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清扫部件、涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件的制造方法

阅读：574发布：2020-05-12

专利汇可以提供清扫部件、涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件的制造方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明涉及清扫部件和涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件的制造方法，该清扫部件在清扫时通过提高从涂布器去除的涂布液沿着清扫部件流出的速度，使该涂布液不再附着在涂布器上，且由于涂布液或清洗用溶剂等不残留而不会导致涂布膜厚度异常或涂布膜面的缺陷，该清扫部件具有相对而置的第一面和第二面、且一边与在涂布器的一个方向上延伸的排出口的排出口面和该排出口面的两个邻接面接触一边在该一个方向上滑动，由此对该排出口面和该两个邻接面进行清扫，并且包括：清扫部，设置在第一面侧上，并与排出口面和两个邻接面同时接触；多个流出路径面，以清扫部为起点，一直延伸到第二面侧；其中，在流出路径面上，在第二面侧设置有切槽。，下面是清扫部件、涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件的制造方法专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种清扫部件，具有相对而置的第一面和第二面，且一边与在涂布器的一个方向上延伸的排出口的排出口面和该排出口面的两个邻接面接触一边在该一个方向上滑动以对该排出口面和该两个邻接面进行清扫，其特征在于，该清扫部件包括：
清扫部，设置在所述第一面侧上，并与所述排出口面和所述两个邻接面同时接触；
多个流出路径面，以所述清扫部为起点，一直延伸到所述第二面侧；
其中，所述流出路径面上，在所述第二面侧设置有切槽。
2.根据权利要求1所述的清扫部件，其特征在于，所述切槽具有三角形状的截面。
3.一种涂布器的清扫方法，其特征在于，在用清洗液清洗权利要求1和2任一项所述的清扫部件的清扫部后，使该清扫部与所述排出口面和所述两个邻接面接触的同时向所述一个方向滑动而对所述涂布器进行清扫，
在所述第二面侧上，将该清扫部件保持在重力方向上低于该切槽的位置上，以使涂布液和清洗液从该切槽的一端流出。
4.一种清扫装置，其特征在于，使根据权利要求1和2任一项所述的清扫部件与所述排出口面和所述两个邻接面接触的同时滑动而进行清扫，该装置包括：
保持体，保持所述清扫部件；
移动装置，使所述清扫部件和所述保持体向所述一个方向滑动；
清扫部件清洗装置，用清洗液对清扫部件的清扫部进行清洗；
其中，所述保持体在所述第二面侧保持重力方向上低于所述切槽的位置。
5.一种显示器用部件的制造方法，其特征在于，利用权利要求3所述的清扫方法制造显示器用部件。

说明书全文

清扫部件、涂布器的清扫方法、清扫装置以及显示器用部件

的制造方法

技术领域

[0001] 本发明涉及例如使用于彩色液晶显示器用彩色滤波器和阵列基板、等离子体显示器用面板、光学滤波器等显示器用部件的制造领域的部件，具体地说，是关于适用于在玻璃基板等被涂布部件表面上排出涂布液而在其上面形成涂布膜的狭缝式涂布机的狭缝喷嘴的排出口和其周围的清扫方法和清扫装置、和使用这些的显示器用部件的制造方法的改进。

背景技术

[0002] 彩色液晶显示器由彩色滤波器和TFT用阵列基板等部件构成，彩色滤波器和TFT用阵列基板的制造均包括很多涂布低粘度的液体材料并干燥涂布的液体材料，由此形成涂布膜的制造工序。

[0003] 例如，在彩色滤波器的制造工序中，在玻璃基板上形成黑色的光致抗蚀材料的涂布膜，通过光刻法加工成格子状后通过同样的方法在格子之间依次分别形成红色、浅蓝色和绿色的光致抗蚀材料的涂布膜。除此之外，在彩色滤波器的制造中还包括，在涂布各种颜色的光致抗蚀材料而形成涂布膜后，为了获得在彩色滤波器和阵列基板之间注入液晶的空间而形成柱的工序，或者为了使彩色滤波器的表面凹凸平滑而形成外套涂布膜的工序等。 [0004] 作为形成涂布膜的涂布装置，从减少涂布液的消耗量、减少消耗电力、进一步边长超过2m的四角形的超大型基板所对应的装置的大型化容易等方面考虑，近年来使用比较多的是狭缝式涂布机(例如，专利文献1)。该狭缝式涂布机具有涂布头，即作为涂布器具有狭缝喷嘴，一边从设置在狭缝喷嘴上的狭缝状的细长的排出口排出涂布液，一边在向一个方向行走的玻璃基板等的叶片状的被涂布部件上形成涂布膜。

[0005] 如果用狭缝式涂布机将涂布液涂布一次，则涂布液的一部分以滴状或细长的液体膜的形式残留在包含排出狭缝喷嘴的涂布液的排出口的排出口面和与排出口面邻接的两个邻接面(以下称之为“唇斜面”)上。一次涂布工序结束后，如果排出口面和唇斜面上残留滴状或细长的液体膜的涂布液的情况下继续进行涂布，则会发生得不到均匀涂布面的问题。

[0006] 具体地说，由于排出口面或唇斜面上残留的涂布液和从狭缝喷嘴排出的涂布液一起涂布在基板上，因此发生涂布膜厚度不匀的情况(以下称之为“涂布不匀”)。另外，即使残留的涂布液没被涂布，但以此为起点在涂布方向上产生条纹(以下称之为“涂布条纹”)。将这些涂布不匀和涂布条纹统称为涂布缺陷。用狭缝式涂布机在多个被涂布部件上连续地进行高质量的涂布时，为了避免产生这样的涂布缺陷，必须每一次涂布结束后就清扫狭缝喷嘴的排出口面和唇斜面，由此去除附着而残留的涂布液。

[0007] 为了去除这样的残留的涂布液，公开有每次涂布结束或开始之前用清扫部件清扫狭缝喷嘴的排出口面和唇斜面的方法和装置(例如，专利文献2、3)。具体地说，用具有与狭缝喷嘴的排出口面和唇斜面的截面形状相同形状的由合成树脂制造的清扫部件，在排出口面和唇斜面上以滑动的方式进行清扫。通过使该清扫部件与排出口面和唇斜面直接接触而进行滑动，能够完全地去除附着在排出口面和唇斜面上的涂布液，因此即使在被涂布部件上连续地进行涂布，也能够稳定地得到膜厚度均匀、无涂布缺陷的高质量的涂布膜。 [0008] 作为涂布液使用感光性丙烯酸类色浆或光致抗蚀剂等高挥发性物质时，尤其要求附着涂布液的去除能力高。这是因为，如果附着在排出口面和唇斜面的涂布液的去除不充分就会残留少量的涂布液，这些残留的涂布液干燥后作为粘着在排出口面和唇斜面的粘着残留物的形式残留。并且，进行下一次涂布时粘着残留物和涂布液接触，由此产生以粘着残留物为起点的涂布条纹，而且还产生由于粘着残留物与排出口面、唇斜面的粘着部分溶化而粘着残留物本身从排出口面和唇斜面脱离而混入到涂布膜并成颗粒状，由此造成进一步的涂布缺陷。

[0009] 为此，在专利文献2、3中为了避免发生粘着残留物，使清扫部件与排出口面和唇斜面线接触，以此提高涂布液的去除能力，即清扫能力。进一步，在专利文献2中，一次清扫结束后往附着有涂布液的清扫部件上从喷嘴排出溶剂而将涂布液清洗掉，从而保持清扫部件的清洁并对狭缝喷嘴进行清扫。由此，防止附着在清扫部件的涂布液(粘着残留物)再附着在狭缝喷嘴而造成涂布膜面的缺陷(涂布缺陷)的情况发生。进一步，为了不让涂布液或溶剂残留在清扫部件而附着在狭缝喷嘴，从与清扫部件相邻设置的吸引口吸引这些液体。

[0010] 专利文献：

[0011] 专利文献1：特开平6-339656号公报

[0012] 专利文献2：特开平11-300261号公报

[0013] 专利文献3：特开2008-268906号公报

发明内容

[0014] 参照图8和图9说明使用现有的清扫部件清扫狭缝喷嘴的排出口面和唇斜面的方法。图8的侧截面图表示使作为清扫部件的擦拭部件400滑动来去除附着在狭缝喷嘴20上的涂布液150的状态。图9(a)表示从倾斜的方向看到擦拭部件400的状态。 [0015] 图8所示的、作为擦拭部件400的移动方向的箭头Ds方向的擦拭部件400和狭缝喷嘴20的结合情况，如后面参照图4(b)说明的一样，与本发明的情况相同。排出口面36的一侧上邻接有唇斜面34A(根据图上的情况，表示有相反一面)。另外，如后述，在唇斜面34A上存在涂布液424、残留液420和附着的涂布液150。

[0016] 如图9所示，擦拭部件400为了通过强化与狭缝喷嘴的线接触而提高涂布液的去除能力、以及为了与狭缝喷嘴20的排出口面36或唇斜面34A结合，使钻孔部分的大小最小化，由此谋求高刚性化。擦拭部件400在底边406、斜边404A、404B与排出口面36和唇斜面34A线接触，并向箭头Ds方向(在图8中，从右到左的方向)移动，由此进行清扫。 [0017] 如图8所示，附着在狭缝喷嘴20上的涂布液150如果用擦拭部件400从排出口面36或唇斜面34A去除，则暂时先汇聚在由排出口面36和与之对应的擦拭部件400的底面402包围的空间S上。汇聚的涂布液154将成为沿着底面402和前面412流出的涂布液
152而向下方流下，或者被根据需要设置在保持擦拭部件400的支架上112上的吸引口422吸引。

[0018] 但是，如果为了缩短清扫时间提高生产效率而以更快的速度进行清扫，则汇聚在空间S上的涂布液154的量比沿着底面402等流出的涂布液152的量大得多，因此，汇聚在空间S上的涂布液154会溢出。即使加大从吸引口422吸引的速度，但它对沿着底面402流出的涂布液152的流出速度不产生影响，因此无法防止涂布液从空间S溢出。 [0019] 从空间S溢出的涂布液成为沿着擦拭部件400和唇斜面34A之间的缝隙向上部移动的涂布液424，会再次附着在唇斜面34A的上部而在狭缝喷嘴20的长尺寸方向上以线状的残留液420的形式残留。如果再附着的残留液420的量多，残留液420沿着唇斜面34A一直流到狭缝喷嘴20的排出口面36，而且有的时候涂布时会附着在涂布膜面上而引起涂布条纹或涂布不匀等涂布缺陷。

[0020] 以线状的形式再附着在狭缝喷嘴20上的残留液420每次清扫时都会积蓄从而线的宽度逐渐变大，如果以该状态固化，则由于与擦拭部件400接触而清扫部件受磨损。擦拭部件400的受磨损的部分没有足够的接触压力而无法进行涂布液的去除，因此使可清扫的范围变小，由此产生擦拭部件400使用于清扫的时间缩短，即擦拭部件400的使用寿命缩短的问题。

[0021] 如上所述，擦拭部件400为了谋求高刚性化使钻孔的部分最少化，因此，如图9(b)所示，清扫结束后涂布液附着在擦拭部件400的底面402和其周围而残留，并成为残留涂布液426。即使从喷嘴排出溶剂而将这些残留涂布液426清洗，溶剂也会代替(相同地)残留涂布液426的涂布液而附着在底面402和其周围而残留。

[0022] 如此地，如果以在清扫部件(擦拭部件400)的上面残留溶剂的状态对狭缝喷嘴20进行清扫，则溶剂附着在清扫开始部而残留在狭缝喷嘴20上，除此之外附着的溶剂与狭缝喷嘴20的排出口的涂布液接触而与之混合，涂布液被稀释，因此导致涂布开始部的膜厚度变小。另外，溶剂和涂布液的混合会引起所谓的溶剂冲击(Solvent Shock)，而且涂布液的固体部分分离而产生异物，这些异物附着在涂布面而显著影响涂布质量。 [0023] 本发明的目的在于解决上述的现有清扫部件存在的问题，其目的在于，提供一种能够实现清扫时提高从涂布器去除的涂布液沿着清扫部件流出的速度来防止涂布液再附着在涂布器上、涂布液或清洗用溶剂等不残留而不会导致涂布膜异常或涂布膜面缺陷的清扫部件。还有，其目的在于提供一种利用该清扫部件明显提高生产效率或质量的涂布器的清扫方法和装置、以及使用该方法的显示器用部件的制造方法。

[0024] 通过下述的方法达到上述的本发明的目的。

[0025] 涉及第一发明的本发明的清扫部件，具有相对而置的第一面和第二面、且一边与在涂布器的一个方向上延伸的排出口的排出口面和该排出口面的两个邻接面接触一边在该一个方向上滑动而对该排出口面和该两个邻接面进行清扫，其特征在于，该清扫部件包括：清扫部，设置在所述第一面侧上，并与所述排出口面和所述两个邻接面同时接触；多个流出路径面，以所述清扫部为起点，并一直延伸到所述第二面侧；其中，所述流出路径面上，在所述第二面侧设置有切槽。

[0026] 涉及第二发明的本发明的清扫部件，所述切槽优选具有三角形状的截面。 [0027] 涉及第三发明的本发明的涂布器的清扫方法，用清洗液清洗根据第一发明和第二发明的任一项所述的清扫部件的清扫部后，使该清扫部与所述排出口面和所述两个邻接面接触的同时在所述一个方向上滑动而对所述涂布器进行清扫，其特征在于，在所述第二面侧上，将该清扫部件保持在重力方向上低于该切槽的位置上，以使涂布液和清洗液从该切槽的一端流出。

[0028] 涉及第三发明的本发明的涂布器的清扫装置，将第一发明和第二发明的任一项所述的清扫部件，通过使所述清扫部与所述排出口面和所述两个邻接面接触的同时滑动而进行清扫，其特征在于，该装置包括：保持体，保持所述清扫部件；移动装置，使所述清扫部件和所述保持体在所述一个方向上滑动；清扫部件清洗装置，用清洗液对清扫部件的清扫部进行清洗；其中，所述保持体在所述第二面侧保持在重力方向上低于所述切槽的位置。 [0029] 本发明的显示器用部件的制造方法，其特征在于，使用第三发明所述的清扫方法制造显示器用部件。

[0030] 使用本发明的清扫部件和涂布器的清扫方法以及清扫装置，由于在与清扫部件的清扫部相反一侧的液体流出一侧上跨越相邻的流出路径面设置有切槽，因此，由于从涂布器去除的涂布液沿着流出路径面流出的速度加快程度相当于通过切槽的毛细管的分量，因此能够抑制清扫时去除的涂布液积在涂布器和清扫部件之间而溢出。结果能够防止涂布液再附着在涂布器上的问题。另外，通过切槽涂布液或清洗用溶剂一定从清扫部件流出，因此能够抑制在清扫部件的清扫部或其附近残留涂布液或作为清洗液的溶剂。如此地，由于能够抑制涂布液再附着在涂布器上或者涂布液或清洗用溶剂残留在清扫部件的清扫部或其附近，因此，能够使涂布器处于涂布液完全没有残留的高质量的清扫状态。其结果是，能够形成涂布膜厚精度高、涂布膜面上完全没有缺陷的高质量的涂布膜。

[0031] 根据本发明的显示器用部件的制造方法，由于利用上述的优良的清扫方法制造显示器用部件，因此，即使是高速清扫时也能提高清扫能力，可以大幅缩短处理时间，因此，能够高效率、高成品率制造出膜厚精度高且没有涂布缺陷的优良的涂布品质的显示器用部件。附图说明

[0032] 图1为包括本发明的实施方式的清扫装置的涂布装置的说明图； [0033] 图2为分阶段说明通过图1所示的清扫装置进行清扫的工序的图； [0034] 图3为表示本发明的实施方式的擦拭部件的概略立体图；

[0035] 图4为表示图2所示的擦拭部件和狭缝喷嘴之间的位置关系的说明图； [0036] 图5为说明通过图3所示的擦拭部件的狭缝喷嘴的清扫作用的图； [0037] 图6为表示图3所示的擦拭部件的变形例的概略立体图；

[0038] 图7为表示通过本发明的实施方式的擦拭部件的清扫作用的试验结果的图； [0039] 图8为说明通过现有的清扫部件的狭缝喷嘴的清扫作用的图；

[0040] 图9为说明作为图8的清扫部件的擦拭部件400和用溶剂清洗后的状态的图； [0041] 附图标号说明：

[0042] 1 狭缝式涂布机

[0043] 2 基台

[0044] 4 导轨

[0045] 6 平台

[0046] 10 支柱

[0047] 20 狭缝喷嘴(涂布器)

[0048] 22 前唇

[0049] 24 后唇

[0050] 26 多歧管

[0051] 28 狭缝

[0052] 30 排出口

[0053] 32 垫片

[0054] 34A、34B 唇斜面

[0055] 36 排出口面

[0056] 40 涂布液供给装置

[0057] 42 供给阀

[0058] 44 吸引阀

[0059] 46 过滤器

[0060] 50 送液泵

[0061] 52 送液器

[0062] 54 活塞

[0063] 56 主体

[0064] 60 供给软管

[0065] 62 吸引软管

[0066] 64 箱

[0067] 66 涂布液

[0068] 68 压缩空气源

[0069] 70 上下升降单元

[0070] 72 马达

[0071] 74 导向件

[0072] 76 圆头螺钉

[0073] 78 升降台

[0074] 80 悬挂保持台

[0075] 90 厚度传感器

[0076] 92 支持台

[0077] 94 控制装置

[0078] 96 操作盘

[0079] 100 擦拭单元

[0080] 102 台车

[0081] 104 托架

[0082] 106 滑动器

[0083] 108 驱动单元

[0084] 110 托盘

[0085] 112 支架

[0086] 114 压板

[0087] 116 导向件

[0088] 118 弹簧

[0089] 120 前方支持部

[0090] 122 诱导面

[0091] 214 上边

[0092] 126 前斜面

[0093] 140 清洗单元

[0094] 142 溶剂喷嘴

[0095] 144 配管

[0096] 150 附着的涂布液

[0097] 152 流出的涂布液

[0098] 154 汇聚的涂布液

[0099] 200 擦拭部件

[0100] 202 底面

[0101] 204A、204B 斜边

[0102] 206 底边

[0103] 208A、208B 斜面

[0104] 210 后面

[0105] 212 前面

[0106] 214A、214B 上面

[0107] 220 切槽

[0108] 222 切槽底边

[0109] 224A、224B 切槽斜面

[0110] 300 擦拭部件

[0111] 400 擦拭部件(现有的)

[0112] 402 底面

[0113] 406 底边

[0114] 412 前面

[0115] 420 残留液

[0116] 422 吸引口

[0117] 424 向上部移动的涂布液

[0118] 426 残留涂布液

[0119] A 基板(被涂布部件)

[0120] B 珠状物

[0121] C 涂布膜

[0122] F 箭头方向(擦拭部件的厚度方向)

[0123] L1、L2、L3、L4 擦拭部件的各部分的长度

[0124] Lc 切槽底边的长度

[0125] LP1 投影在切槽底边的底面的长度

[0126] LP2 投影在切槽底边的前面的长度

[0127] S 空间

[0128] T 擦拭部件的厚度

[0129] α 底面和排出口面的角度

[0130] β 底面和后面的角度

[0131] γc 斜边之间的角度

[0132] γn 狭缝喷嘴的唇斜面34A和34B的角度

[0133] 后面和斜面的角度

[0134] θ 相对于擦拭部件的前面的垂直面的倾斜角度

[0135] θc1 切槽底边的前面的角度

[0136] θc2 切槽斜面将切槽底边夹在中间的角度

具体实施方式

[0137] 下面参照图1、图2、图3、图4、图5、图6和图7说明本发明的优选实施方式。图1表示作为包括本发明的清扫装置的涂布装置的狭缝式涂布机的概略构成，图2表示用擦拭部件清扫狭缝喷嘴的情况，图3表示作为本发明的清扫部件的擦拭部件，图4和图5表示通过本发明的实施方式的擦拭部件对狭缝喷嘴的清扫作用，图6为作为本发明的清扫部件的其它实施方式的例子的擦拭部件300的概略立体图，图7表通过本发明的实施方式的擦拭部件的清扫作用的试验结果。

[0138] 如图1所示，本发明的实施方式的狭缝式涂布机1包括作为清扫装置的擦拭单元100。狭缝式涂布机1包括基台2，在基台2上设置有一对导轨4。在导轨4上配置有作为被涂布部件的基板A的载置台、即平台6。平台6用线性马达(未图示)驱动，朝向用箭头表示的X方向自由地往返移动。平台6按照平行于由X方向和相对于X方向垂直的Y方向规定的XY平面的方式载置。另外，XY面优选的是按照平行于水平面的方式设定。 [0139] 进一步，平台6的上面成为由吸附孔构成的真空吸附面，可以将基板A吸附而保持。在基台2的中央设置有门型的支柱10。在支柱10上包括朝向相对于XY平面呈垂直的Z方向自由地往返移动的上下升降单元70，在该上下升降单元70上将作为进行涂布的涂布器的狭缝喷嘴20按照其长尺寸方向与Y方向平行的方式安装。

[0140] 狭缝喷嘴20，向Y方向延伸的前唇22和后唇24通过垫片32在X方向上重叠，并且通过多个连接螺钉(未图示)结合成一体。在狭缝喷嘴20内部的中央形成有多歧管26。多歧管26也向Y方向延伸。在多歧管26的下方，向狭缝喷嘴20的长尺寸方向(Y方向)延伸的狭缝28以连通的方式形成。狭缝28的下端部在作为狭缝喷嘴20的最下端面的排出口面36开口，并形成排出口30。即，狭缝喷嘴20在其最下端具有向长尺寸方向延伸的排出口30，排出口30存在于排出口面36上。作为邻接于排出口面36两侧的两个邻接面，具有唇斜面34A和34B。由于狭缝28通过垫片32形成，因此狭缝28的间隙(X方向的离间距离)与垫片32的厚度相同。

[0141] 使狭缝喷嘴20升降的上下升降单元70由以下机构构成，具体为：悬挂保持台80，以使排出口30朝向下侧的方式保持狭缝喷嘴20；升降台78，连接有悬挂保持台80的一端，使其升降；导向件74，将升降台78向上下方向引导；圆头螺钉76，将马达72的旋转运动转换成升降台78的直线运动。

[0142] 上下升降单元70支持狭缝喷嘴20的长尺寸方向(Y方向)的两端部，并按照能够分别独立地升降的方式在左右设置有一对。通过该一对上下升降单元 70，能够任意设定相对于狭缝喷嘴20长尺寸方向的水平(Y方向)的倾斜角度。由此，能够使狭缝喷嘴20的排出口面36和基板A在狭缝喷嘴20的整个长尺寸方向上大致平行。进一步，通过上下升降单元70能够任意设定平台6的基板A和狭缝喷嘴20的排出口面36之间的缝隙、即间隙。 [0143] 狭缝喷嘴20内的多歧管26的上游侧通过内部通路(未图示)与连接在涂布液供给装置40的供给软管60正常连接。通过供给软管60能够从涂布液供给装置40向多歧管26供给涂布液66。被供给到多歧管26的涂布液向狭缝喷嘴20的长尺寸方向(Y方向)均匀地扩展后，经过狭缝28从排出口30排出。

[0144] 涂布液供给装置40在供给软管60的上游侧上包括过滤器46、供给阀42、送液泵50、吸引阀44、吸引软管62和箱64。在箱64中储存有涂布液66。箱64与压缩空气源68连接，能够对储存的涂布液66施加任意大小的背压。箱64内的涂布液66经过吸引软管被供给到送液泵50。

[0145] 送液泵50是以送液器52、活塞54安装在主体54的方式构成。活塞54通过驱动源(未图示)能够向上下方向自由地往返移动。送液泵50是如下的定容量型泵，具体为，将涂布液66填充在具有一定内径的送液器52的内部，并通过活塞54将涂布液66挤出，在狭缝喷嘴20供给能够涂布一个基板A的量的涂布液。

[0146] 在送液器52的内部填充涂布液时开启吸引阀44，关闭供给阀42，使活塞54向下方移动。另外，将填充在送液器54内的涂布液向狭缝喷嘴20供给时，关闭吸引阀44，开启供给阀42，使活塞向上方移动，由此，用活塞54将送液器52内的涂布液66压上去而排出。活塞54的移动速度乘以送液器的截面面积就是涂布液66的供给速度、即，泵的供给速度。 [0147] 在图1中，如基台2左侧所示，测量基板A厚度的厚度传感器90安装在支持台92上。厚度传感器90优选的是利用激光的传感器。通过用厚度传感器90测量基板A的厚度，即使对厚度不同的基板A，也能够使作为狭缝喷嘴20的排出口面36和基板A之间的缝隙的间隙总保持特定值。

[0148] 在图1中的基台2的右侧端部，作为清扫装置的擦拭单元100按照向X方向自由移动的方式安装在导轨4上。在擦拭单元100上，作为具有结合于狭缝喷嘴20的形状的清扫部件的擦拭部件200安装在支架112上。擦拭部件200被压板114固定住，以不让它动。压板114和支架112通过螺钉等连接装置(未图示)连接保持。

[0149] 支架112通过仅向上下方向引导的两个导向件116安装在托架104上。在各个导向件116的周围安装有弹簧118，擦拭部件200通过支架112可以自由地跟随由狭缝喷嘴20的排出口面36和唇斜面34A、34B构成的前端部的上下方向的位置变化。托架104安装在滑动器106上。滑动器106通过驱动单元108能够向狭缝喷嘴20的长尺寸方向(Y方向)自由地移动。

[0150] 通过滑动器106使擦拭部件200移动的驱动单元108和托盘110固定在台车102上。托盘110是回收由擦拭部件200去除的涂布液等的装置，它与排除系统(未图示)连接，能够将积在内部的涂布液等液体向外排出和回收。托盘110还可以用于回收从狭缝喷嘴20通过抽出空气等方法排出的涂布液。台车102在导轨4上，并在导轨4的引导下通过线性马达(未图示)向X方向自由地往返移动，因此，擦拭单元100整体能够向X方向往返移动。

[0151] 向擦拭部件200喷射溶剂而进行清洗的清洗单元140，在X方向上基台2的右侧端部、在Y方向上与狭缝喷嘴20的长尺寸方向端部互不干涉的位置上，通过支架(未图示)固定住。清洗单元140由喷射作为清洗液的溶剂的溶剂喷嘴142和从溶剂供给源(未图示)向溶剂喷嘴142供给溶剂的配管144构成。溶剂喷嘴142是，如将溶剂以柱形、淋浴形或者扇形喷射等，只要是能够喷射溶剂就可以具有任何形态。

[0152] 基于以擦拭单元100为首，还有线性马达、马达72、涂布液供给装置40和清洗单元140等的控制信号进行动作的装置均与控制装置94电连接。控制装置94根据编入于本身的自动运转程序向各装置发送控制指令信号，使各装置进行预定的动作。另外，如果向操作盘96输入适当进行变更的参数，则该参数传达到控制装置94并反映到控制信号而将实现运转动作的变更。

[0153] 关于擦拭单元100，通过任意控制擦拭部件200的狭缝喷嘴20的长尺寸方向移动速度或清扫开始和结束位置等来能够实现所要求的任意的清扫动作。关于清洗单元140，通过任意控制溶剂从溶剂喷嘴142的喷射速度或喷射时间来使擦拭部件200进行预定的清洗动作。

[0154] 接着，参照图2说明使用擦拭单元100的清扫方法。在图2中分阶段表示用擦拭部件200清扫狭缝喷嘴20的情况。另外，在清扫开始前擦拭部件200在于X方向上的初期位置(在图1中的基台2的右侧端部)、Y方向上的清扫开始位置。

[0155] 如果清扫开始，首先如图2(a)所示，擦拭单元100向X方向被整体移动，以使擦拭部件200到达狭缝喷嘴20的排出口面36和唇斜面34A和34B结合的位置的正下方。擦拭部件200的一侧被在支架112的用箭头表示的移动方向侧的前方支持部120支持。前方支持部120的最上部的上边124朝向下方与诱导面122和前斜面126连接。上边124向X方向延伸，并在X方向上的擦拭部件200的整个长度上与该擦拭部件200接触。诱导面122以沿着重力方向(Z方向)并倾斜于下侧的平面形状形成，以使传送来而流出的涂布液152落下。诱导面122相对于水平面(XY平面)的倾斜角度优选的是15度～80度，更优选的是30度～60度。

[0156] 接着，如图2(b)所示，如果擦拭部件200到达狭缝喷嘴20的前端部的正下方、且从排出口30向Y方向稍微离开的清扫开始位置，则从狭缝喷嘴20的排出口30排出特定量的涂布液66。排出的涂布液66附着在狭缝喷嘴20的排出口面36或唇斜面34A和34B而成为附着的涂布液150。

[0157] 接着，如图2(c)所示，狭缝喷嘴20下降并与擦拭部件200结合(接触)。狭缝喷嘴20下降位置优选的是弹簧118收缩0.5mm～5mm的位置，更优选的是弹簧118收缩1mm～
3mm收缩的位置。如果弹簧118在该范围内(0.5mm～5mm)收缩，则擦拭部件200能够容易跟随狭缝喷嘴20的前端部的上下(Z)方向的位置变动。

[0158] 接着，如图2(d)所示，对驱动单元108进行驱动，使擦拭部件200以与狭缝喷嘴20的排出口面36和唇斜面34A和34B接触的状态向箭头表示的Ds方向移动，由此去除和清扫狭缝喷嘴20的排出口面36和唇斜面34A和34B各自上附着的涂布液150和其它的污染物。Ds方向是擦拭部件200以与狭缝喷嘴20接触的状态移动、即滑动的滑动方向，该方向与Y方向或狭缝喷嘴20的长尺寸方向一致。

[0159] 被去除的涂布液和其它物质将成为经过擦拭部件200或支架112的诱导面122或前斜面126而流出的涂布液152，并且落到托盘110上而被回收。擦拭部件200接着向Ds方向(Y方向)移动，并在通过狭缝喷嘴20的长尺寸方向端部的位置、即与狭缝喷嘴20的长尺寸方向端部互不相干的位置停止。接着，擦拭单元100整体一直移动至X方向的初期位置，擦拭部件200被停止在清洗单元140的正下方。

[0160] 如图2(e)所示，擦拭部件200在上述的停止位置上，在溶剂喷嘴140的下方。在该状态下将通过配管144供给的溶剂从溶剂喷嘴142喷射，以此清洗擦拭部件200。清洗结束后使擦拭部件200复位至Y方向的清扫开始位置。之后，每次涂布时重复进行相同的清扫方法。

[0161] 接着，参照图3详细说明本实施方式的擦拭部件200。另外，在图3中表示进行清扫动作时从滑动方向(Ds方向)的倾斜前侧看到的擦拭部件200。擦拭部件200具有平板状的形状，并具有后面210(第一面)和前面212(第二面)。在该后面210上设置有与狭缝喷嘴20的排出口面36线接触的底边206和与作为排出口面36的两个邻接面的唇斜面34A和34B线接触的斜边204A以及204B。线接触是指作为边的线完全包含在作为对象的面上的状态。因此，以底边206的全部包含在排出口面36上的方式接触，以斜边204A以及
204B的全部分别包含在唇斜面34A和34B上的方式接触。

[0162] 在此，后面210是擦拭部件200的一侧的端面，前面212是从后面210离开厚度T的其它一侧的端面。即，后面210和前面212位置关系是相对而置的关系。并且，在本实施方式中厚度方向是指与后面210和前面212分别垂直的方向，如图3所示，被定义为F方向。另外，如后面所述，在擦拭部件200搭载在擦拭单元100的状态中，F方向是相对于Y方向形成特定角度的向下的方向。

[0163] 作为与狭缝喷嘴20的排出口面36和作为其两个邻接面的唇斜面34A和34B同时接触的清扫部的底边206和斜边204A以及204B包含在后面210，并被定义为位于后面210在A侧上。后面210的厚度方向的对面、即相反一侧的面则是前面212，并前面212被定义为位于与A侧是在厚度方向的相反侧的B侧上。当擦拭部件200向Ds方向滑动时，B侧位于A侧的前方。从这个意义上，将A侧和B侧分别称之为后面侧和前面侧。 [0164] 从厚度方向(F方向)看到擦拭部件200的状态中，其构成为，斜边204A以及204B形成角度γc，并分别与底边206的两端连接。在厚度方向上，后面210和底面202以底边206作为边界连接，后面210和斜面208A以及208B以斜边204A以及204B作为边界连接。
狭缝喷嘴20的前端部和擦拭部件200结合时，底面202面对着排出口面36，斜面208A以及208B面对着唇斜面34A 和34B。包含底边206的底面202与后面210之间形成角度β。
包含斜边204A以及204B的斜面208A以及208B与后面210之间形成角度

[0165] 在图3中，虚线代表的是后面210，角度β是底面202和虚线之间的角度。底面202和后面210之间的角度β，详细地说被定义为在与底面202和后面210同时垂直的参照面内，参照面和底面202的交线与参照面和后面210的交线所形成的角度。另外，斜面
208A以及208B与后面210之间形成的角度详细地说被定义为在与斜面208A以及208B与后面210同时垂直的参照面内，参照面和斜面208A以及208B的交线与参照面和后面210的交线所形成的角度。擦拭部件200是角度β和角度都为90度时的实施方式的例子。
另外，在斜面208A以及208B的最上部接触而向水平延伸的是上面214A以及214B。 [0166] 上述的底面202、斜面208A以及208B和前面212是，将清扫部的底边206、斜边
204A以及204B作为起点一直延伸至厚度方向(F方向)的B侧的面，因此被定义为流出路径面。前面212所在的B侧中，跨越相互挨着的作为流出路径面的底面202和前面212设置有切槽220。

[0167] 切槽220将流出路径面连通而形成。在本实施方式中，与底面202和前面212连通而形成。切槽220具有三角形截面，由相当于三角形的顶点的切槽底边222和相当于三角形的边的切槽斜面224A以及224B构成。在本实施方式中，该切槽底边222以直线形状形成。即，由于底面202和前面212通过切槽底边222直线地连通，因此与切槽底边222曲折、弯曲的情况相比，在底面202积压的涂布液顺畅地流到前面212。切槽斜面224A以及224B相对于切槽底边222对称地形成，但也可以是非对称地形成。切槽220的大小通过切槽底边222和前面212所形成的角度θc1(图中标示包含在前面212的虚线和底边222之间形成的角度)、切槽底边222和长度Lc(与前面212形成角度θc1的方向的长度)和切槽斜面224A以及224B夹住切槽底边222而形成的角度θc2被直接地定义。关于长度Lc和角度θc1，可以由切槽底边222分别投影到底面202和前面212的长度LP1和LP2代替。 [0168] 切槽斜面224A和切槽斜面224B之间形成的角度θc2被定义为，在于切槽斜面224A和切槽斜面224B都呈垂直的参照面内中参照面和切槽斜面224A的交线与参照面和切槽斜面224B的交线所形成的角度。另外，切槽220按照位于切槽底边222与厚度方向(F)垂直的方向、即，在擦拭部件200的长尺寸方向的底面202的中央的方式配置，但切槽220要是包含在底面202，可以配置在擦拭部件200的长尺寸方向的任何位置。 [0169] 接着，参照图4和图5说明使用擦拭部件200的清扫的作用。图4(a)为从X方向看到擦拭部件200和狭缝喷嘴20结合状况的侧面图。如图4(a)所示，擦拭部件200按照相对于向由虚线表示的上下方向(Z方向)延伸的垂直面后面210向擦拭部件200的滑动方向(Ds方向)侧倾斜角度θ的方式安装在擦拭单元100的支架112上。垂直面与用箭头表示的擦拭部件200的滑动方向(Ds方向)和平台6的上面(XY平面)呈垂直。排出口面36也与垂直面呈垂直。

[0170] 擦拭部件200向滑动方向(Ds方向)侧倾斜是为了使附着在唇斜面34A以及34B的涂布液等容易落到下侧。通过擦拭部件200向滑动方向(Ds方向)侧倾斜，相对于狭缝喷嘴20的排出口面36的擦拭部件200的底面202比与排出口面36线接触的底边206，在滑动方向(Ds方向)的前方，相对于排出口面36向重力方向的下侧倾斜成角度α的方式配置。同样，相对于狭缝喷嘴20的唇斜面34A以及34B的擦拭部件200的斜面208A以及208B，比与唇斜面34A以及34B线接触的斜边204A以及204B，向滑动方向(Ds方向)的前方倾斜地配置。

[0171] 图4(b)表示图4(a)所示的状态时从滑动方向(Ds方向)看到的擦拭单元100。底边206与排出口面36、斜边204A以及204B与狭缝喷嘴的唇斜面34A以及34B同时线接触。为了实现这样结构，斜边204A以及204B间的角度γc被设定，而且在垂直面内该角度几何上必须小于狭缝喷嘴20的唇斜面34A以及34B所形成的角度γn。

[0172] 图5放大表示，在图4(a)所示的状态使擦拭部件200向滑动方向(Ds)移动，由此去除附着在狭缝喷嘴20的排出口面36、唇斜面34A以及34B的涂布液150的状况。但是，图5是切槽220的切槽底边222的位置上的侧面截面图。与排出口面36邻接的唇斜面34A侧的部分(附着的涂布液150、斜边204A、斜面208A等)用虚线表示。另外，被汇聚在空间S的涂布液154挡住视野的部分(斜边204A、斜面208A)也要用虚线表示。 [0173] 由于底边206与排出口面36、斜边204A以及204B与狭缝喷嘴20的唇斜面34A以及34B同时线接触而无缝隙，因此，如果擦拭部件200向滑动方向(Ds) 方向移动，则附着在排出口面36和唇斜面34A以及34B的涂布液150通过底边206和斜边204A以及204B肯定从狭缝喷嘴去除。通过由设置在作为A侧的后面210的底边206和斜边204A以及204B构成的清扫部去除的涂布液偶尔是成液滴状而向下落下，但大部分情况下沿着作为擦拭部件200的流出路径面的底面202、唇斜面208A以及208B、前面212流出后，成为沿着支架112的诱导面122、前斜面126向下方流出的涂布液152。

[0174] 通过擦拭部件200从狭缝喷嘴20去除的涂布液汇聚在底面202和其周围而形成汇聚的涂布液154后，并沿着底面202流出，并按照在与A侧的厚度方向的相反B侧邻接的底面202和前面212上跨越设置的切槽220的毛细管作用量，在B侧附近其流出速度会增加。因此，即使在附着于狭缝喷嘴20的涂布液150的量多的时候或擦拭部件200的移动速度高而单位时间所去除的涂布液的量多的时候，通过擦拭部件200的清扫部去除的涂布液顺利地沿着底面202等的流出路径面流下，因此能够抑制从底面202和排出口面36之间的被包围的空间S溢出。由此，能够抑制涂布液从空间S溢出而沿着斜面208A以及208和唇斜面34A以及34B之间的缝隙向上部移动，并以线状再附着在唇斜面34A以及34B上。 [0175] 以下，与参照图8和图9说明的现有的擦拭部件400的清扫作用作比较，说明本实施方式的擦拭部件200的清扫作用。现有的擦拭部件400除了没有切槽220外，其它的地方与擦拭部件200完全一样。但是，在没有切槽的擦拭部件400中，沿着底面402流出的涂布液受到作为底面402和前面412的边界的边缘部中作用的表面张力而流出速度会减速，涂布液从空间S溢出，并以线状再附着于唇斜面34A上而成为残留液420。另外，如图9(a)所示，擦拭部件400中与狭缝喷嘴20线接触的底边406和斜边404A以及404B设置在后面410内，并在与这些边在厚度方向上连接而形成底面402、斜面408以及408B，前面412按照平行于后面410的方式被设置。如此地，本实施方式的擦拭部件200由于具有切槽220，因此与现有的擦拭部件400相比清扫能力显著地提高。

[0176] 另外，如果通过擦拭部件的滑动来进行的清扫结束，则如图9(b)所示，不具有切槽220的擦拭部件400会残留涂布液，并成为残留涂布液426。另外，通过清洗单元140将溶剂喷射到擦拭部件400而进行清洗的情况也是，如图9(b)所示的残留涂布液426一样，同样地残留溶剂。涂布液或溶剂的粘度、表面张力越高这样的现象越明显。那是因为，作为底面402和前面412的边界的边缘部中作用的表面张力比沿着底面402作用的重力成分大而涂布液的流出被阻止。如果像本发明的擦拭部件200一样具有切槽220，则与表面张力和重力成分的力关系无关，而是通过毛细管作用与切槽220接触的涂布液或溶剂流出，因此能够抑制涂布液或溶剂残留在底面202上。因此，在本发明的擦拭部件200中，能够避开由于涂布液或溶剂残留在底面202和其周围而产生的不良情况。

[0177] 接着，参照图6对上述的擦拭部件200的变形例进行说明。擦拭部件300除了将擦拭部件200的角度做成锐角之外，其它地方与擦拭部件200完全一样。通过将角度做成锐角，斜边204A以及204B与唇斜面34A以及34B的线接触变得更强，因此，附着涂布液的高速去除能力进一步提高。通过擦拭部件300的清扫的作用、即通过切槽220沿着底面202和前面212流出的涂布液152的流出速度增加，或者清扫后涂布液或清洗用的溶剂没有残留的作用，与擦拭部件200完全一样。

[0178] 在擦拭部件200和300中，涂布液沿着底面202、切槽220和前面212以原来的流出速度流出时，如图5和图6所示，均需要将作为在滑动方向(Ds、Y)的前侧保持擦拭部件200以及300保持的前方支持部120的最上部的上边124配置在重力方向上的切槽的下侧。
由此，在作为B侧的前面212中，与切槽220相比在重力方向的下侧位置上保持擦拭部件
200以及300。其结果是，作为涂布液或清洗液的溶剂直接从前面212上的切槽220的一端流出，流到诱导面122。如果上边124在于干涉切槽220的位置上，则会发生由于涂布液或溶剂从切槽220的流出被妨碍而流出速度降低或者严重的时候完全不流出的现象，因此不合适。

[0179] 关于设置在擦拭部件200、300的切槽220，其长度LP1优选的是0.2mm～2mm，更优选的是0.5mm～1.5mm，长度LP2优选的是0.2mm～3mm，更优选的是1.5mm～2.5mm，角度θc2优选的是10度～80度，更优选的是30度～70度。如果比这些范围更小，则通过毛细管作用使涂布液或溶剂流出的速度会降低，严重的时候完全起不到毛细管作用，因此涂布液或溶剂会残留在底面202和其周围。另一方面，如果比这个范围大，则擦拭部件200以及300的刚性下降，因此底边206相对于排出口面36的线接触和斜边204A以及204B相对于唇斜面34A以及34B的线接触变弱，因此高速地去除所附着的涂布液的性能下降，严重的时候根本无法去除所附着的涂布液。

[0180] 从涂布液或溶剂流出的方向、即，切槽底边222延伸的方向上看到切槽220时其具有三角形截面。但是，其并不局限于此，可以形成为如以切槽底边222作为面的长方形或梯形的四角形截面。另外，切槽斜面224A以及224B也可以是曲面。

[0181] 擦拭部件200以及300的材质优选的是具有弹性的高分子树脂，例如为合成橡胶，以能够使底边206和排出口面36、斜边204A以及204B和唇斜面34A以及34B同时充分地线接触。作为合成橡胶，优选的是具有适当的弹性和相对于涂布液的耐药性的、例如为乙丙橡胶、硅橡胶、丁基橡胶、全氟橡胶(商品名“Kalrez”等)。表示弹性程度的橡胶硬度用C型弹簧式硬度试验机测量，优选的是50°～90°，更优选的是60°～80°。 [0182] 切槽220如果适用于通过将清扫部以最小限度的大小钻孔而使之高刚性化而线接触强且清扫能力高的清扫部件，则效果发挥的更好。因此，作为本发明所适用的清扫部件的形状优选的是，在擦拭部件200以及300中角度优选的是90度以下、更优选的是80°～90°，角度β优选的80°～130°，更优选的是90°～120°。

[0183] 接着，详细说明利用本发明的清扫部件和清扫方法的狭缝式涂布机1的涂布方法。首先，如果进行狭缝式涂布机1的各动作部的原点复归，则各动作部将移动到待机位置。即，平台6移动到图1的左侧端部(用虚线表示的位置)、狭缝喷嘴20移动到最上部的原点位置，并且，擦拭单元100移动，以使托盘110从初始位置(基台2的右侧端部)到达狭缝喷嘴20的下部位置。此时，擦拭部件200在X方向上在于狭缝喷嘴20的排出口30的正下方位置，但作为狭缝喷嘴20的长尺寸方向的Y方向上，如图2(a)所示，在于从排出口30稍微离开的清扫开始位置上。

[0184] 此时，在箱64至狭缝喷嘴20中涂布液已满，并且排除狭缝喷嘴20内残留的空气的作业也已经结束。此时的涂布液供给装置40的状态处于在送液器52上充满涂布液66、吸引阀被关闭，供给阀被开启，并且活塞54位于最下端的位置上，随时可以将涂布液66供给到狭缝喷嘴20的状态。

[0185] 最初，使顶升销(未图示)上升到平台6的表面上，基板A从装载机(未图示)放置在顶升销的上部。然后，使顶升销下降将基板A放置在平台6的上面，并同时吸附保持。与此同时使涂布液供给装置40开始工作，从而将预先设定的量的涂布液66从送液泵50供给到狭缝喷嘴20，并将涂布液66从狭缝喷嘴20排出到托盘110上。此时，在Y方向上擦拭部件200不在排出口30的正下方的位置，因此不会存在从狭缝喷嘴20的排出口30排出的涂布液下降而附着的情况。

[0186] 停止涂布液66的供给后，下降狭缝喷嘴20，使擦拭部件200与狭缝喷嘴20的排出口面36和唇斜面34A以及34B接触，然后在Y方向上滑动擦拭部件200直到终点位置，将位于狭缝喷嘴20的排出口30附近的排出口面36和唇斜面34A以及34B沿着Y方向进行清扫。通过这样的清扫，还完成狭缝喷嘴20的内部通道一直到排出口30完全被涂布液填充的初始化。

[0187] 清扫结束后，将狭缝喷嘴20上升到原点位置，同时使擦拭单元100向X方向移动而复归到初始位置(基台2的右侧端部)上。此时，对停止于清洗单元140的正下方的擦拭部件200从溶剂喷嘴142喷射溶剂而对擦拭部件200进行溶剂清洗，然后，将擦拭部件200向滑动方向(Ds方向)的相反方向移动，从而将擦拭部件200复归至Y方向的清扫开始位置。

[0188] 确认擦拭单元100向初始位置的移动后，开始移动放置基板A的平台6。此时，狭缝喷嘴20在上下方向上位于比进行涂布的位置高的原点位置上，并且送液泵50停止而处于待机状态。并且，基板A通过厚度传感器90时测量基板厚度。然后，当基板A的涂布开始部到达狭缝喷嘴20的排出口30的正下方时停止平台6。

[0189] 此时，利用所测量的基板A的厚度数据驱动上下升降单元70，使狭缝喷嘴20下降和停止，以使狭缝喷嘴20的排出口面36和基板A之间的缝隙、即，间隙达到预先设定的值。狭缝喷嘴20和平台6完全停止的状态下，使送液泵50的活塞54以特定速度上升，从狭缝喷嘴20排出涂布液66而在狭缝喷嘴20和基板A之间形成珠状物B，然后将平台6以特定速度向X方向开始移动，从而对基板A开始涂布涂布液66，由此形成涂布膜C。 [0190] 然后，如果比基板A的涂布结束位置稍微前面的位置到达狭缝喷嘴20的排出口30的正下方，则停止活塞54而停止涂布液的供给，接着，当基板A的涂布结束位置到达狭缝喷嘴20的排出口30的正下方时，驱动上下升降单元70而使狭缝喷嘴20上升。由此，基板A和狭缝喷嘴20之间形成的珠状物B被切断而结束涂布。

[0191] 在此期间，平台6继续动作，在到达终点位置时停止，并解除基板A的吸附使顶升销上升而保持基板A。此时，基板A的下面被卸载机(未图示)保持，并将基板A向下一个工序输送。如果将基板A交接到卸载机上，则平台6使顶升销下降而复归到原点位置。平台6复归到原点位置后，移动擦拭单元100以使托盘110到达狭缝喷嘴20的排出口30的下部位置。

[0192] 移动结束后，开启吸引阀44、关闭供给阀42，并且使活塞54下降而将涂布液66填充到送液器52内。填充结束后停止活塞54，并关闭吸引阀44、开启供给阀42，等待下一个基板A的到来，如此地反复进行相同的动作。作为涂布液，从涂布性考虑，优选的是粘度为1mPas～100mPas，更优选的是1mPas～50mPas，具有牛顿性(Newtonian)，使用适用于具有触变性的涂布液的、尤其是挥发性高的溶剂，例如为PGMEA、醋酸丁酯、乳酸乙酯等的涂布液涂布时有效。

[0193] 具体来说，作为能够适用的涂布液的例子，除了上述的彩色滤波器用的黑矩阵、RGB色像素形成用涂布液之外，还有抗蚀剂液、外套材料和圆柱体形成材料等。作为基板的被涂布部件，除了使用玻璃之外还可以使用铝等金属板、陶瓷、硅片等。 [0194] 进一步，作为涂布速度等所使用的涂布条件，涂布速度优选的是10mm/s～600mm/s，更优选的是100mm/s～400mm/s，作为清扫部件的擦拭部件200以及300的滑动速度优选的是100mm/s～1000mm/s，更优选的是200mm/s～600mm/s，狭缝喷嘴的唇缝隙优选的是50μm～1000μm，更优选的是80μm/s～200μm/s，涂布厚度在湿的状态下优选的是1μm～50μm，更优选的是2μm～20μm。

[0195] 以下，为了确认通过本发明的实施方式的擦拭部件的清洗效果，实际制造擦拭部件后进行了试验1。对其内容在下面叙述。

[0196] <试验1>

[0197] 狭缝喷嘴20使用的是排出口30的长尺寸方向长度为1100mm、狭缝28的缝隙为100μm，且在基板上能够形成宽度为1100mm的涂布膜的狭缝喷嘴20。狭缝喷嘴的排出口面36的涂布方向(X)的长度为0.6mm、在狭缝喷嘴20的长尺寸方向看到的唇斜面34A以及
34B所形成的角度γn(参照图4(b))为 90°。作为具有这样的排出口面36和唇斜面34A以及34B的狭缝喷嘴20所使用的擦拭部件，采用了作为试验对象的试验片1的图6中所示的部件300。

[0198] 具体来说，在图6中，试验片1(擦拭部件300)的厚度T＝5mm、斜面208A以及208B和后面210所形成的角度斜边204A以及204B之间的角度γc＝81.8°、底面202和后面210所形成的角度β＝90°、底边206的擦拭部件300的长尺寸方向(与作为涂布方向的X方向一致)的长度L1＝0.6mm、斜边204A以及204B的垂直线方向(上下方向)的长度L2＝5mm、擦拭部件300的垂直线方向的长度L3＝20mm、擦拭部件300的长尺寸方向的长度L4＝25mm。

[0199] 前面212与后面210平行地形成，关于切槽220，LP1＝0.9mm、LP2＝2mm、角度θc2为50°。通过上述的尺寸，切槽220相对于擦拭部件300的长尺寸方向的中间点上与该长尺寸方向上垂直的方式设置的垂直面面对称地形成。另外，试验片1(擦拭部件300)将橡胶硬度60°的乙丙橡胶作为材料使用，并通过模具成型制造成由上述参数规定的形状。 [0200] 试验片1(擦拭部件300)安装在支架112上，以使后面210相对于垂直方向倾斜角度θ＝30度。在该状态下试验片1(擦拭部件300)与狭缝喷嘴20接触时的斜面208A以及208B和唇斜面34A以及34B所形成的角度为7°，底面202和排出口面36所形成的角度α＝30°。狭缝喷嘴20和试验片1(擦拭部件300)接触时，将狭缝喷嘴下降至弹簧118的收缩量为1mm的位置。

[0201] <评价>

[0202] 然后，作为评价试验片1(擦拭部件300)的清扫能力的涂布液使用了彩色滤波器用R色(红色)用涂布液。R色用涂布液是粘度为3mPas、将丙烯酸树脂作为粘合剂，作为溶剂使用PGMEA(单甲基醚丙二醇乙酸酯)的感光性的涂布液，固形分浓度为20％。将R色用涂布液填充在狭缝式涂布机1的箱64至狭缝喷嘴20。另外，通过擦拭部件300的清扫后，从喷嘴142以60°的角度扇形状地向擦拭部件300喷射溶剂而实施溶剂清洗。清洗溶剂使用PGMEA，每次清洗时喷射100μL。

[0203] 在上述的条件下，针对以下所述的四个项目(评价1～评价4)进行了试验片1(擦拭部件300)的清洗能力的评价。

[0204] (1)评价1(高速条件中的清扫能力评价)

[0205] 从狭缝喷嘴排出2000μL的R色用涂布液后，使擦拭部件300与狭缝喷嘴 20接触，并向Y方向以500mm/s的速度滑动。这样的动作重复进行100次，然后观察清洗10次和100次后排出口面36和唇斜面34A以及34B中的R色用涂布液的残留状况和擦拭部件300的磨损状况。

[0206] (2)评价2(清扫后的试验片1(擦拭部件300))上的涂布液的残留情况评价) [0207] 基于评价1的、清扫10次和100次后，观察擦拭部件300的底面202和其周围的R色用涂布液的残留状况。

[0208] (3)评价3(擦拭部件300的溶剂清洗后的溶剂的残留情况评价)

[0209] 基于评价1的、溶剂清洗10次和100次后，观察擦拭部件300的底面202和其周围的清洗用溶剂的残留状况。

[0210] (4)评价4(涂布评价)

[0211] 基于评价1的、10次和100次清洗后，在1100×1300mm且厚度为0.7mm的无碱性玻璃基板整面上按照涂布R色用涂布液在湿的状态下以厚度10μm、涂布速度为150mm/s的条件进行涂布。狭缝喷嘴20和基板之间的间隙为150μm。涂布后的基板用减压至60Pa的真空干燥进行干燥，并评价涂布方向(X)的膜厚精度U和观察涂布面的状况。在除端部10mm之外的区域中，膜厚精度U通过U＝(最大值-最小值)/(2×平均值)×100(％)计算出。

[0212] 参照图7说明针对试验片1(擦拭部件300)进行的评价1～评价4的结果。在图7中，表T表示的是针对试验片1的清扫能力、关于评价1～评价4与比较试验1进行比较的情况。

[0213] <比较试验1>

[0214] 比较试验片1中的构成是从试验片1(擦拭部件300)去掉切槽220。利用该比较试验片1在与试验片1完全相同的条件下进行清扫和涂布，从而进行了相同的清扫能力和涂布的评价1～评价4。

[0215] 评价1中，关于试验片1，清扫10次后和清扫100次后，在排出口面36和唇斜面34A以及34B上均没有残留R色用涂布液。其结果是，没有观察到擦拭部件300磨损的情况。另外，在比较试验片1中，虽然排出口面36上没有残留R色用涂布液，但唇斜面34A以及34B的上部沿着狭缝喷嘴20的整个长尺寸方向上残留有R色用涂布液。残留的R色用涂布液的线宽度为清扫10次后是1mm，清扫100次后是2mm。与之相对应地，清扫部件的斜边的上部有长度为相当于残留的R色用涂布液的线宽度的磨损。

[0216] 关于评价2，在试验片1中在擦拭部件300的底面202和其周围没有残留R色用涂布液。另外，在比较试验片1中在擦拭部件200和其周围残留有R色用涂布液。 [0217] 关于评价3，在试验片1中在擦拭部件300的底面202和其周围没有残留作为清洗用的溶剂的PGMEA。另外，在比较试验片1中在擦拭部件的底面和其周围残留有作为清洗用的溶剂的PGMEA。

[0218] 关于评价4，在试验片1中在涂布面上完全没有缺陷，通过根据透射的目测观察整个面都是相同的颜色。测量具有代表性的中央部的涂布方向的膜厚度并算出膜厚精度U的结果是，从基板端去掉10mm的区域中，平均值为2.0μm，膜厚精度U为2％以下。另一方面，在比较试验片1中，通过根据透射的目测观察到涂布面在相当于清扫的开始部和涂布开始部的位置中稍微颜色有变淡。测量包括该部分在内的涂布方向的膜厚度并算出膜厚精度U的结果是，从基板端去掉10mm的区域中，平均值为1.97μm、最大值为2.04μm、最小值1.8μm，膜厚精度U为6％以下。

[0219] <实施例>

[0220] 利用狭缝式涂布机1制造彩色滤波器。在狭缝喷嘴20和擦拭部件上使用试验1所示的擦拭部件300。不论对于何种涂布液，在清扫前的从狭缝喷嘴的涂布液的排出量
1000μL、滑动速度500mm/s的条件下，在每次涂布之前清扫使用该擦拭部件300的狭缝喷嘴20。清扫后的擦拭部件的溶剂清洗液也是将PGMEA作为清洗液并以100μL的喷射量进行清洗。

[0221] 最初，清洗1100×1300mm且厚度为0.7mm的无碱性玻璃基板后，将基板短边侧作为狭缝喷嘴的长尺寸方向(Y)，并将黑矩阵涂布液以湿的状态的厚度为10μm、狭缝喷嘴和基板之间的间隙为150μm、150mm/s的速度进行涂布。此时，所涂布的黑矩阵涂布液中，作为遮光材料使用钛酸氮化物、作为粘合剂使用丙烯酸树脂、作为溶剂使用PGMEA，使用了将固形分浓度调整为10％且粘度调整为4mPas的感光性的涂布液。另外，涂布的处理时间为60秒。

[0222] 通过30秒就能达到65Pa的真空干燥对涂布后的基板进行60秒的真空干燥后，在100℃的热板上进一步干燥10分钟。接着进行曝光、显影、剥离，然后在230度的热板上加热30分钟，通过这样的处理，制造了基板的宽度方向上节距为254μm、基板的长尺寸方向上节距为85μm、线宽度为15μm的格子形状、且厚度为1μm的黑矩阵膜。另外，在干燥后的格子模样形成之前的状态测量涂布厚度，在去掉端部10mm的区域通过公式U＝(最大值-最小值)/(2×平均值)×100(％)计算出膜厚精度U时，基板行走方向、宽度方向上都是3％以下。

[0223] 接着，在湿式清洗后，按照R色用涂布液厚度为20μm、狭缝喷嘴和基板之间的间隙为150μm、涂布速度为150mm/s的条件涂布R色用涂布液。R色用涂布液是将丙烯酸树脂作为粘合剂、将PGMEA作为溶剂、将颜料红177作为颜料，以固形分浓度10％进行混合，进一步将粘度调整为5mPas的感光性的涂布液。对涂布20μm的涂布膜的基板通过30秒就能达到65Pa的真空干燥进行60秒的真空干燥后，进一步在100℃的热板上干燥10分钟。 [0224] 接着进行曝光、显影、剥离，仅在R色像素部上残留厚度为2μm的R色涂布膜，并在230℃的热板上加热30分钟，由此进行处理。接着，形成有黑矩阵、R色的涂布膜的基板上，按照G色用涂布液厚度为20μm、狭缝喷嘴和基板之间的间隙为150μm、涂布速度为150mm/s的条件涂布G色用涂布液。对涂布20μm的涂布膜的基板通过30秒就能达到65Pa的真空干燥进行60秒的真空干燥后，进一步在100℃的热板上干燥10分钟。 [0225] 接着进行曝光、显影、剥离，仅在G像素部上残留厚度为2μm的G色涂布膜，并在
230℃的热板上加热30分钟，由此进行处理。进一步，在形成有黑矩阵、R色、G色的涂布膜的基板上，按照B色用涂布液厚度为20μm、狭缝喷嘴和基板之间的间隙为150μm、涂布速度为150mm/s的条件涂布B色用涂布液。对涂布20μm的涂布膜的基板通过30秒就能达到65Pa的真空干燥进行60秒的真空干燥后，进一步在100℃的热板上干燥10分钟。 [0226] 接着进行曝光、显影、剥离，仅在B像素部上残留厚度为2μm的B涂布膜，并在
230℃的热板上加热30分钟，由此进行处理。另外，G色用涂布液是用R色用涂布液将颜料变成颜料绿36，并以固形分浓度10％将粘度调整为5mPas的涂布液。B色用涂布液是用R色用涂布液将颜料变成颜料蓝15，并以固形分浓度10％将粘度调整为5mPas的涂布液。R、G、B色涂布时的处理时间都是60秒。另外，涂布质量如下，各颜色都没有缺点、干燥后对各颜色测量膜厚度，在去掉端部10mm的区域通过公式U＝(最大值-最小值)/(2×平均值)×100(％)计算出膜厚精度U时，基板行走方向和宽度方向上都是3％以下。 [0227] 最后，用溅射法使ITO(Indium Tin Oxide)附着。用该方法制造1000个彩色滤波器。所得到的彩色滤波器质量上没有缺点，具体为，从基板端部去掉10mm的产品区域上没有涂布不匀，色度也均匀，并且也没有清扫导致的颗粒缺陷等的缺陷。进一步，将该滤波器与形成有TFT阵列的基板重叠，在烤箱中边加压边以160℃的温度加热90分钟，由此固化密封剂。在该单元上注入液晶后，通过紫外线固化树脂封住液晶注入口。接着，将偏振光板粘贴在单元的两个玻璃基板的外侧上，进一步，将所得到的单元进行模块化，由此完成液晶显示器。所得到的液晶显示器是颜色浓度均匀且没有颗粒缺陷，质量上没有缺点。 [0228] 本发明能够利用于彩色液晶显示器用彩色滤波器和阵列基板、等离子体显示器用面板、光学滤波器等的基板上形成均匀且高质量的涂布膜的各种显示器用部件的制造上。

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