低温真空镀膜装置
阅读：551发布：2020-05-13
专利汇可以提供低温真空镀膜装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型公开一种低温 真空 镀 膜 装置，该装置一 真空镀膜 腔体与过滤 阴极 离子真空镀膜源连接，真空镀膜腔体设有分子真空 泵 ，并在真空镀膜腔体设有离子束清洗源，清洗被镀 工件 ，真空镀膜腔体 温度 低于800C，被镀工件塑料制品，或 橡胶 制品放置于真空镀膜腔体内，用过滤阴极离子真空镀膜源对其镀膜，膜源的粒子方向能调整，可从不同 角 度对准被镀工件进行镀膜。本实用新型的优点是：被镀工件即使在小于800C温度条件下，仍有足够的镀层厚度，而且耐磨、耐 腐蚀 ，并且能够镀制小型、细薄的塑料制品而不使产品 变形 ，特别适用于某些精细加工行业。，下面是低温真空镀膜装置专利的具体信息内容。
低温真空镀膜装置
技术领域
[0003] 为解决前述存在的问题，本实用新型提供一种低温真空镀膜装置，该装置一真空镀膜腔体与过滤阴极离子真空镀膜源连接，真空镀膜腔体设有分子真空泵，并在真空镀膜0
腔体设有离子束清洗源，清洗被镀工件，真空镀膜腔体温度低于80C，被镀工件放置于真空镀膜腔体内，用过滤阴极离子真空镀膜源对其镀膜，膜源的粒子方向是可调整的，可从不同的角度对被镀工件进行镀膜。
腔体设有离子束清洗源，清洗被镀工件，真空镀膜腔体温度低于80C，被镀工件放置于真空镀膜腔体内，用过滤阴极离子真空镀膜源对其镀膜，膜源的粒子方向是可调整的，可从不同的角度对被镀工件进行镀膜。
[0004] 被镀工件是金属制品、或是非金属制品、或是塑料制品、或是橡胶制品。
[0006] 附图1是本实用新型主视图；
[0007] 附图2是附图1的侧视图。
具体实施方式
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