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用于超高 真空系统的样品拾放装置

阅读：653发布：2020-05-12

专利汇可以提供用于超高真空系统的样品拾放装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种用于超高真空系统的样品直接拾放装置，包括：共圆周设置的复数卡盘片；以及，螺旋伸缩机构，用以在驱动机构的驱动下驱使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。其中所述螺旋伸缩机构包括：一字槽限位盘，包含复数一字限位槽，分别用以限制每一卡盘片沿相配合的一字限位槽的长度方向移动；以及，螺旋槽转盘，包含复数螺旋槽，分别用以限制每一卡盘片在沿一字限位槽移动的同时还沿相配合的螺旋槽移动，进而使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。本发明的样品直接拾放装置结构简单，易于组装维护，且藉此样品直接拾放装置，操作者可以很方便的在超高真空环境下完成对样品的直接拾取和放置操作。，下面是用于超高真空系统的样品拾放装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种用于超高真空系统的样品直接拾放装置，其特征在于包括：
共圆周设置的复数卡盘片(5)，
以及，螺旋伸缩机构，其用以在驱动机构的驱动下驱使该复数卡盘片(5)沿共圆周的径向收缩或张开；
其中，所述螺旋伸缩机构包括：
一字槽限位盘(3)，其包含复数一字限位槽，分别用以限制每一卡盘片(5)沿相配合的一字限位槽的长度方向移动，以及
螺旋槽转盘(4)，其包含复数螺旋槽，分别用以限制每一卡盘片(5)在沿一字限位槽移动的同时还沿相配合的螺旋槽移动，进而使该复数卡盘片(5)沿共圆周的径向收缩或张开；
所述驱动机构包括一转轴，所述转轴一端部与一动力装置传动连接，另一端部与所述螺旋槽转盘(4)轴心部固定连接。
2.根据权利要求1所述的用于超高真空系统的样品直接拾放装置，其特征在于它还包括与该复数卡盘片(5)分别连接的复数卡盘片承载件(8)，所述卡盘片承载件(8)包括分别活动嵌设于所述螺旋槽和一字限位槽内的第一限位部及第二限位部，所述第一限位部经第二限位部与卡盘片(5)固定连接。
3.根据权利要求1所述的用于超高真空系统的样品直接拾放装置，其特征在于，所述转轴采用磁力驱动旋转器内转轴(6)，所述动力装置采用磁力驱动旋转器(1)。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的用于超高真空系统的样品直接拾放装置，其特征在于，所述样品直接拾放装置上还连接有密封连接件，用以在所述样品直接拾放装置被置入真空腔室时与真空腔室的开口部密封连接。
5.根据权利要求4所述的用于超高真空系统的样品直接拾放装置，其特征在于，所述密封连接件包括通过金属密封方式安装于真空腔室的法兰接口上的真空法兰(2)，所述驱动机构内的转轴一端部垂直穿过所述真空法兰(2)并与所述螺旋伸缩机构连接，另一端部与动力装置传动连接，所述一字槽限位盘(3)经固定支架(7)与真空法兰(2)固定连接。
6.根据权利要求1或2所述的用于超高真空系统的样品直接拾放装置，其特征在于，所述一字槽限位盘(3)上对称分布有沿径向延伸的复数一字限位槽。
7.根据权利要求6所述的用于超高真空系统的样品直接拾放装置，其特征在于，所述一字槽限位盘(3)上设有呈十字交叉分布的两组一字限位槽，其中每一组一字限位槽包括沿径向对称分布于一字槽限位盘(3)圆心两侧的两条一字限位槽。
8.根据权利要求6所述的用于超高真空系统的样品直接拾放装置，其特征在于，所述一字槽限位盘(3)上部具有框架结构，底部分布有所述一字限位槽，且所述螺旋槽转盘(4)设置于所述框架结构内。

说明书全文

用于超高真空系统的样品拾放装置

技术领域

[0001] 本发明涉及一种超高真空系统，特别涉及一种用于超高真空系统的样品拾放装置。

背景技术

[0002] 目前在超高真空环境下，样品的拾取和放置主要是通过对样品托的间接操作来实现的，即将被操作的样品首先固定在样品托上，然后通过磁力传输杆或是机械手臂对样品托进行直接拾取和放置的操作方式进而间接完成对样品的拾取和放置操作，但这种方式无法完成对样品的直接操作，特别是无法满足由多种工艺设备构成的集簇超高真空互联系统中特定工艺设备对需要对工艺样品直接操作的需求。

发明内容

[0003] 针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种用于超高真空系统的样品拾放装置，其能在超高真空集簇互联系统中完成对样品的直接操作。

[0004] 为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案包括：

[0005] 一种用于超高真空系统的样品直接拾放装置，包括：

[0006] 共圆周设置的复数卡盘片，

[0007] 螺旋伸缩机构，用以在驱动机构的驱动下驱使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。

[0008] 作为较为优选的实施方案之一，所述螺旋伸缩机构包括：

[0009] 一字槽限位盘，包含复数一字限位槽，分别用以限制每一卡盘片沿相配合的一字限位槽的长度方向移动；

[0010] 以及，螺旋槽转盘，包含复数螺旋槽，分别用以限制每一卡盘片在沿一字限位槽移动的同时还沿相配合的螺旋槽移动，进而使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。

[0011] 进一步的，所述用于超高真空系统的样品直接拾放装置还包括与该复数卡盘片分别连接的复数卡盘片承载件，所述卡盘片承载件包括分别活动嵌设于所述螺旋槽和一字限位槽内的第一限位部及第二限位部，所述第一限位部经第二限位部与卡盘片固定连接。

[0012] 进一步的，所述驱动机构包括一转轴，所述转轴一端部与一动力装置传动连接，另一端部与所述螺旋槽转盘轴心部固定连接。

[0013] 例如，所述转轴可采用磁力驱动旋转器内转轴，所述动力装置可采用磁力驱动旋转器。

[0014] 作为较为优选的实施方案之一，所述样品直接拾放装置上还连接有密封连接件，用以在所述样品直接拾放装置被置入真空腔室时与真空腔室的开口部密封连接。

[0015] 进一步的，所述密封连接件包括通过金属密封方式安装于真空腔室的法兰接口上的真空法兰，所述驱动机构内的转轴一端部垂直穿过所述真空法兰并与所述螺旋伸缩机构连接，另一端部与动力装置传动连接。

[0016] 进一步的，所述一字槽限位盘经固定支架与真空法兰固定连接。

[0017] 进一步的，所述一字槽限位盘上对称分布有沿径向延伸的复数一字限位槽。

[0018] 在一较佳实施例中，所述一字槽限位盘上设有呈十字交叉分布的两组一字限位槽，其中每一组一字限位槽包括沿径向对称分布于一字槽限位盘圆心两侧的两条一字限位槽。

[0019] 进一步的，所述一字槽限位盘上部具有框架结构，底部分布有所述一字限位槽，且所述螺旋槽转盘设置于所述框架结构内。

[0020] 现有技术相比，本发明至少具有如下优点：该样品直接拾放装置结构简单，易于操作，可以在超高真空环境下完成对样品的直接拾取和放置操作，从而满足超高真空集簇互联系统中特定工艺设备对样品进行直接操作的需求，为材料科学、微纳加工等领域中样品的直接操作与传输提供了便利的工具。附图说明

[0021] 图1为本发明一典型实施例中一种用于超高真空系统的样品拾放装置的结构示意图；

[0022] 图2为图1所示一字限位槽与固定支架的组装结构示意图；

[0023] 图3为图1所示螺旋槽转盘与磁力驱动旋转器内转轴的组装结构示意图；

[0024] 图4为图1所示一字限位槽、螺旋槽转盘及卡盘片的组装结构示意图；

[0025] 附图标记说明：磁力驱动旋转器1、真空法兰2、一字槽限位盘3、螺旋槽转盘4、卡盘片5、磁力驱动旋转器内转轴6、固定支架7、卡盘片承载件8。

具体实施方式

[0026] 以下结合典型实施例及附图对本发明的技术方案作进一步的说明。

[0027] 参阅图1-图4所示系本实施例所涉及的一种用于超高真空系统的样品拾放装置，亦可认为是一种可以用于超高真空集簇互联系统样品的直接拾放装置，其包括磁力驱动旋转器1、真空法兰2、螺旋槽转盘4、一字槽限位盘3、固定支架7和卡盘片5。

[0028] 其中，所述磁力驱动旋转器1安装在真空法兰2上，真空法兰2通过金属密封方式安装于真空腔室的法兰接口上，所述磁力驱动旋转器1用于驱动螺旋槽转盘4转动，所述螺旋槽转盘4上开有4个螺旋槽，所述卡盘片5可以嵌入到螺旋槽内并在其中移动，所述卡盘片5同时受到一字槽限位盘3中的一字限位槽的限制使得卡盘片5在一字槽限位盘3的一字槽的长度方向上移动，所述卡盘片5有3片且共圆周。

[0029] 该样品拾放装置在工作时，当顺时针旋转磁力驱动器1时，该3片卡盘片5可沿着共圆周的径向收缩，根据承载样品的大小可以确定由3片卡盘片5确定的收缩内圆周的大小来拾取承载样片；而当逆时针旋转磁力驱动器1时3片卡盘片5则可以沿着共圆周的径向张开，当伸张的尺度超过承载的样品的大小时承载样品被释放开。

[0030] 因而，所述卡盘片组可承载多种样品，例如规格为2英寸、4英寸等的样品，且不限于此。

[0031] 其中，所述样品为IC工业及半导体工业所用硅片、外延片等圆形样品，但不限于此。

[0032] 藉此样品直接拾放装置，操作者可以很方便的在超高真空环境下完成对样品的直接拾取和放置操作。

[0033] 应当指出，以上所述本发明的具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据本发明的技术构思所作出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本发明权利要求的保护范围内。

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