技术领域
[0001] 本实用新型涉及工程元件中的轴承，尤其涉及由气流形成
流体垫所
支撑的
空气轴承。
背景技术
[0002] 在很多精密运动系统中可能会用到空气轴承，如在
液晶显示器件面板生产过程中，空气轴承被广泛应用在具有精密气浮运动系统的设备中。空气轴承的工作原理如图1所示，在运动轴与载台之间安装有空气轴承，将压缩空气通过空气轴承1的进气孔2注入到空气轴承内部的气腔内，气腔内的空气从底部的排气孔排出来，从而保证空气轴承悬浮在载台3的表面，并通过运动系统的控制来实现运动轴的精密运动。
[0003] 传统空气轴承的结构如图2和图3所示，该空气轴承1呈圆柱体形，圆柱体的侧面开设有进气孔2，在空气轴承与载台
接触的底面设有微型排气孔4，并且进气孔2和排气孔4都与空气轴承内部的气腔6连通。外界通过进气孔2将压缩空气注入到气腔6内，气腔6内的气体再通过排气孔4排出。一般情况下，由于不需要所有的进气孔都用上，可以将部分进气孔用六
角螺丝5封死。
[0004] 在使用传统空气轴承的过程中，
发明人发现传统空气轴承存在如下问题：在运动轴高速运动时，空气轴承与载台之间容易进入异物，使两者之间产生阻
力摩擦，从而导致空气轴承和载台被划伤，对这些部件造成不可修复的损害。实用新型内容
[0005] 本实用新型的
实施例提供一种空气轴承，能有效避免空气轴承和载台之间进入异物。
[0006] 为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：
[0007] 一种空气轴承，包括空气轴承本体，该空气轴承本体的内部设有气腔，该空气轴承本体的侧面设有与气腔连通的进气孔，该空气轴承本体的其中一个底面设有与气腔连通的排气孔，该空气轴承还包括指向所述设有排气孔的底面外围的斜向排气口，所述斜向排气口与所述气腔连通。
[0008] 本实用新型实施例提供的空气轴承设置了斜向排气口，该斜向排气口指向设有排气孔的底面外围，并且与气腔连通，这样一来，气腔内的气体就可以通过斜向排气口吹向底面外围。由空气轴承的工作原理可以得知该空气轴承设有排气孔的底面是与载台相对应的，那么从斜向排气口吹出的气体就可以吹向空气轴承周围的载台，进而把在载台上可能存在的异物吹走，有效地避免了异物进入空气轴承和载台之间，从而防止了空气轴承和载台被划伤，起到保护空气轴承和载台的作用。
附图说明
[0009] 为了更清楚地说明本实用新型实施例或
现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0010] 图1为现有技术中空气轴承的工作状态示意图；
[0011] 图2为现有技术中空气轴承的底面视图；
[0012] 图3为现有技术中空气轴承的剖视图；
[0013] 图4为本发明实施例1中空气轴承的剖视图；
[0014] 图5为本发明实施例1中空气轴承的底面视图；
[0015] 图6为本发明实施例1中空气轴承的工作状态示意图；
[0016] 图7为本发明实施例2中空气轴承的示意图。
具体实施方式
[0017] 本实用新型提供一种空气轴承，该空气轴承包括空气轴承本体，并在空气轴承本体的内部设有气腔，在空气轴承本体的侧面设有与气腔连通的进气孔，在空气轴承本体的其中一个底面设有与气腔连通的排气孔，为了使得该空气轴承能够自动清理空气轴承所在载台上的异物，在空气轴承上设有指向所述设有排气孔的底面外围的斜向排气口，并且所述斜向排气口与所述气腔连通。
[0018] 空气轴承上设有排气孔的底面是与载台相对应的，从斜向排气口吹出的气体可以吹向空气轴承周围的载台，进而把在载台上可能存在的异物吹走，有效地避免了异物进入空气轴承和载台之间，从而防止了空气轴承和载台被划伤，起到保护空气轴承和载台的作用。
[0019] 为了进一步详细说明本实用新型的实现方式，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0020] 实施例1：
[0021] 本实施例的空气轴承如图4所示，该空气轴承包括空气轴承本体8，并在空气轴承本体8的内部设有气腔9，在空气轴承本体8的侧面设有与气腔9连通的进气孔10，在空气轴承本体8的其中一个底面设有与气腔9连通的排气孔11。一般来讲可以将部分进气孔10用六角螺丝12等方式封死。将压缩空气通过空气轴承的进气孔10注入到空气轴承内部的气腔9内，气腔9内的空气从底部的排气孔11排出来，从而保证空气轴承悬浮在载台的表面。如图4所示，本实用新型实施例还包括指向所述设有排气孔的底面外围的斜向排气口13，所述斜向排气口13与所述气腔9连通。
[0022] 图4中的空气轴承在设有排气孔11的底面的边缘设有
倒角14，并将斜向排气口13设置在所述倒角14上，在倒角上设置斜向排气口便于排气口的加工。该倒角14采用倒斜角或者倒圆角，但是由于在平面上加工出斜向排气口更容易，而倒斜角形成的斜面是一个平面，故而在实际运用时采用倒斜角，并将斜向排气口垂直于该倒斜角的斜面设置。并且
45°倒斜角是较为常用的倒斜角，能够适应大多数的加工生产线。本实施例图4中采用的就是45°倒斜角，并将斜向排气口垂直于该倒斜角的斜面设置。
[0023] 由于空气轴承设有排气孔11的底面是与载台相对应的，那么从斜向排气口13吹出的气体就可以吹向空气轴承周围的载台，进而把在载台上可能存在的异物吹走，有效地避免了异物进入空气轴承和载台之间，从而防止了空气轴承和载台被划伤，起到保护空气轴承和载台的作用。
[0024] 为了使得斜向排气口吹出的气体能够
覆盖较大的范围，一般需要在空气轴承上设有至少两个斜向排气口13，如图5所示，本实施例中设置了6个斜向排气口13，这些斜向排气口13可以规则或者不规则地排布在所述倒角14上；较好的实现方式是斜向排气口13均匀分布在所述倒角14上，使得斜向排气口13所起到的吹走异物的作用均匀分布在空气轴承周围。
[0025] 本实施例中的空气轴承与载台15的配合情况见图6。
[0026] 实施例2：
[0027] 本实施例的空气轴承如图7所示，该空气轴承包括空气轴承本体16，并在空气轴承本体16的内部设有气腔，在空气轴承本体16的侧面设有与气腔连通的进气孔17，在空气轴承本体的其中一个底面设有与气腔连通的排气孔，将压缩空气通过空气轴承的进气孔注入到空气轴承内部的气腔内，气腔内的空气从底部的微型排气孔排出来，从而保证空气轴承悬浮在载台的表面。如图7所示，本实用新型实施例还包括指向所述设有排气孔的底面外围的斜向排气口18，所述斜向排气口18与所述气腔连通，本实施例中斜向排气口与气腔的联通方式和实施例1有所不同，具体描述如下：
[0028] 如图7所示，本实施例中空气轴承本体侧面的部分进气孔上设有
喷嘴19，该喷嘴19通过中空的连接管20与所述空气轴承本体16侧面的进气孔17连接，并将斜向排气口18设置在所述喷嘴19上。这样一来，气腔内的气体就可以通过中空的连接管20流向斜向排气口18，并吹向底面外围。也就是吹向空气轴承周围的载台，进而把在载台上可能存在的异物吹走，有效地避免了异物进入空气轴承和载台之间，从而防止了空气轴承和载台被划伤，起到保护空气轴承和载台的作用。
[0029] 一般来讲，空气轴承上可以设置多个进气孔(如6个)，本实用新型实施例可以将喷嘴均匀分布在空气轴承的侧面，例如：在有6个进气孔的情况下设置3个喷嘴，并将喷嘴每隔一进气孔设置一个，均匀分布在空气轴承的侧面。使得斜向排气口所起到的吹走异物的作用均匀分布在空气轴承周围。
[0030] 为了防止气腔内的压力迫使喷嘴脱落，本实用新型实施例通过
螺纹的方式连接中空的连接管与进气孔。
[0031] 上述的实施例1和实施例2中的斜向排气口的截面形状均可以采用为圆形或矩形。
[0032] 本实用新型实施例主要用在各种需要空气轴承的设备中，特别是精
密度要求较高的设备中。
[0033] 以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉
本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应所述以
权利要求的保护范围为准。
