一种真空镀膜装置专利检索-真空镀膜表面处理表面处理和涂层专利检索查询-专利查询网

一种 真空 镀膜装置

阅读：889发布：2020-05-12

专利汇可以提供一种真空镀膜装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括真空箱、镀膜箱、温度控制箱和操作屏，所述操作屏安装在镀膜箱前端上部，所述镀膜箱前端下部设置有进出门，所述镀膜箱内部装配有磁控靶、放置台和供电器，所述磁控靶安装在镀膜箱内的顶部，所述供电器共有两个且均连接在磁控靶底部，所述磁控靶底部的中间位置设置有对准头，所述放置台底部横放有滑槽，所述滑槽内通过两个滚轮固定有两个限位柱，所述真空箱和温度控制箱均通过导气管与镀膜箱相连接，所述真空箱上端设置有真空箱启动按钮，所述真空箱内安装有真空机，能够对传统的真空镀膜设备的镀膜位置进行改善，方便对需要镀膜的器件进行某一个位置的镀膜，而且整个设计合理，方便了日常的维护。，下面是一种真空镀膜装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种真空镀膜装置，其特征在于：包括真空箱(1)、镀膜箱(7)、温度控制箱(13)和操作屏(10)，所述操作屏(10)安装在镀膜箱(7)前端上部，所述镀膜箱(7)前端下部设置有进出门(8)，所述镀膜箱(7)内部装配有磁控靶(17)、放置台(24)和供电器(18)，所述磁控靶(17)安装在镀膜箱(7)内的顶部，所述供电器(18)共有两个且均连接在磁控靶(17)底部，所述磁控靶(17)底部的中间位置设置有对准头(19)，所述放置台(24)底部横放有滑槽(22)，所述滑槽(22)内通过两个滚轮(23)固定有两个限位柱(25)，所述真空箱(1)和温度控制箱(13)均通过导气管(5)与镀膜箱(7)相连接，所述真空箱(1)上端设置有真空箱启动按钮(4)，所述真空箱(1)内安装有真空机(2)，所述导气管(5)与温度控制箱(13)连接处设置有测温器(12)，所述温度控制箱(13)内设置有蒸发器(15)和储水层(14)，所述储水层(14)固定在蒸发器(15)顶部。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述镀膜箱(7)顶部安装有气压控制器(11)。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述镀膜箱(7)底部固定有减震板(9)。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述真空箱(1)与镀膜箱(7)连接的导气管(5)上设置有控制阀(6)，所述控制阀(6)与镀膜箱(7)相连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述真空箱(1)底部通过两个垫块(3)支撑。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述温度控制箱(13)侧面设置有拆装口(16)。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述镀膜箱(7)内横向放置有挡板(20)，所述挡板(20)中间位置开有通孔(21)。

说明书全文

一种真空 镀膜装置

技术领域

[0001] 本实用新型涉及镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜装置。

背景技术

[0002] 真空镀膜是将真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，从而形成一层薄膜的技术。在进行真空镀膜时，对镀膜的位置控制十分重要，传统的真空镀膜机在镀膜时都是对器件的全身位置进行镀膜，不能根据实际需要对某一位置进行镀膜，这就给使用者带来很大的不便，经常需要用物体遮住不需要镀膜的区域，而且检修困难，一旦发生损坏，装拆过程十分复杂，于是我们设计一种真空镀膜装置就显得十分必要了。实用新型内容

[0003] 针对以上问题，本实用新型提供了一种真空镀膜装置，能够对传统的真空镀膜设备的镀膜位置进行改善，方便对需要镀膜的器件进行某一个位置的镀膜，而且整个设计合理，方便了日常的维护，可以有效解决背景技术中的问题。

[0004] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜装置，包括真空箱、镀膜箱、温度控制箱和操作屏，所述操作屏安装在镀膜箱前端上部，所述镀膜箱前端下部设置有进出门，所述镀膜箱内部装配有磁控靶、放置台和供电器，所述磁控靶安装在镀膜箱内的顶部，所述供电器共有两个且均连接在磁控靶底部，所述磁控靶底部的中间位置设置有对准头，所述放置台底部横放有滑槽，所述滑槽内通过两个滚轮固定有两个限位柱，所述真空箱和温度控制箱均通过导气管与镀膜箱相连接，所述真空箱上端设置有真空箱启动按钮，所述真空箱内安装有真空机，所述导气管与温度控制箱连接处设置有测温器，所述温度控制箱内设置有蒸发器和储水层，所述储水层固定在蒸发器顶部。

[0005] 作为本实用新型一种优选的技术方案，所述镀膜箱顶部安装有气压控制器。

[0006] 作为本实用新型一种优选的技术方案，所述镀膜箱底部固定有减震板。

[0007] 作为本实用新型一种优选的技术方案，所述真空箱与镀膜箱连接的导气管上设置有控制阀，所述控制阀与镀膜箱相连接。

[0008] 作为本实用新型一种优选的技术方案，所述真空箱底部通过两个垫块支撑。

[0009] 作为本实用新型一种优选的技术方案，所述温度控制箱侧面设置有拆装口。

[0010] 作为本实用新型一种优选的技术方案，所述镀膜箱内横向放置有挡板，所述挡板中间位置开有通孔。

[0011] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：能够对传统的真空镀膜设备的镀膜位置进行改善，方便对需要镀膜的器件进行某一个位置的镀膜，而且整个设计合理，方便了日常的维护，使用时，可以利用真空箱启动按钮启动真空箱，真空机工作后通过控制阀将镀膜箱进行真空处理，从进出门将需要镀膜的器件放在放置台上，将滚轮在横槽当中做必要的滑动，来调整限位柱的位置，来控制镀膜器件的加工位置，通过控制屏启动温度控制器内的蒸发器对储水层进行蒸发，测温器测得蒸发的气体温度，热气进入到镀膜箱内，通过供电器启动磁控靶，通过对准头对器件进行镀膜，通孔防止对准头的对准位置出现偏差，镀膜效果好，设计新颖，实用性强。附图说明

[0012] 图1为本实用新型结构示意图；

[0013] 图2为本实用新型镀膜箱内部示意图。

[0014] 图中：1-真空箱；2-真空机；3-垫块；4-真空箱启动按钮；5-导气管；6-控制阀；7-镀膜箱；8-进出门；9-减震板；10-操作屏；11-气压控制器；12-测温器；13-温度控制箱；14-储水层；15-蒸发器；16-拆装口；17-磁控靶；18-供电器；19-对准头；20-挡板；21-通孔；22-滑槽；23-滚轮；24-放置台；25-限位柱。

具体实施方式

[0015] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

[0016] 实施例：

[0017] 请参阅图1和图2，本实用新型提供一种技术方案：一种真空镀膜装置，包括真空箱1、镀膜箱7、温度控制箱13和操作屏10，操作屏10安装在镀膜箱7前端上部，镀膜箱7前端下部设置有进出门8，镀膜箱7内部装配有磁控靶17、放置台24和供电器18，磁控靶17安装在镀膜箱7内的顶部，对器件进行镀膜，供电器18共有两个且均连接在磁控靶17底部，磁控靶17底部的中间位置设置有对准头19，对准镀膜位置，放置台24底部横放有滑槽22，滑槽22内通过两个滚轮23固定有两个限位柱25，对镀膜的位置进行限制，真空箱1和温度控制箱13均通过导气管5与镀膜箱7相连接，真空箱1上端设置有真空箱启动按钮4，真空箱1内安装有真空机2，导气管5与温度控制箱13连接处设置有测温器12，温度控制箱13内设置有蒸发器15和储水层14，储水层14固定在蒸发器15顶部，控制镀膜箱7的镀膜温度，镀膜效果更佳，镀膜箱
7顶部安装有气压控制器11，控制镀膜箱7内部的气压，镀膜箱7底部固定有减震板9，起到减震作用，真空箱1与镀膜箱7连接的导气管5上设置有控制阀6，控制阀6与镀膜箱7相连接，抽出镀膜箱内的气体，维持其真空状态，真空箱1底部通过两个垫块3支撑，温度控制箱13侧面设置有拆装口16，方便对温度控制箱13的检修，镀膜箱7内横向放置有挡板20，挡板20中间位置开有通孔21，防止对准头19对准的位置出现偏差。

[0018] 本实用新型的工作原理：使用时，可以利用真空箱启动按钮4启动真空箱1，真空机2工作后通过控制阀6将镀膜箱7进行真空处理，从进出门8将需要镀膜的器件放在放置台24上，将滚轮23在横槽22当中做必要的滑动，来调整限位柱25的位置，来控制镀膜器件的加工位置，通过控制屏10启动温度控制箱13内的蒸发器15对储水层14进行蒸发，测温器12测得蒸发的气体温度，热气进入到镀膜箱7内，利用供电器18启动磁控靶17，通过对准头19对器件进行镀膜，通孔21防止对准头19对准的位置出现偏差，镀膜效果好，设计新颖，实用性强。

[0019] 以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

标题	发布/更新时间	阅读量
一种真空镀膜装置	2020-05-11	580
真空镀膜机	2020-05-12	976
一种卷绕式铝－锌铝真空镀膜机	2020-05-11	702
一种保护膜的真空镀膜方法	2020-05-11	625
玻璃仿古金属真空镀膜及其工艺	2020-05-11	263
真空镀膜机	2020-05-12	7
一种轮毂真空镀膜装置	2020-05-13	112
一种GJD真空镀膜机	2020-05-12	632
一种真空镀膜设备	2020-05-12	307
一种真空镀膜夹具	2020-05-12	129

一种真空镀膜装置

一种真空镀膜装置

技术领域

背景技术

具体实施方式

该功能需要专业版企业版VIP权限，您可以：