一种碱金属谐振器及其制备方法
专利汇可以提供一种碱金属谐振器及其制备方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开一种 碱 金属 谐振器 及其制备方法。碱金属谐振器是由玻璃- 硅 -玻璃，通过两次静电键合，形成的三明治结构。碱金属通过谐振器侧面预留通孔移植到碱金属 谐振腔 内；然后，用低温 焊料 ，在 手套箱 中完成碱金属谐振器的封闭操作。本发明采用了MEMS的工艺，可以进行批量生产，成本低；另外，碱金属的移植是在静电键合工艺过程之后进行的，不会影响静电键合 质量 ；碱金属谐振腔内植入是纯碱金属，不含任何其余物质，不会影响 信号 质量；不需要对碱金属做任何处理，有效的降低了碱金属谐振器制造成本和制作周期。，下面是一种碱金属谐振器及其制备方法专利的具体信息内容。
1.一种制备碱金属谐振器的方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）在清洗后的硅片中间制备出作为谐振腔的通孔，并在硅片的周边制备一开口，所述开口的一端与谐振腔连通；
（2）通过静电键合方式对上述带有通孔与开口的硅片进行玻璃-硅片-玻璃静电键合，形成三明治结构；
（3）在开口两侧硅片的表面溅射金属；
（4）在手套箱中，将碱金属通过开口移植至谐振腔内；然后将缓冲气体充入谐振腔内；
再利用熔点为45～180℃的焊料将开口密封即完成碱金属谐振器的制备。
2.根据权利要求1所述制备碱金属谐振器的方法，其特征在于：所述步骤（1）中，采用KOH湿法腐蚀工艺或者深反应离子干法刻蚀工艺制备通孔与开口。
3.根据权利要求1所述制备碱金属谐振器的方法，其特征在于：所述步骤（3）中，金属为钛或者铬。
4.根据权利要求1所述制备碱金属谐振器的方法，其特征在于：所述步骤（4）中，碱金属为铷或者铯。
5.根据权利要求1所述制备碱金属谐振器的方法，其特征在于：所述步骤（4）中，缓冲气体为惰性气体。
6.根据权利要求1所述制备碱金属谐振器的方法，其特征在于：所述步骤（4）中，熔点为45～180℃的焊料为铟锡合金。
7.一种碱金属谐振器，包括腔体与六个侧面，其中一对相对的侧面为玻璃，其余侧面为硅片，其特征在于：所述硅片上设置一开口，开口的一端与谐振腔连通，另一端由熔点为
45～180℃的焊料封闭；所述焊料与硅片之间设置金属层；谐振腔内放置碱金属并充入缓冲气体。
8.根据权利要求7所述碱金属谐振器，其特征在于：所述金属为钛或者铬。
9.根据权利要求7所述碱金属谐振器，其特征在于：所述碱金属为铷或者铯。
10.根据权利要求7所述碱金属谐振器，其特征在于：所述缓冲气体为惰性气体。
一种碱金属谐振器及其制备方法
技术领域
背景技术
发明内容
（1）在清洗后的硅片中间制备出作为谐振腔的通孔，并在硅片的周边制备一开口，所述开口的一端与谐振腔连通；
（2）通过静电键合方式对上述带有通孔与开口的硅片进行玻璃-硅片-玻璃静电键合，形成三明治结构；
（3）在开口两侧硅片的表面溅射金属；
（4）在手套箱中，将碱金属通过开口移植至谐振腔内；然后将缓冲气体充入谐振腔内；
再利用熔点为45～180℃的焊料将开口密封即完成碱金属谐振器的制备。
2．本发明在碱金属谐振腔内植入纯碱金属，不含任何其余物质，不会影响光信号质量；
并且不需要对碱金属做任何处理，有效的降低了碱金属谐振器的制造成本和制作周期；
3．本发明通过两次静电键合，形成玻璃-硅-玻璃的三明治结构，然后将碱金属通移植到碱金属谐振腔内，最后在手套箱中，用低温焊料封闭即完成碱金属谐振器的制备；制备方法简单、成本低，适于工业化生产。
附图说明
具体实施方式
附图1为本实施例制备的碱金属谐振器的结构示意图；参见附图1，碱金属谐振器包括铟锡合金1、钛金属2、玻璃3、玻璃4、硅片5、谐振腔6、开口7以及碱金属铯8，其中谐振腔为方形结构，腔体的一个硅片侧面设置长方形开口，开口的一端与腔体连通，一端由低温焊料（铟锡合金）封闭；开口两侧硅片的表面溅射钛金属。其具体制备方法如下：
（1）采用RCA标准清洗步骤清洗硅片；在清洗后的硅片两面热氧化生长氧化层并在氧化层上通过LPCVD淀积氮化硅；根据所需腔体形状，采用双面光刻刻蚀，刻蚀氧化硅和氮化硅，露出部分硅片，再利用双面KOH湿法腐蚀去除没有氧化硅和氮化硅保护的硅片，从而制备出作为谐振腔的通孔以及开口；再采用双面光刻刻蚀，刻蚀氧化硅和氮化硅，露出剩余的硅片；
（2）通过静电键合方式对上述带有通孔与开口的硅片进行玻璃-硅片-玻璃静电键合，形成三明治结构；至此谐振器的腔体已形成，其中的一个侧面通过开口与外界连通；
（3）在开口两侧硅片的表面溅射钛金属；
（4）在手套箱中，将碱金属铯通过开口移植至谐振腔内；然后将缓冲气体氮气充入谐振腔内；再利用低温焊料铟锡合金将开口密封即完成碱金属谐振器的制备。
（2）通过静电键合方式对上述带有通孔与开口的硅片进行玻璃-硅片-玻璃静电键合，形成三明治结构；至此谐振器的腔体已形成，其中的一个侧面通过开口与外界连通；
（3）在开口两侧硅片的表面溅射铬金属；
（4）在手套箱中，将碱金属铷通过开口移植至谐振腔内；然后将缓冲气体氩气充入谐振腔内；再利用低温焊料金锡焊料将开口密封即完成碱金属谐振器的制备。
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