真空控制系统
专利汇可以提供真空控制系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种 真空 控制系统，包括一 开关 装置、一切换装置、一充排气装置、一高真空排气装置以及一控制装置。其中，该切换装置与该开关装置连结；该充排气装置与该切换装置连结；该高真空排气装置与该开关装置连结；该控制装置分别与该开关装置、该切换装置、该充排气装置及该高真空排气装置连结。，下面是真空控制系统专利的具体信息内容。
1.一种真空控制系统，应用于将一对象进行充排气的动作，包括:
一开关装置；
一切换装置，其与该开关装置连结；
一充排气装置，其与该切换装置连结；
一高真空排气装置，其与该开关装置连结；以及
一控制装置，其分别与该开关装置、该切换装置、该充排气装置及该高 真空排气装置电性连结，
其特征在于:该控制装置控制在该充排气装置完成抽气步骤后，控制该 高真空排气装置进一步抽气。
2.根据权利要求1所述的真空控制系统，其特征在于，还包括:
一清洗装置，其与该切换装置及该控制装置电性连结。
3.根据权利要求1所述的真空控制系统，其特征在于，还包括:
一清洗装置，其与该开关装置及该控制装置电性连结。
4.根据权利要求1所述的真空控制系统，其特征在于，该对象为一冷阴 极灯管。
5.根据权利要求1所述的真空控制系统，其特征在于，还包括:
一充填装置，其与所述开关装置及该控制装置电性连结。
6.根据权利要求1所述的真空控制系统，其特征在于，该切换装置具有 一第一旋转单元与一第二旋转单元，该第一旋转单元与该第二旋转单元同轴 设置。
7.根据权利要求6所述的真空控制系统，其特征在于，该第一旋转单元 具有一第一通孔，该第二旋转单元具有多个第二通孔，而该开关装置与该第 一通孔连结，该第一通孔借由该切换装置与所述第二通孔其中之一连结。
8.根据权利要求6所述的真空控制系统，其特征在于，该第一旋转单元 具有多个第一通孔，该第二旋转单元具有多个第二通孔，而该开关装置分别 与所述第一通孔连结，所述第一通孔其中之一借由该切换装置与所述第二通 孔其中之一连结。
9.根据权利要求1所述的真空控制系统，其特征在于，该充排气装置与 该高真空排气装置分别为一真空泵。
10.根据权利要求1所述的真空控制系统，其特征在于，所述的连结以一 管路相互连通。
11.根据权利要求2或3所述的真空控制系统，其特征在于，该清洗装置 提供氩气清洗该对象。
12.根据权利要求5所述的真空控制系统，其特征在于，该充填装置填入 惰性气体至该对象。
13.根据权利要求1所述的真空控制系统，其特征在于，该系统可轮流对 多个对象进行充排气的动作，包括:
多个开关装置；
该切换装置分别与所述多个开关装置连结；
该充排气装置与该切换装置连结；
该高真空排气装置分别与所述多个开关装置连结；以及
该控制装置分别与所述多个开关装置、该切换装置、该充排气装置及该 高真空排气装置电性连结。
技术领域
本发明是关于一种真空控制系统，特别是关于一种具有抽高真空效能的 真空控制系统。
背景技术
以下以应用于光电产业中的冷阴极灯管的真空排气系统为例说明，如图 1所示，传统的真空排气系统1包括多个开关装置11、一切换装置12以及 一充排气装置13，所述开关装置11与充排气装置13分别与切换装置12连 接，其中所述开关装置11则分别对应欲抽气的多个冷阴极灯管10，充排气 装置13通过切换装置12而对所述冷阴极灯管10进行抽真空步骤，切换装 置12则用以切换选择多冷阴极灯管10的其中之一以进行抽气，借以将抽真 空步骤自动化，以降低劳力负担。
如上所述，如图2所示，传统真空排气系统的切换装置12由一第一旋 转单元121与一第二旋转单元122所构成，第一旋转单元121与第二旋转单 元122同轴设置并可相对旋转运动，而所述旋转单元121、122之间则以油 充当密封介质。其中第一旋转单元121包括多个第一通孔1211，第二旋转单 元122包括多个第二通孔1221，所述第一通孔1211则分别连结于所述开关 装置11，充排气装置13则连结于所述第二通孔1221的其中之一，因此借第 一通孔1211与第二通孔1221相对连通而切换选择欲抽气的冷阴极灯管10， 然而，由于第一旋转单元121与第二旋转单元122之间以油作为接口密封， 因此其真空度有其限制，又由于充排气装置13经过切换装置12进行抽气步 骤，为了达到提高真空度的目的，切换装置12容易因为压力过大造成其 中的油封介质溅出，而使真空排气系统1失效。
有鉴于此，如何提供一种具有抽高真空效能的真空控制系统实乃为当今 产业的重要课题之一。
发明内容
于是，为达到上述目的，根据本发明的一种真空控制系统包括一开关装 置、一切换装置、一充排气装置、一高真空排气装置以及一控制装置。其中， 该切换装置与该开关装置连结；该充排气装置与该切换装置连结；该高真空 排气装置与该开关装置连结；该控制装置分别与该开关装置、该切换装置、 该充排气装置及该高真空排气装置连结。
为达到上述目的，根据本发明的真空控制系统包括多个开关装置、一切 换装置、一充排气装置、一高真空排气装置以及一控制装置。其中，该切换 装置与所述开关装置连结；该充排气装置与该切换装置连结；该高真空排气 装置与所述开关装置连结；该控制装置分别与所述开关装置、该切换装置、 该充排气装置及该高真空排气装置连结。
如上所述，因根据本发明的真空控制系统是附加一高真空排气装置连结 于该开关装置，该开关装置相对一欲抽真空的对象，借由该控制装置控制在 该充排气装置完成抽气步骤后，控制该高真空排气装置进一步抽气，以达到 高真空的目的，且由于该高真空排气装置的抽气步骤并不经由切换装置，因 此克服了传统技术因高真空的需求而使切换装置的油封介质溢出而失效的 隐忧。
附图说明
图1为一显示传统的真空排气系统的示意图；
图2为一显示传统的切换装置的示意图；
图3为一显示根据本发明优选实施例的一种真空控制系统的示意图；
图4为一显示根据本发明优选实施例的一种真空控制系统的另一示意 图；
图5为一显示根据本发明优选实施例的另一种真空控制系统的示意图； 以及
图6为一显示根据本发明优选实施例的切换装置的示意图。
主要组件符号说明
1 真空排气系统
10 冷阴极灯管
11 开关装置
12 切换装置
121 第一旋转单元
1211 第一通孔
122 第二旋转单元
1221 第二通孔
13 抽气装置
3 真空控制系统
30 物件
31 开关装置
32 切换装置
321 第一旋转单元
3211 第一通孔
322 第二旋转单元
3221 第二通孔
33 充排气装置
34 高真空排气装置
35 控制装置
36 清洗装置
37 充填装置
4 真空控制系统
具体实施方式
请参照图3所示，根据本发明优选实施例的一种真空控制系统3包括一 开关装置31、一切换装置32、一充排气装置33、一高真空排气装置34以及 一控制装置35。
该开关装置31相对应于一欲抽真空的对象30，在本实施例中，该对象 30可以是一冷阴极灯管。
该切换装置32与该开关装置31连结，该充排气装置33与该切换装置 32连结，该高真空排气装置34则直接与该开关装置31连结，在本实施例中， 所述装置31、32、33、34的连结可分别以至少一管路连接，但不应以此为 限，如果基于自动化增加产能的状况下，也可以以多个管路连接。另外，该 充排气装置33或该高真空排气装置34为一般业内人士熟知的真空泵，其中， 该充排气装置33除可以进行抽真空的动作，亦可以进行对冷阴极灯管充气 的动作。
该控制装置35分别与该开关装置31、该切换装置32、该充排气装置33 及该高真空排气装置34连结，以分别控制所述装置31、32、33、34，其中 所述装置31、32、33、34与该控制装置35电性连接。
另外，本实施例的真空控制系统3还包括一清洗装置36，其可与该切换 装置32(如图3所示)或该开关装置31连结(如图4所示)，且该清洗装置 36亦受该控制装置35所控制。
如上所述，根据本发明的真空控制系统3亦可包括一充填装置37，其与 该开关装置31，且该充填装置37亦受该控制装置35所控制，可以取代充排 气装置33的对于冷阴极灯管充气功能。
在本实施例中，该开关装置31可具有多个阀门，所述阀门以多管路分 别连通于该充排气装置33与该高真空排气装置34的管路，另外，亦可连通 于该清洗装置36与该充填装置37，该开关装置31借由开关阀门的方式选择 对该对象30进行抽气、清洗或是充填气体的动作。
另外，请参照图5所示，根据本发明优选实施例的另一种真空控制系统 4包括多个开关装置31、一切换装置32、一充排气装置33、一高真空排气 装置34以及一控制装置35。
在本实施例的所述开关装置31、该切换装置32、该充排气装置33、该 高真空排气装置34以及该控制装置35的连接关系与结构特征如上所述，故 不在此赘述。
另外，本发明的真空控制系统4还包括一清洗装置36或一充填装置37。 其中，如上所述该清洗装置36可与该切换装置32(如图5所示)连结或分 别与所述开关装置31连结；而该充填装置37分别与所述开关装置31连结， 且该清洗装置36与该充填装置37均受该控制装置35的控制。
本实施例不同在于，该真空控制系统4系具有多个开关装置31，该多个 开关装置31对应多个欲抽真空的对象30，例如多个冷阴极灯管等，而由该 切换装置32切换选择欲进行抽气、清洗或是充填功能的对象30，再由该开 关装置切换选择进行抽气、清洗或是充填功能。本实施例仅以二个开关装置 31举例说明，当然本发明还可包括二个以上的开关装置31。
更详细来说，本实施例的切换装置32具有一第一旋转单元321与一第 二旋转单元322，该第一旋转单元321与该第二旋转单元322同轴设置。其 中，该第一旋转单元321具有多个第一通孔3211，该第二旋转单元322具有 多个第二通孔3221，所述开关装置31分别与所述多个第一通孔3211连结， 而该充排气装置33与所述多个第二通孔3221其中之一连结。
另外，本实施例的与该切换装置32连结的该清洗装置36亦利用与该第 二通孔3221其中之一连结。
如上所述，为使本发明更容易理解，以下将举一实例并请参照图5所示， 以说明根据本发明优选实施例的真空控制系统的具体实施方式。
如图5所示，所述开关装置31分别对应所述对象30，所述对象30例如 可以是冷阴极灯管，当欲对所述对象30其中之一进行抽气步骤时，该切换 装置32借由该第一旋转单元321与该第二旋转单元322相对转动，而使该 第一通孔3211与该第二通孔3221相对位而连通，再由控制装置35启动该 充排气装置33而进行初步抽气，在真空度达一定程度之后，该开关装置31 关闭连通该充排气装置33的阀门且开启连通该高真空排气装置34的阀门， 依样由该控制装置35启动该高真空排气装置34对该对象30进一步抽气， 而完成更高真空度的步骤。
另外，由于该清洗装置36或该充填装置37均可连通于该开关装置31， 是以借由该开关装置31的开关所述阀门，对应选择所述对象30以进行抽气、 清洗或是充填步骤。
其中，举例来说，该清洗装置36可供应一氩气清洗冷阴极灯管30，而 充填装置37可充填冷阴极灯管30所需的气体例如惰性气体等。
综上所述，因根据本发明的真空控制系统附加一高真空排气装置连结于 该开关装置，该开关装置相对一欲抽真空的对象，借由该控制装置控制在该 充排气装置完成抽气步骤后，控制该高真空排气装置进一步抽气，以达到高 真空的目的，且由于该高真空排气装置的抽气步骤并不经由切换装置，因此 克服了传统技术因高真空的需求而使切换装置的油封介质溢出而失效的隐 忧。
以上所述仅为举例性，而非为限制性。任何未脱离本发明的精神与范畴， 而对其进行的等效修改或变更，均应包括于本发明中。
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