存、列印及显示器24显示，并通过CC Link42将控制器21与HUB 43连接，并与电脑44连接，将所测的数据传至电脑44，经由电脑44将紧急讯号传送至维修人员的手机45，以能于最快速的时间内予以处理。
而透过各种侦测器于检查异常时，是自动开启紧急的氮气气动阀50，以对管内充满氮气，以进行清除工作，或可透过手动方式开启氮气气动阀50，以任意对管内进行清除。
请参阅图3，本发明的各种侦测器(以O2为例)是经由不同的阀体51连接于真空配管及排气管，使各阀体51经由多向接头52与侦测器连接，以同时侦测多数管内的状态。
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