技术领域
[0001] 本
发明涉及蒸发镀膜生产线技术领域，具体为一种新型连续蒸发镀膜生产线。
背景技术
[0002] 装饰镀膜、光电功能膜和光学镀膜在日常消费领域，如家电、手机、智能家居和车载显示的广泛应用，尤其是
电子束蒸发镀膜推动了装饰镀膜、光电功能膜和光学彩色膜广泛的在这些领域使用了。其中以深圳维达
力、伯恩光学、信利
半导体、蓝思科技和欧菲光学等国内大厂在手机领域的推动更加带动了这些产业的快速发展。目前装饰镀膜、光电功能膜和光学镀膜镀膜行业普遍存在采用
单体蒸发镀膜机镀膜的问题。对于这样一个广泛的应用领域，单体机蒸发镀膜机有以下几个目前生产存在的问题：
[0003] 1、首先单体镀膜机的产能有限，就以简单的彩色膜镀膜为例，单体镀膜机的上下片时间为15-20分钟，镀膜时间为15-30分钟，整个一炉货的时间为30-50分钟，每天的产能也就只能做到6-10炉，非常有限；
[0004] 2、其次单体蒸发镀膜机的镀膜工艺的独立性很强，每台设备由于制作的工艺和调试人员的调试方法不一样，每台设备的镀膜工艺是不一样的；因此完成同样性能的产品，每台设备的操作方法和生产工艺由很大的差异，也造成镀膜的控制和生产成本上升；
[0005] 3、再者，由于单体蒸发镀膜机每一炉的生产都需要进行独立的进出镀膜
真空腔体，将镀膜真空腔体暴露在大气和粉尘环境之下，造成了镀膜车间对环境的要求很高；尤其是比较高端的装饰镀膜和光学镀膜，在进出装片
位置需要在百级无尘环境环境中进行。
[0006] 4、还有，在真空中对基片的前处理是非常重要的，但是在单体镀膜机上完成需要占用很宝贵的
节拍时间，无法形成批量生产的优势。
[0007] 5、另外，在全自动化生产方面，也是由于产品的
精度和要求非常高，需要尽量提高自动化程度，尽量减少人员对基片的干涉和污染。单体镀膜机的手动上片模式，无法避免人操作对基片的重新污染，也无法避免人为出现操作差异造成的
质量不可控；
发明内容
[0008] 本发明的目的在于提供一种新型连续蒸发镀膜生产线，它能有效的解决背景技术中存在的问题。
[0009] 为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种新型连续蒸发镀膜生产线，包括移动公转托盘(1)、垂直插板
阀Ⅰ(2)、进片真空腔(3)、垂直插板阀Ⅱ(4)、镀膜真空腔(5)、垂直插板阀Ⅲ(6)、出片真空腔(7)和垂直插板阀(8)依次组成，所述由人工周转或流
水线周转实现移动公转托盘(1)的依次连续进出镀膜生产；
[0010] 所述的移动公转托盘(1)，由安装板(1-1)、大
齿轮盘(1-2)、挂载盘(1-3)、挂杆(1-4)、绝缘座(1-5)、导杆(1-6)、限位轮(1-7)和
支撑轮(1-8)组成；所述导杆(1-6)通过绝缘座(1-5)紧固于安装板(1-1)上，且通过传送导杆(1-6)与进片真空腔(3)、镀膜真空腔(5)和出片真空腔(7)上的同步传送装置(3-3)、同步传送装置(5-3)配合，依靠摩擦传送；所述大齿轮盘(1-2)通过支撑轮(1-8)支撑于安装板(1-1)上，实现大齿轮盘(1-2)与安装板(1-1)的滚动运行；所述的挂杆(1-4)将与挂载盘(1-3)紧固连接在大齿轮盘(1-2)上，通过与镀膜真空腔(5)上的动力引入装置(5-8)上的单向齿轮(5-8-3)的齿
啮合，且大齿轮盘(1-2)、挂杆(1-4)和挂载盘(1-3)的实现公转；
[0011] 所述的垂直插板阀Ⅰ(2)、垂直插板阀Ⅱ(4)、垂直插板阀Ⅲ(6)、垂直插板阀Ⅳ(8)是相同结构，分别安装于进片真空腔(3)和出片真空腔(7)间的隔离，且进片真空腔(3)和出片真空腔(7)与
真空镀膜模
块(5)之间的隔离；所述垂直插板阀Ⅰ(2)还包括阀腔(2-1)、
阀体腔
法兰板(2-2)、推动
气缸(2-3)、密封板(2-4)、伞形支撑架(2-5)、支撑板(2-6)、限位块(2-7)、维修口(2-8)、移动轮(2-9)、导杆(2-10)和
锁紧
弹簧(2-11)组成；所述阀
门开启时，推动气缸(2-3)收缩将通过浮动接头连接与其轴上的伞形支撑架(2-5)拉起至阀腔法兰板(2-2)侧，由所经弹簧(2-11)将支撑板(2-6)和密封板(2-4)拉紧至最小间距，阀门开启；所述推动气缸(2-3)伸长将伞形支撑架(2-5)推至阀腔(1-1)底部，直到移动轮(2-9)与阀腔(1-1)底部
接触，并由气缸继续推动推动气缸(2-3)将伞形支撑架(2-5)加力撑开，支撑板(2-8)与限位块(2-7)接触并停止滑动，将密封板(2-4)向阀腔(2-1)前板内壁推动，直到与阀腔(2-1)内壁通过
密封胶条紧密密封，并保持气缸压力，阀门关闭；
[0012] 所述的进片真空腔(3)和出片真空腔(7)结相同，且进片真空腔(3)和出片真空腔(7)分别由腔体
支架(3-1)、真空腔体(3-2)、同步传送装置(3-3)、粗抽
挡板阀(3-4)、粗抽罗茨
泵(3-5)、粗抽机械泵(3-6)、高真空阀(3-7)、高
真空泵(3-8)、
前级泵(3-9)和前级阀(3-10)组成，所述的进片真空腔(3)和出片真空腔(7)可以将真空腔体(3-2)反复实现从大气状态抽气到工艺真空管度(3*10-4Pa)；所述的同步传送装置(3-3)安装在真空腔体(3-2)内部，所述真空腔体(3-2)底部还安装有高真空阀(3-7)，且高真空阀(3-7)、的另一端安装有高真空泵(3-8)；
[0013] 所述的镀膜真空腔(5)由真空腔支架(5-1)、镀膜真空腔体(5-2)、同步传送装置(5-3)、高真空泵(5-4)、前级阀(5-5)、前级罗茨泵(5-6)、前级机械泵(5-7)、动力引入装置(5-8)、自动加料装置(5-9)、膜厚监控装置(5-10)、辅助加热装置(5-11)、膜厚修正装置(5-12)、离子源辅助沉积装置(5-13)、
电子束蒸发装置(5-14)和多穴
电阻蒸发装置(5-15)组成；所述的同步传送装置(3-3)安装在镀膜真空腔体(5-2)内，所述同步传送装置(3-3)前端还安装有动力引入装置(5-8)，且同步传送装置(3-3)的底部还安装有膜厚监控装置(5-10)和膜厚修正装置(5-12)。
[0014] 进一步，所述的进片真空腔(3)根据工艺需求设计一个或多个，并且每个进片真空腔(3)之间需要垂直插板阀Ⅰ(2)真空隔离。
[0015] 进一步，所述的动力引入装置(5-8)由
电机(5-8-1)、磁
流体(5-8-2)和单向齿轮(5-8-3)组成；且电机轴和磁流体轴用绝缘
联轴器紧固连接。
[0016] 进一步，所述的同步传送装置(3-3)包括同步轮(3-3-1)、磁流体(3-3-2)、联轴器(3-3-3)、安装座(3-3-4)、和导轮(3-3-5)组成；所述同步传送装置(5-3)包括同步轮(5-3-1)、磁流体(5-3-2)、联轴器(5-3-3)、安装座(5-3-4)、和导轮(5-3-5)组成；所述同步传送装置(3-3)和同步传送装置(5-3)为相同结构；所述
同步带同步轮(3-3-1)将动力通过磁流体(3-3-2)、安装在安装座(3-3-4)的上联轴器(3-3-3)导入到导轮(3-3-5)上，用摩擦导向的方式将推入的移动公转托盘(1)送入真空腔体(3-2)中；所述同步带同步轮(5-3-1)将动力通过磁流体(5-3-2)、安装在安装座(5-3-4)的上联轴器(5-3-3)导入到导轮(5-3-5)上，用摩擦导向的方式将推入的的移动公转托盘(1)送入真空腔体(5-2)中。
[0017] 进一步，所述动力引入装置(5-8)，将电机动力通过磁流体(3-3-2)经过磁流体轴传送到啮合轮轴上，并与移动公转托盘(1)上的大齿轮盘(1-2)
外齿啮合，带动大齿轮盘(1-2)做运行，且紧固其上的挂杆(1-4)和挂载盘(1-3)一起公转运行。
[0018] 进一步，所述的按照工艺开启辅助加热装置(5-11)、膜厚修正装置(5-12)、离子源辅助沉积装置(5-13)、电子束蒸发装置(5-14)和多穴电阻蒸发装置(5-15)在膜厚监控装置(5-10)的监控和自动执行下进行镀膜工艺。
[0019] 进一步，所述的膜厚修正装置(5-12)还包括有修正板安装座(5-12-1)和修正微分板(5-12-2)组成，所述修正微分板(5-12-2)可以对相对应位置膜层厚度进行修正，提高镀膜膜度的均匀性。
[0020] 进一步，所述镀膜真空腔体(5-2)顶部均匀安装多个高真空泵(5-4)，镀膜真空腔体(5-2)下部安装有辅助加热装置(5-11)，且一侧还安装有一个自动加料装置(5-9)。
[0021] 1、与
现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明设计的大跨度的垂直插板阀有效的解决了大跨度(2.5米)的基片装载架或者托盘的真空阀门通过性；而且双
导轨，导轮导杆传送系统便利的解决了移动公转托盘的连续无停顿运行；
[0022] 2、本发明中镀膜真空腔优化解决了加热预处理、真空等离子清洁等工艺可以根据生产产品工艺需要进行任意组合安装，便利多种产品生产工艺；
[0023] 3、本发明通过将进片腔体、镀膜预处理、镀膜、出片后处理和出片腔体通过垂直插板阀将各个工艺真空腔体隔离，将进片腔体和出片腔体与镀膜真空腔体隔离；维持了镀膜真空的常态真空，增加了镀膜工艺的
稳定性；同时由于进片腔体和出片腔体与镀膜真空腔体隔离，可以对进片腔体和出片腔体进行独立的优化，减少环境对产品的污染；而且还实现了镀膜的全自动化生产，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。
附图说明
[0024] 图1为本发明的正视图；
[0025] 图2为本发明的主视图；
[0026] 图3为本发明中移动公转托盘的剖视图；
[0027] 图4为本发明中移动公转托盘的局部放大图；
[0028] 图5为本发明中移动公转托盘的局部放大图；
[0029] 图6为本发明中垂直插板阀的正视图；
[0030] 图7为本发明中垂直插板阀的俯视图；
[0031] 图8为本发明中垂直插板阀的侧视图；
[0032] 图9为本发明中垂直插板阀的局部放大图；
[0033] 图10为本发明中进出片真空腔的侧视图；
[0034] 图11为本发明中进出片真空腔的正视图；
[0035] 图12为本发明中进出片真空腔的俯视图；
[0036] 图13为本发明中镀膜真空腔的左视图；
[0037] 图14为本发明中镀膜真空腔的正视图；
[0038] 图15为本发明中镀膜真空腔体的正视图；
[0039] 图16为本发明中镀膜真空腔体的后视图；
[0040] 图17为本发明中动力引入装置的局部放大图；
[0041] 图18为本发明中镀膜真空腔的内部组件结构示意图；
[0042] 图19为本发明中膜厚修正板的局部放大图；
[0043] 图20为本发明中膜厚修正板的安装结构局部示意图；
[0044] 图21为本发明中辅助加热装置的结构示意图；
[0045] 图22为本发明中动力引入装置的局部放大图；
[0046] 附图标记中：1-移动公转托盘、(1-1)-安装座、(1-2)-大齿轮盘、(1-3)-挂载盘、(1-4)-挂杆、(1-5)-绝缘座、(1-6)-导杆、(1-7)-限位轮、(1-8)-支撑轮、2-垂直插板阀Ⅰ、(2-1)-阀腔、(2-2)-阀体腔法兰板、(2-3)-推动气缸、(2-4)-密封板、(2-5)-伞形支撑架、(2-6)-支撑板、(2-7)-限位板、(2-8)-维修口、(2-9)-移动轮、(2-10)-导杆、(2-11)-弹簧、3-进片真空腔、(3-1)-腔体支架、(3-2)-真空腔体、(3-3)-同步传送装置、(3-3-1)-同步轮、(3-3-2)-磁流体、(3-3-3)-联轴器、(3-3-4)-安装座、(3-3-5)-导轮、(3-4)-粗抽
挡板阀、(3-5)-粗抽罗茨泵、(3-6)-粗抽机械泵、(3-7)-高真空阀、(3-8)-高真空泵、(3-9)-前级泵、(3-10)-前级阀、4-垂直插板阀Ⅱ、5-镀膜真空腔、(5-1)-真空腔支架、(5-2)-镀膜真空腔体、(5-3)-同步传送装置、(5-3-1)-同步轮、(5-3-2)-磁流体、(5-3-3)-联轴器、(5-3-4)-安装座、(5-3-5)-导轮、(5-4)-高真空泵、(5-5)-前级阀、(5-6)-前级罗茨泵、(5-7)-前级机械泵、(5-8)-动力引入装置、(5-8-1)-电机、(5-8-2)-磁流体、(5-8-3)-单向齿轮、(5-9)-自动加料装置、(5-10)-膜厚监控装置、(5-11)-辅助加热装置、(5-12)-膜厚修正装置、(5-12-
1)-修正板安装座、(5-12-2)-修正板微分板、(5-13)-离子源辅助沉积装置、(5-14)电子束蒸发装置、(5-15)-多穴电阻蒸发装置、6-垂直插板阀Ⅲ、7-出片真空腔、8-垂直插板阀Ⅳ、具体实施方式
[0047] 下面将结合本发明
实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
[0048] 请参阅图1-22，本发明提供如下技术方案：一种新型连续蒸发镀膜生产线，包括移动公转托盘(1)、垂直插板阀Ⅰ(2)、进片真空腔(3)、垂直插板阀Ⅱ(4)、镀膜真空腔(5)、垂直插板阀Ⅲ(6)、出片真空腔(7)和垂直插板阀(8)依次组成，同时，由人工周转或流水线周转实现移动公转托盘(1)的依次连续进出镀膜生产；
[0049] 所述的移动公转托盘(1)，由安装板(1-1)、大齿轮盘(1-2)、挂载盘(1-3)、挂杆(1-4)、绝缘座(1-5)、导杆(1-6)、限位轮(1-7)和支撑轮(1-8)组成；导杆(1-6)通过绝缘座(1-
5)紧固于安装板(1-1)上，且通过传送导杆(1-6)与进片真空腔(3)、镀膜真空腔(5)和出片真空腔(7)上的同步传送装置(3-3)、同步传送装置(5-3)配合，依靠摩擦传送；所述大齿轮盘(1-2)通过支撑轮(1-8)支撑于安装板(1-1)上，实现大齿轮盘(1-2)与安装板(1-1)的滚动运行；所述的挂杆(1-4)将与挂载盘(1-3)紧固连接在大齿轮盘(1-2)上，通过与镀膜真空腔(5)上的动力引入装置(5-8)上的单向齿轮(5-8-3)的齿啮合，且大齿轮盘(1-2)、挂杆(1-
4)和挂载盘(1-3)的实现公转；
[0050] 所述的垂直插板阀Ⅰ(2)、垂直插板阀Ⅱ(4)、垂直插板阀Ⅲ(6)、垂直插板阀Ⅳ(8)是相同结构，分别安装于进片真空腔(3)和出片真空腔(7)间的隔离，且进片真空腔(3)和出片真空腔(7)与真空镀膜模块(5)之间的隔离；所述的进片真空腔(3)根据工艺需求设计一个或多个，并且每个进片真空腔(3)之间需要垂直插板阀Ⅰ(2)真空隔离。
[0051] 所述的垂直插板阀Ⅰ(2)还包括阀腔(2-1)、阀体腔法兰板(2-2)、推动气缸(2-3)、密封板(2-4)、伞形支撑架(2-5)、支撑板(2-6)、限位块(2-7)、维修口(2-8)、移动轮(2-9)、导杆(2-10)和锁紧弹簧(2-11)组成；当阀门开启时，推动气缸(2-3)收缩将通过浮动接头连接与其轴上的伞形支撑架(2-5)拉起至阀腔法兰板(2-2)侧，由所经弹簧(2-11)将支撑板(2-6)和密封板(2-4)拉紧至最小间距，阀门开启；所述推动气缸(2-3)伸长将伞形支撑架(2-5)推至阀腔(1-1)底部，直到移动轮(2-9)与阀腔(1-1)底部接触，并由气缸继续推动推动气缸(2-3)将伞形支撑架(2-5)加力撑开，支撑板(2-8)与限位块(2-7)接触并停止滑动，将密封板(2-4)向阀腔(2-1)前板内壁推动，直到与阀腔(2-1)内壁通过密封胶条紧密密封，并保持气缸压力，阀门关闭；
[0052] 所述的进片真空腔(3)和出片真空腔(7)结相同，且进片真空腔(3)和出片真空腔(7)分别由腔体支架(3-1)、真空腔体(3-2)、同步传送装置(3-3)、粗抽挡板阀(3-4)、粗抽罗茨泵(3-5)、粗抽机械泵(3-6)、高真空阀(3-7)、高真空泵(3-8)、前级泵(3-9)和前级阀(3-10)组成，所述进片真空腔(3)和出片真空腔(7)可以将真空腔体(3-2)反复实现从大气状态抽气到工艺真空管度(3*10-4Pa)；
[0053] 其工作过程是这样实现的：
[0054] 一、传送电机经由同步带同步轮(3-3-1)将动力通过传送同步轴分成两侧，通过同步带同步轮(3-3-1)将动力通过磁流体(3-3-2)、安装在安装座(3-3-4)的上联轴器(3-3-3)导入到导轮(3-3-5)上，用摩擦导向的方式将推入的的移动公转托盘(1)送入真空腔体(3-2)中，由光电检测，并精准限位；
[0055] 二、将进片真空模块(3)和出片真空模块(7)前后的垂直插板阀Ⅰ(2)、垂直插板阀Ⅱ(4)、垂直插板阀Ⅲ(6)和垂直插板阀Ⅳ(8)关闭后；启动粗抽机械泵(3-6)，延时启动粗抽罗茨泵(3-5)，再启动粗抽挡板阀(3-4)，经过管道，将真空腔体(3-2)抽气到8Pa以下；再将粗抽挡板阀(3-4)关闭；延时再开启高真空阀(3-7)由已经开启的高真空泵(3-8)、前级阀(3-10)和前级泵(3-9)通过管道将进片真空腔体(3-2)抽气到8*10-3Pa以下；根据工艺进行加热预处理、
偏压清洁和多弧清洁工艺。
[0056] 所述同步传送装置(3-3)安装在真空腔体(3-2)内部，所述真空腔体(3-2)底部还安装有高真空阀(3-7)，且高真空阀(3-7)、的另一端安装有高真空泵(3-8)；所述的同步传送装置(3-3)包括同步轮(3-3-1)、磁流体(3-3-2)、联轴器(3-3-3)、安装座(3-3-4)、和导轮(3-3-5)组成；所述同步传送装置(5-3)包括同步轮(5-3-1)、磁流体(5-3-2)、联轴器(5-3-3)、安装座(5-3-4)、和导轮(5-3-5)组成；所述同步传送装置(3-3)和同步传送装置(5-3)为相同结构；所述同步带同步轮(3-3-1)将动力通过磁流体(3-3-2)、安装在安装座(3-3-4)的上联轴器(3-3-3)导入到导轮(3-3-5)上，用摩擦导向的方式将推入的移动公转托盘(1)送入真空腔体(3-2)中；所述同步带同步轮(5-3-1)将动力通过磁流体(5-3-2)、安装在安装座(5-3-4)的上联轴器(5-3-3)导入到导轮(5-3-5)上，用摩擦导向的方式将推入的的移动公转托盘(1)送入真空腔体(5-2)中。
[0057] 所述的镀膜真空腔(5)由真空腔支架(5-1)、镀膜真空腔体(5-2)、同步传送装置(5-3)、高真空泵(5-4)、前级阀(5-5)、前级罗茨泵(5-6)、前级机械泵(5-7)、动力引入装置(5-8)、自动加料装置(5-9)、膜厚监控装置(5-10)、辅助加热装置(5-11)、膜厚修正装置(5-12)、离子源辅助沉积装置(5-13)、电子束蒸发装置(5-14)和多穴电阻蒸发装置(5-15)组成；
[0058] 所述的镀膜真空腔(5)可以将真空腔体(5-2)维持工艺真空度在3*10-4Pa-10Pa；其工作过程是如下：
[0059] 一、首先将进片的真空腔体(3-2)充入氩气(Ar)调整真空压力与镀膜真空腔体(5-2)一致，开启垂直插板阀Ⅱ(4)；
[0060] 二、移动公转托盘(1)由与腔体紧固的传送电机，经由同步带同步轮(3-3-1)将动力通过传送同步轴分成两侧，通过同步带同步轮(5-3-1)将动力通过磁流体(5-3-2)、安装在安装座(5-3-4)的上联轴器(5-3-3)导入到导轮(5-3-5)上，用摩擦导向的方式将推入的的移动公转托盘(1)送入镀膜真空腔体(5-2)中，由光电检测，并精准限位；由动力引入装置(5-8)，将电机动力通过磁流体(5-3-2)经过磁流体轴传送到啮合轮轴上，并与移动公转托盘(1)上的大齿轮盘(1-2)外齿啮合，带动大齿轮盘(1-2)做运行，紧固其上的挂杆(1-4)和挂载盘(1-3)一起公转运行。
[0061] 三、按照工艺开启辅助加热装置(5-11)、膜厚修正装置(5-12)、离子源辅助沉积装置(5-13)、电子束蒸发装置(5-14)和多穴电阻蒸发装置(5-15)在膜厚监控装置(5-10)的监控和自动执行下进行镀膜工艺。
[0062] 所述镀膜真空腔体(5-2)顶部均匀安装多个高真空泵(5-4)，镀膜真空腔体(5-2)下部安装有辅助加热装置(5-11)，且一侧还安装有一个自动加料装置(5-9)。所述的动力引入装置(5-8)由电机(5-8-1)、磁流体(5-8-2)和单向齿轮(5-8-3)组成；且电机轴和磁流体轴用绝缘联轴器紧固连接。同步传送装置(3-3)安装在镀膜真空腔体(5-2)内，所述同步传送装置(3-3)前端还安装有动力引入装置(5-8)，且同步传送装置(3-3)的底部还安装有膜厚监控装置(5-10)和膜厚修正装置(5-12)。
[0063] 所述膜厚修正装置(5-12)还包括有修正板安装座(5-12-1)和修正微分板(5-12-2)组成，所述修正微分板(5-12-2)可以对相对应位置膜层厚度进行修正，提高镀膜膜度的均匀性。最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行
修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。
凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
