专利汇可以提供连续真空镀膜装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型为一种连续 真空 镀 膜 装置,包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室,相邻的两室之间通过真空 锁 相连,在每个室的室壁上安装有分子 泵 ,还设有用于承载和传输 工件 的传输机构。本实用新型中的多个室及镀膜室是独立并通过真空锁相连的,可以根据工件货品的需要灵活设置镀膜室的个数及不同靶材和不同镀膜方式的镀膜室,从而可以采用最佳方式进行镀膜。本实用新型结构设计合理,生产功效高,能够实现工件上一层、二层或多层复合膜的连续制备并实现膜厚的实时监控,尤其对于两面均需镀膜的工件,镀膜效率更是得到大幅度提高。,下面是连续真空镀膜装置专利的具体信息内容。
1.一种连续真空镀膜装置,其特征在于:包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室,相邻的两室之间通过真空锁相连,在每个室的室壁上安装有分子泵;还设有用于承载和传输工件的传输机构。
2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜装置,其特征在于:所述镀膜室设有一至数个,在每个镀膜室之后均设有一个过渡室,它们依次相接并由真空锁连接。
3.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置,其特征在于:在所述清洗室内设有一个、两个或多个离子源。
4.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置,其特征在于:在所述镀膜室或过渡室设有膜厚实时监控探头。
5.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置,其特征在于:所述传输机构包括托轮、载片车和传动齿轮,在每个室内在传输方向上设有一组托轮和一组传动齿轮,安装托轮的托轮座固定在每个室的室壁上,所述载片车载于托轮上,所述传动齿轮与载片车上的传动齿条啮合。
6.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置,其特征在于:在每个室的室壁上设有一至数个工艺输入孔。
7.根据权利要求1或2所述的连续真空镀膜装置,其特征在于:在入片室的前端和出片室的后端设有门。
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