矩形真空插板阀
专利汇可以提供矩形真空插板阀专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种矩形 真空 插板 阀 ，使用在 半导体 行业中的真空与大气的管路之间，用于阻隔或打通所输送的 电子 元器件，它是由 阀体 外壳 (14)、阀 门 轴(1)及阀体(17)所组成，其特征是在阀门轴(1)的下部安装有阀体(17)及矩形阀板(7)，当转动把手(13)带动阀门轴(1)转动，在阀门轴(1)的下部半圆偏心槽(B)的作用下，使矩形阀板(7)向左位移，而封堵住要封闭的矩形通道口，当反向转动把手(13)并上拉把手(13)便可打开被封闭的矩形通道口。本 发明 操作简单、结构简单、密封好、另件的通过率较好、可靠性高。，下面是矩形真空插板阀专利的具体信息内容。
1、一种矩形真空插板阀是由阀体外壳(14)、安装有操作把手(13)的阀门轴(1) 及阀体(17)所组成，其特征是上述阀门轴(1)的上部是通过阀体外壳(14)的上孔及 密封圈(18)、垫圈(4)、压盖(2)及螺钉(8)安装在阀体外壳(14)上，在上述阀门轴(1)的 下部开有定位槽(A)，通过定位螺钉(16)安装有阀体(17)，同时在阀体(17)的左侧通 过弹簧(10)、垫圈(11)及螺钉(12)安装有矩形阀板(7)，在阀板(7)的外侧安装有密封 圈(5)，并通过压板(6及螺钉(9)来固定该密封圈(5)，同时在上述阀门轴(1)的下部还 设有半圆偏心槽(B)，当顺时针转动把手(13)时，在半圆偏心槽(B)段及弹簧(10)的 作用下能使阀体(17)和阀板(7)之间产生相对移动和复位，使阀板(7)向左移动使固 定在阀板(7)上的密封圈(5)压紧要密封矩形通道口，而达到阀体两侧封闭的作用。
技术领域：
本发明是关于阀门，特别是关于在半导体行业的真空系统中切断或接通不 同的真空腔室所使用的阀门。
背景技术：
现在通用的插板阀，其阀口的形状一般为圆形，而且整个阀体的尺寸都比 较大，而在半导体行业中，这样的阀门使用在真空与大气之间，这里希望阀门 的口径尽量的小，另外穿梭于阀门之间的零件一般是扁平的硅片、CD碟、硬盘 等，这样圆形口阀门在这里就不适用了。
发明内容：
本发明的目的就是要解决上述现有技术存在的问题，而提供一种矩形真空 插板阀。
本发明的技术解决方案是由阀体外壳(14)、安装有操作把手(13)的阀门 轴(1)及阀体(17)所组成，其特征是上述阀门轴(1)的上部是通过阀体外 壳(14)的上孔及密封圈(18)、垫圈(4)、压盖(2)及螺钉(8)安装在阀 体外壳(14)上，在上述阀门轴(1)的下部开有定位槽(A)，通过定位螺钉(1 6)安装有阀体(17)，同时在阀体(17)的左侧通过弹簧(10)、垫圈(11)及 螺钉(12)安装有矩形阀板(7)，在阀板(7)的外侧安装有密封圈(5)，并通 过压板(6)及螺钉(9)来固定该密封圈(5)，同时在上述阀门轴(1)的下部 还设有半圆偏心槽(B)，当顺时针转动把手(13)时，在半圆偏心槽(B)段及 弹簧(10)的作用下能使阀体(17)和阀板(7)之间产生相对移动和复位，使 阀板(7)向左移动使固定在阀板(7)上的密封圈(5)压紧要密封矩形通道口， 而达到阀体两侧封闭的作用。
另外密封圈(3)及密封圈(15)分别用于安装矩形真空插板阀左右两个腔 体相连的法兰面的密封。
采用本发明的矩形真空插板阀，结构简单、可靠，大大减小了阀体尺寸， 而且密封良好，通过该阀门的零部件通过率高，而且可靠性好。
附图说明：
图1是本发明的主剖视结构图。
图2是本发明图1中带有局部剖视的俯视图。
图3是本发明图1的左视图。
具体实施方式：
由附图1至3可知，把手13安装在阀门轴1上；该阀门轴1通过压盖2、 螺钉8、垫圈4和氟橡胶密封圈18安装在阀体外壳14上，以保证阀门轴1上下 运动和转动时不漏气；压片6被螺钉9固定在阀板7上，氟橡胶密封圈5被压 片6固定在阀板7上；阀门轴1的下部穿过阀体17，定位螺钉16将阀体17固 定在阀门轴1的下部；而螺钉12、弹簧10和垫圈11将阀体17和阀板7之间连 接起来，在转动阀门轴1时，由于在其底部设有半圆偏心槽B而使阀体17及阀 板7之间在弹簧10的共同作用下产生位移及复位。
当关闭阀门时，按下把手13，带动阀门杆1、阀体17、阀板7、压片6下 移至底部，再顺时针转动把手13九十度，利用阀门杆1的下部偏心槽B的作用， 将阀板7和压片6及密封圈5向左位移，使密封圈5压紧在要密封的矩形通道 口，而使两侧的真空腔体被隔开。
当打开阀门时，先将把手13逆时针转动九十度，由于弹簧10的弹性使阀 板7右移复位以减小密封圈5与被封闭的矩形通道口的摩擦，并拉起把手13， 带动阀门轴1、阀体17、阀板7上移，实现插板阀两侧腔体的连通。
综上所述本领域的技术人员在不超出本发明权利要求保护范围的前提下做 出各种改进是完全可能的。
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