原位微纳米压痕/划痕测试仪
专利汇可以提供原位微纳米压痕/划痕测试仪专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种原位微 纳米压痕 /划痕测试仪，属于 机电一体化 精密科学仪器领域。伺服 电机 输出动 力 ，通过 涡轮 蜗杆 减速增扭后带动 丝杠 ，由丝杠带动 导轨 滑 块 、连接板，实现柔性 铰链 、精密 定位 平台、载物台的横向运动，完成划痕实验，由精密运动平台带动连接板，从而带动安装在连接板上面的柔性铰链机构和载物台，实现载物台的粗进给；压电叠堆驱动柔性铰链实现载物台精密进给，完成压痕实验。激光位移 传感器 的精密定位由精密定位平台实现。压头的高度通过二维微位移平台调整。优点在于：结构新颖、紧凑，可靠性高、 精度 高。利用激光位移传感器进行位移的测量，具有量程宽、精度高、安装方便等特点，可以通过手动二维微位移平台进行调节，定位准确。，下面是原位微纳米压痕/划痕测试仪专利的具体信息内容。
1.一种原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：压电叠堆（9）安装在柔性铰链（10）内部凹槽中，通过压电叠堆（9）驱动柔性铰链（10），进而带动载物台（13）实现精密进给完成压痕实验；柔性铰链（10）紧固在连接板a（6）上，所述连接板a（6）安装在精密定位平台a（23）上，通过手柄a（7）带动连接板a（6）从而实现载物台（13）的粗进给；激光位移传感器（22）安装在精密定位平台b（20）上，激光位移传感器（22）通过挡板（5）实现对载物台（13）的位移检测，精密定位平台b（20）紧固在底座（18）上，手柄b（19）、手柄c（21）带动精密定位平台b（20）实现激光位移传感器（22）的微调；精密定位平台a（23）安装在连接板b（8）上，伺服电机（1）驱动涡轮（2）带动蜗杆（3），蜗杆（3）通过紧固螺钉（4）与丝杠（12）连接，丝杠（12）与连接板b（8）相连，伺服电机 （1）安装在底座（18）上，由伺服电机 （1）带动精密导轨滑块（11）进而带动连接板b（8）从而实现载物台（13）横向进给，完成划痕实验。
2.根据权利要求1所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：所述的底座（18）上固定安装二维微位移平台（17），连接板c（16）紧固在二维微位移平台（17）上，精密力传感器（15）紧固在连接板c（16）上，精密力传感器（15）的前端安装金刚石压头（14），通过二维微位移平台（17）调整金刚石压头（14）的高度。
3.根据权利要求2所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：所述的精密力传感器（15）为二维应变片式传感器，可以同时测量横向力和纵向力，二维力传感器和柔性铰链串联；所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪分别设计粗进给和精密进给机构，粗进给由伺服电机驱动，精密进给由压电叠堆驱动柔性铰链进行。
4.根据权利要求1或2或3所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪的总体尺寸为178mm×165 mm×80mm。
5.根据权利要求1或2或3所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪，其特征在于：所述的原位微纳米压痕/划痕测试仪置于扫描电子显微镜SEM、透射电子显微镜TEM下进行实时观测。
原位微纳米压痕/划痕测试仪
技术领域
背景技术
(Nanoindentation)、纳米划痕(Nanoscratch)、原子力显微镜(AFM)、微机电系统(MEMS)专用测试技术(如微拉伸等)及相关支撑技术等。按照测试中是否可通过电子显微镜等仪器在线实时监测材料的变形和损伤状况，又可分为原位(In situ)测试和非原位(Ex situ)测试。所谓的原位(或在位)测试，是指对被测件力学性能测试中进行的在线连续监测和分析；与之对应的是非原位测试(又称异位或移位测试)，是指利用实验前或实验后的试件进行力学性能分析。绝大多数的材料微观力学性能测试停留在非原位测试技术上，原位测试技术成为国际上的一个研究热点。
发明内容
18上，由伺服电机 1带动精密导轨滑块11进而带动连接板b8从而实现载物台13横向进给，完成划痕实验。
图3为本发明的右视结构示意图。
具体实施方式
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