专利汇可以提供真空工具镀膜的阴极电弧装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种 真空 工具 镀 膜 的 阴极 电弧 装置,其包括靶材等元件,靶材与冷 水 座连接,辅助 阳极 通过 支撑 柱固定在 法兰 板的一面上,第一密封O型圈位于法兰板的上方,绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间,螺钉绝缘套套在第一内六 角 螺钉上,冷水座通过第一内六角螺钉固定在法兰板的另一面上,接线座的一端位于冷水座上, 螺母 与第二内六角螺钉连接,水嘴接头位于电磁线圈的一侧,电磁线圈通过第一十字盘头螺钉与冷水座固定,电磁线圈骨架位于电磁线圈的上方,防护罩通过第二十字盘头螺钉与电磁线圈骨架固定,引弧极压紧在 气动 引弧机构上,引弧极位于靶材的下方。本实用新型结构简单,且保证靶材的均匀 刻蚀 性。,下面是真空工具镀膜的阴极电弧装置专利的具体信息内容。
1.一种真空工具镀膜的阴极电弧装置,其特征在于,其包括靶材、辅助阳极、支撑柱、法兰板、第一密封O型圈、绝缘板、第二密封O型圈、冷水座、螺钉绝缘套、第一内六角螺钉、接线座、螺母、第二内六角螺钉、水嘴接头、第一十字盘头螺钉、电磁线圈、电磁线圈骨架、防护罩、第二十字盘头螺钉、气动引弧机构、引弧极,靶材与冷水座连接,辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上,第一密封O型圈位于法兰板的上方,绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间,螺钉绝缘套套在第一内六角螺钉上,冷水座通过第一内六角螺钉固定在法兰板的另一面上,接线座的一端位于冷水座上,螺母与第二内六角螺钉连接,水嘴接头位于电磁线圈的一侧,电磁线圈通过第一十字盘头螺钉与冷水座固定,电磁线圈骨架位于电磁线圈的上方,防护罩通过第二十字盘头螺钉与电磁线圈骨架固定,引弧极压紧在气动引弧机构上,引弧极位于靶材的下方。
2.如权利要求1所述的真空工具镀膜的阴极电弧装置,其特征在于,所述绝缘板的直径大于第一密封O型圈的直径和第二密封O型圈的直径。
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