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真空配管用夹具

阅读:466发布:2021-04-12

专利汇可以提供真空配管用夹具专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及 真空 配管用夹具,设有在 半导体 制造工序时用于维持主装备内的真空的多个真空配管线,不因真空配管线产生持续振动而松脱,可维持气密,使真空配管的连接稳固。真空配管用夹具用于使第一配管的第一突缘与第二配管的第二突缘以隔着中心环相 接触 的状态能分离地固定,包括沿内径形成第一突缘和第二突缘的第一插入槽的第一夹具。第二夹具沿内径形成第一突缘和第二突缘的第二插入槽。 连杆 的两端能转动地与第一夹具和第二夹具的自由端 铰链 结合。 锁 紧部件的一端与第一夹具铰链结合,另一端能分离地与第二夹具结合。第二夹具的自由端形成有固定台阶部。一个以上的辅助固定部件在第一夹具和第二夹具的外周面的一侧形成出入孔,且能通过出入孔出入。,下面是真空配管用夹具专利的具体信息内容。

1.一种真空配管用夹具,用于使第一配管的第一突缘与第二配管的第二突缘以隔着中心环相接触的状态能够分离地进行固定,其特征在于,
包括:
半圆形的第一夹具,沿着内径形成上述第一突缘和第二突缘的第一插入槽,半圆形的第二夹具,沿着内径形成上述第一突缘和第二突缘的第二插入槽,连杆,两端能够转动地与上述第一夹具和第二夹具的自由端铰链结合,
紧部件,一端与上述第一夹具铰链结合,而另一端能够分离地与第二夹具相结合,以及
一个以上的辅助固定部件,在上述第一夹具和第二夹具的外周面的一侧贯通形成出入孔,上述辅助固定部件能够通过上述出入孔出入;
上述锁紧部件包括螺栓部和螺母部,上述螺栓部的一端能够转动地与上述第一夹具铰链结合,且上述螺栓部在外周面形成螺纹,并能够分离地与上述第二夹具的固定台阶部相结合,上述螺母部沿内径的长度方向贯通形成螺纹孔,以与上述螺栓部的外周面螺纹结合,且上述螺母部能够分离地与上述第二夹具的固定槽相结合;
在上述螺母部的外周面形成第一齿轮部,在位于与上述第一齿轮部相应的位置的第二夹具形成工作室,在上述工作室还设有上述螺母部的防松脱部件,在第二夹具的侧壁以与上述工作室相连通的方式形成垂直引导孔,在上述第二夹具的自由端形成具有固定槽的固定台阶部;
在上述第一夹具和第二夹具的出入孔形成母螺纹,上述辅助固定部件形成有公螺纹,以能够与上述出入孔进行螺纹结合,在上述辅助固定部件的前端设有橡胶材质的缓冲帽。
2.根据权利要求1所述的真空配管用夹具,其特征在于,在上述第一插入槽和第二插入槽的两侧内壁形成一个以上的接触缓冲槽。
3.根据权利要求2所述的真空配管用夹具,其特征在于,在上述第二夹具,从上述固定台阶部起连续形成防脱离槽。
4.根据权利要求1所述的真空配管用夹具,其特征在于,在上述螺栓部结合有两侧具有垫圈的第一弹簧,使得上述螺母部能够在上述第二夹具的固定槽被弹性支撑
5.根据权利要求4所述的真空配管用夹具,其特征在于,上述螺栓部的一端呈六形状。
6.根据权利要求4所述的真空配管用夹具,其特征在于,还设有保护托架,该保护托架的一端能够转动地与上述第一夹具的自由端铰链结合,而另一端能够分离地与第二夹具结合,用于防止上述第一弹簧及垫圈向外部露出。
7.根据权利要求6所述的真空配管用夹具,其特征在于,上述保护托架由透明的塑料材质形成,以能够从外部确认上述第一弹簧和垫圈的结合状态和松脱状态。
8.根据权利要求1所述的真空配管用夹具,其特征在于,上述防松脱部件包括防逆向旋转件和第二弹簧,卡定突起以依次与上述螺母部的第一齿轮部相接触的方式向上述防逆向旋转件的一侧突起,且上述防逆向旋转件的一端能够在垂直引导孔内上下转动地在上述工作室的内部铰链结合,上述第二弹簧设在工作室内,始终向上述防逆向旋转件的铰链结合的部位推动上述防逆向旋转件,来与上述螺母部的第一齿轮部相接触。
9.根据权利要求8所述的真空配管用夹具,其特征在于,在上述第二夹具设有朝向上述工作室的方向进行前进、后退工作的球塞,当上述螺母部按顺时针方向旋转时,上述球塞成为从上述防逆向旋转件分隔的状态,而当上述螺母部按逆时针方向旋转时,上述球塞按压上述防逆向旋转件以防止移动。
10.根据权利要求9所述的真空配管用夹具,其特征在于,上述球塞包括:
球塞本体,与上述连杆平,能够前进、后退地与第二夹具进行螺纹结合,在该球塞本体的内部部分地形成螺纹;
第三弹簧,插入于上述球塞本体的内部;以及
固定球,借助上述第三弹簧的弹按压上述防逆向旋转件将其固定以防止移动。

说明书全文

真空配管用夹具

技术领域

[0001] 本发明涉及一种真空配管用夹具,更详细地,涉及如下的改良的真空配管用夹具:设有在半导体制造工序时用于维持主装备内的真空状态的多个真空配管线,这些真空配管线产生持续性的振动,不会因这种振动发生松脱现象,可维持气密状态,同时能够使真空配管的连接状态稳固维持。

背景技术

[0002] 通常,半导体制造工序大体由前工序(制造工序)和后工序(封装工序)构成。前工序中,在各种处理腔内,在晶片(Wafer)上蒸薄膜,并对所蒸镀的薄膜进行选择性刻蚀,通过反复执行这些过程来加工特定的图案,从而制造半导体芯片(Chip)。并且,后工序中,单独分离出在前工序中制造的芯片之后,与引线框架结合来封装为成品。
[0003] 此时,在晶片上蒸镀薄膜或对在晶片上蒸镀的薄膜进行刻蚀的工序在处理腔内使用有害气体在高温条件下执行。在执行这种工序的期间,处理腔的内部会大量产生各种可燃性气体和包括腐蚀性杂质及有毒成分的气体等。即,在处理腔的内部只有有害气体的约30%蒸镀在晶片的表面,一部分未反应的气体则排出。
[0004] 因此,在用于使处理腔成为真空状态的真空的后端设置用于将从处理腔排出的气体净化之后向大气放出的洗涤器(scrubber)。
[0005] 这种真空配管线以连通方式与真空泵相连接,借助真空泵的运转来维持真空配管线内的真空状态,随着这种真空泵的运转而产生的振动沿着真空配管线被传递,从而真空配管线持续振动。
[0006] 但是,这种现有的真空配管用夹具随着真空配管持续振动,紧固螺母的紧固状态渐渐松脱致使夹具松驰,而存在真空配管的气密的连接状态被解除的问题。

发明内容

[0007] 本发明是用于解决如上所述的问题而提出的,本发明的目的在于,提供一种如下的真空配管用夹具:利用包括弹簧和保护托架在内的多重锁紧部件来固定两个配管的突缘,从而能够维持更加牢固的结合状态,借助防松脱部件能够防止锁紧部件因外部的冲击等而自动松脱。
[0008] 为了达成上述目的,本发明提供一种真空配管用夹具,用于使第一配管的第一突缘与第二配管的第二突缘以隔着中心环相接触的状态能够分离地进行固定,包括:半圆形的第一夹具,沿着内径形成上述第一突缘和第二突缘的第一插入槽,半圆形的第二夹具,沿着内径形成上述第一突缘和第二突缘的第二插入槽,连杆,两端能够转动地与上述第一夹具和第二夹具的自由端铰链结合,锁紧部件,一端与上述第一夹具铰链结合,而另一端能够分离地与第二夹具相结合,以及一个以上的辅助固定部件,在上述第一夹具和第二夹具的外周面的一侧贯通形成出入孔,上述一个以上的辅助固定部件能够通过上述出入孔出入;上述锁紧部件包括螺栓部和螺母部,上述螺栓部的一端能够转动地与上述第一夹具铰链结合,且上述螺栓部在外周面形成螺纹,并能够分离地与上述第二夹具的固定台阶部相结合,上述螺母部沿内径的长度方向贯通形成螺纹孔,以与上述螺栓部的外周面螺纹结合,且上述螺母部能够分离地与上述第二夹具的固定槽相结合;在上述螺母部的外周面形成第一齿轮部,在位于与上述第一齿轮部相应的位置的第二夹具形成工作室,在上述工作室还设有上述螺母部的防松脱部件,在第二夹具的侧壁以与上述工作室相连通的方式形成垂直引导孔,在上述第二夹具的自由端形成具有固定槽的固定台阶部。
[0009] 在此,优选地,在上述第一插入槽和第二插入槽的两侧内壁形成一个以上的接触缓冲槽。
[0010] 优选地,在上述第二夹具,从上述固定台阶部起连续形成防脱离槽。
[0011] 优选地,在上述第一夹具和第二夹具的出入孔形成母螺纹,上述辅助固定部件由公螺纹形成,以能够与上述出入孔进行螺纹结合,在上述辅助固定部件的前端设有橡胶材质的缓冲帽,在上述螺栓部结合有两侧具有垫圈的第一弹簧,使得上述螺母部能够在上述第二夹具的固定槽被弹性支撑
[0012] 优选地,特征在于,上述螺栓部的一端呈六形状。
[0013] 优选地,在真空配管用夹具还设有保护托架,该保护托架的一端能够转动地与上述第一夹具的自由端铰链结合,而另一端能够分离地与第二夹具结合,用于防止上述第一弹簧及垫圈向外部露出。
[0014] 优选地,上述保护托架由透明的塑料材质形成,以能够从外部确认上述第一弹簧和垫圈的结合状态和松脱状态。
[0015] 优选地,上述防松脱部件包括防逆向旋转件和第二弹簧,卡定突起以依次与上述螺母部的第一齿轮部相接触的方式向上述防逆向旋转件的一侧突起,且上述防逆向旋转件的一端能够在垂直引导孔内上下转动地在上述工作室的内部铰链结合,上述第二弹簧设在工作室内,始终向上述防逆向旋转件的铰链结合的部位推动上述防逆向旋转件,来与上述螺母部的第一齿轮部相接触。
[0016] 优选地,在上述第二夹具设有朝向上述工作室的方向进行前进、后退工作的球塞(ball plunger),当上述螺母部按顺时针方向旋转时,上述球塞成为从上述防逆向旋转件分隔的状态,而当上述螺母部按逆时针方向旋转时,上述球塞按压上述防逆向旋转件以防止移动。
[0017] 优选地,上述球塞包括:球塞本体,与上述连杆平,能够前进、后退地与第二夹具进行螺纹结合,在该球塞本体的内部部分地形成螺纹;第三弹簧,插入于上述球塞本体的内部;以及固定球,借助上述第三弹簧的弹按压上述防逆向旋转件将其固定以防止移动。
[0018] 优选地,对上述第一夹具和第二夹具中的一个夹具进行激光打标处理。
[0019] 优选地,上述连杆130设有多个。
[0020] 根据本发明的真空配管用夹具,第一配管的第一突缘与第二配管的第二突缘相向接触。接着,利用第一夹具和第二夹具来按压第一突缘和第二突缘,并借助锁紧部件来固定。此时,就锁紧部件而言,当螺母部与螺栓部螺纹结合时,第一次由弹簧弹力支撑,第二次借助防松脱部件来防止螺母部的松脱,第三次借助保护托架来包住锁紧部件以维持更牢固的结合状态。附图说明
[0021] 图1是本发明的真空配管用夹具的照片。
[0022] 图2是表示在图1中将保护托架从锁紧部件掀开的状态的照片。
[0023] 图3是表示在图1中将第一夹具与第二夹具相对于对方展开的状态的照片。
[0024] 图4是表示在图3中分解第一配管、第二配管及锁紧部件的状态的照片。
[0025] 图5是本发明的真空配管用夹具的立体图。
[0026] 图6是图5的主视图。
[0027] 图7是图5的俯视图。
[0028] 图8是图5的右侧视图。
[0029] 图9是将沿着图6的A-A线切开的状态的图。
[0030] 图10是沿着在5中第一齿轮部及第二夹具垂直切开的状态的图。
[0031] 图11是借助锁紧部件来固定第一夹具和第二夹具的状态的图。
[0032] 图12(a)、图12(b)作为在图11中的“B”部分的局部放大图,图12(a)表示在第二夹具插入球塞之前的状态,图12(b)表示在第二夹具插入球塞的状态。
[0033] 图13(a)、图13(b)作为在11中的“B”部分的局部放大图,图13(a)表示防逆向旋转件上升的状态,图13(b)表示防逆向旋转件下降的状态。
[0034] 图14和图15是表示本发明的适用辅助固定部件的真空配管用夹具的图,图14表示插入辅助固定部件之前,图15表示插入辅助固定部件之后。

具体实施方式

[0035] 下面,参照附图,通过实施例来对本发明的内容进行详述。下述实施例仅仅是示例性的,本发明的权利范围不局限于此是理所当然的。
[0036] 参照图1至图8,本发明为真空配管用夹具100,该真空配管用夹具100使第一配管P10的第一突缘P12与第二配管P20的第二突缘P22以隔着中心环CR相接触的状态可分离地进行固定。中心环CR具有由金属材质形成的部分和该部分外侧的由橡胶材质形成的部分。上述由橡胶材质形成的部分用于在第一突缘P12与第二突缘P22的接触面确保气密。
[0037] 真空配管用夹具100包括第一夹具110和第二夹具120。沿着第一夹具110的内径形成第一突缘P12和第二突缘P22的第一插入槽112。优选地,第一夹具110呈半圆形。
[0038] 在第二夹具120形成第一突缘P12和第二突缘P22的第二插入槽122。优选地,与第一夹具110相同,第二夹具120呈半圆形。固定台阶部124形成于第二夹具120的自由端。优选地,在第一插入槽112和第二插入槽122的两侧内壁形成一个以上的接触缓冲槽114。接触缓冲槽114使得第一突缘P12、第二突缘P22与第一插入槽112、第二插入槽122的接触面积减少至最大,从而可以提高夹紧力。优选地,防脱离槽128从固定台阶部124起连续形成在第二夹具120。防脱离槽128可以防止与螺栓部142螺纹结合的螺母部144自行脱落。即,如果螺母部144不从防脱离槽128后退某种程度,则不容易脱落,因而第一夹具110难以转动。
[0039] 连杆130的两端可转动地与第一夹具110和第二夹具120的自由端铰链结合。
[0040] 锁紧部件的一端与第一夹具110铰链结合,而另一端可分离地与第二夹具120相结合。锁紧部件包括螺栓部142,该螺栓部142的一端可转动地与第一夹具110铰链结合,螺栓部142在外周面形成螺纹,且可分离地与上述第二夹具120的固定台阶部124相结合。螺母部144沿内径的长度方向贯通形成螺纹孔,以与螺栓部142的外周面螺纹结合,且螺母部144可分离地与第二夹具120的固定槽126结合。优选地,在螺栓部142结合有两侧具有垫圈的第一弹簧148,以可以使螺母部144在第二夹具120的固定槽126被弹性支撑。优选地,螺栓部142的一端呈六角形状。
[0041] 参照图14至图15,在第一夹具110和第二夹具120的外周面一侧贯通形成出入孔H,设有可以通过出入孔H出入的一个以上的辅助固定部件SF。在第一夹具110和第二夹具120的出入孔H形成母螺纹,辅助固定部件SF由公螺纹形成,以可以与出入孔H螺纹结合,同时在辅助固定部件SF前端设有橡胶材质的缓冲帽BC。
[0042] 保护托架150的一端可转动地与第一夹具110的自由端铰链结合,而另一端可分离地与第二夹具120相结合,用于防止第一弹簧148及垫圈146向外部露出。在此,保护托架150以第一夹具110的铰链结合的部分为中心转动,并可分离地以强行插入方式与第二夹具120相结合。尤其,由透明的塑料材质形成保护托架150,以便从外部确认第一弹簧148及垫圈146的结合状态和松脱状态。此时,一旦确认到第一弹簧148及垫圈146的松脱,工作人员就可执行拧紧工作。
[0043] 在螺母部144的外周面形成第一齿轮部145。工作室129形成于与第一齿轮部145的相应的位置的第二夹具120。防松脱部件设在第二夹具120的工作室129。垂直引导孔129a以与工作室129相连通的方式设在第二夹具120的侧壁。
[0044] 防松脱部件包括防逆向旋转件150及第二弹簧164。
[0045] 卡定突起162以依次与螺母部144的第一齿轮部145相接触的方式向防逆向旋转件150的一侧突出,防逆向旋转件150的一端可在垂直引导孔129a内上下转动地在工作室129的内部铰链结合。
[0046] 第二弹簧164设在工作室129的内部,始终向防逆向旋转件150的铰链结合的部位推动防逆向旋转件150,来与螺母部144的第一齿轮部145接触。
[0047] 球塞170以朝向工作室129的方向进行前进、后退工作的方式设在第二夹具120。当螺母部144按顺时针方向旋转时,球塞170成为从防逆向旋转件150分隔的状态,而当螺母部144按逆时针方向旋转时,球塞170按压防逆向旋转件150以防止移动。
[0048] 球塞170包括球塞本体172、第三弹簧174和固定球176。球塞本体172与连杆130水平,可以前进、后退地与第二夹具120螺纹结合,以,在球塞本体172的内部部分地形成螺纹。第三弹簧174插入于球塞本体172的内部。固定球176借助第三弹簧174的弹力按压防逆向旋转件150将其固定以防止移动。
[0049] 可对第一夹具110和第二夹具120中的一个夹具进行激光打标处理。这可以预防在外部表面附着商标等后因摩擦而消除等问题。
[0050] 上述连杆130可设有多个。由此,可以防止第一夹具110和第二夹具120以多个连杆130为中心弯折。
[0051] 下面,参照附图对具有上述结构的本发明的真空配管用夹具进行详细说明。
[0052] 再参照图1至图8,第一配管P10的第一突缘P12和第二配管P20的第二突缘P22隔着中心环CR互相紧贴。在此状态下,将互相紧贴的第一突缘P12和第二突缘P22插入并结合于第二夹具120的第二插入槽122。
[0053] 接着,第二夹具120以与第一夹具110铰链结合的部位为中心转动,来使第一夹具110转动,以使互相结合的第一突缘P12和第二突缘P22插入于第一插入槽112。
[0054] 之后,螺栓部142以第一夹具110的铰链结合的部位为中心转动。此时,螺栓部142插入并固定于在第二夹具120的固定台阶部124形成的固定槽126。在此,第一弹簧148和垫圈146位于固定台阶部124与第一夹具110的自由端之间。与此同时,螺栓部142插入于在第二夹具120形成的防脱离槽128。
[0055] 在此状态下,工作人员利用扳手等工具在螺栓部142拧紧螺母部144使螺母部144向防脱离槽128内移动。从而,第一夹具110与第二夹具120互相拉拽拧紧。此时,因螺母部144的拧紧,第一弹簧148成为压缩状态。工作人员继续拧紧螺母部144,直到螺母部144不再被拧紧。这样一来,第一配管P10的第一突缘P12和第二配管P20的第二突缘P22固定紧贴,从而维持即使受到振动等外部的冲击也能牢固结合的状态。
[0056] 在此,参照图10和图11,当螺母部144旋转时,防松脱部件依次与在第二夹具120形成的第一齿轮部145相接触。是设在第二夹具120的侧壁以与第二夹具120工作室129相连通的方式形成垂直引导孔129a。
[0057] 在此过程中,防逆向旋转件150的卡定突起162依次与螺母部144的第一齿轮部145相接触。此时,防逆向旋转件150在工作室129的内部以铰链结合的部位为中心转动,从而防逆向旋转件150的一端在垂直引导孔129a内上下转动。
[0058] 尤其,设在工作室129内的第二弹簧164始终向防逆向旋转件150的铰链结合的部位推动该防逆向旋转件150,来与螺母部144的第一齿轮部145接触。
[0059] 另一方面,参照图12(a)、图12(b)及图13(a)、图13(b),设在第二夹具120的球塞170朝向工作室129的方向前进、后退。即,当螺母部144按顺时针方向旋转时,球塞170成为从防逆向旋转件150分隔的状态,而当螺母部144按逆时针方向旋转时,按压防逆向旋转件150而不移动。
[0060] 球塞170的球塞本体172与连杆130水平。球塞170以可以前进、后退的的方式与第二夹具120螺纹结合。此时,固定球176借助插入于球塞本体172的内部的第三弹簧174的弹力按压防逆向旋转件150将其固定以防止移动。与此相反,使螺母部144旋转自如时,使球塞本体172从第二夹具120后退,使固定球176不与防逆向旋转件150相接触。
[0061] 最后,使保护托架150以第一夹具110的铰链结合的部位为中心转动,并以强行插入方式与第二夹具120相结合。一旦成为该状态,借助保护托架150来包住保护第一弹簧148、垫圈146、螺母部144,以防止从外部看到。即,借助第一弹簧148的弹力来第一次防止螺母部144容易从螺栓部142脱落,同时,借助保护托架150进行第二次防止。
[0062] 此后,解除第一配管P10的第一突缘P12与第二配管P20的第二突缘P22的结合状态的情况下,按与上述的方向相反的方向旋转螺母部144。接着,转动螺母部144,以使其从防脱离槽128和固定槽126脱离。其结果,第一夹具110和第二夹具120可以互相打开,从而可以解除第一配管的第一突缘P12和第二配管P20的第二突缘P22的结合状态。
[0063] 另一方面,重新参照图14和图15,在第一夹具110和第二夹具120的出入孔H插入并结合辅助固定部件SF。这样一来,通过按压作为互相结合的第一配管P10的第一突缘P12和第二配管P20的第二突缘P22的结合部位的中心环CR部位来牢固固定,以防止移动(参照图14和图15)。此时,在第一夹具110和第二夹具120的出入孔H形成母螺纹,辅助固定部件SF的出入孔H由公螺纹形成。由此,辅助固定部件SF与出入孔H螺纹结合。尤其,由于辅助固定部件SF的前端设有橡胶材质的缓冲帽BC,从而能够预防在与中心环CR接触时遭到破损。
[0064] 尤其,由于保护托架150由透明的塑料材质形成,可以从外部确认第一弹簧148及垫圈146的结合状态及松脱状态。此时,一旦确认到第一弹簧148及垫圈146松脱的情况,工作人员就可执行夹紧工作。
[0065] 以上,对本发明的优选实施例进行了图示并说明,本发明并不局限于上述实施例,只要是本发明所属领域的普通技术人员,在不脱离权利要求请求保护的本发明的要旨的范围内,可以进行各种变形
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