一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法
专利汇可以提供一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开一种二 氧 化 钛 太阳能 电池 减反射膜的制备方法，包括如下步骤：(1)对扩散炉抽 真空 ，保持炉内 温度 420℃；(2)沉积二氧化钛 薄膜 ，温度为460℃，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为8-15mL/min，氩气流量为100-120mL/min，溅射功率200-400瓦，溅射时间4-180min；(3)二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行 退火 处理。本发明得到的二氧化钛薄膜可以明显降低电池表面对光的反射，提高 太阳能电池 的光电转换效率；其折射率高和吸收率低，在玻璃封装的太阳能电池应用中优势明显；本发明制备方法简单，适合规模化生产。，下面是一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法专利的具体信息内容。
1.一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：
(1)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420℃；
(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460℃，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为8-15mL/min，氩气流量为100-120mL/min，溅射功率200-400瓦，溅射时间4-180min；
(3)二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理。
2.根据权利要求1所述的二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于所述的步骤(2)氧气流量为8-12mL/min，氩气流量为100-110mL/min。
3.根据权利要求2所述的二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于所述的步骤(2)氧气流量为10mL/min，氩气流量为100mL/min。
4.根据权利要求1所述的二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于所述的步骤(2)溅射时间50-100min。
5.根据权利要求4所述的二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于所述的步骤(2)溅射时间70min。
6.根据权利要求1所述的二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法，其特征在于所述的退火处理的条件为：温度为350℃，保温5min。
一种二氧化钛太阳能电池减反射膜的制备方法
技术领域
背景技术
发明内容
(1)对扩散炉抽真空，保持炉内温度420℃；
(2)沉积二氧化钛薄膜，温度为460℃，以氧气为反应气体、氩气为溅射气体，溅射靶是直径为8cm的钛靶，氧气流量为8-15mL/min，氩气流量为100-120mL/min，溅射功率200-400瓦，溅射时间4-180min；
(3)二氧化钛薄膜样品在氮气保护下进行退火处理。
具体实施方式
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
