专利汇可以提供抛光液传输设备专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 抛光 液 传输设备,包括:抛光液配液装置,用于配制抛光液通过第一传输管道输出并接收第二传输管道输回的抛光液; 循环 泵 ,用于将抛光液配液装置中的抛光液通过第一传输管道抽出,再通过第二传输管道传输回抛光液配液装置;第一传输管道,用于传输 循环泵 从抛光液配液装置 抽取 的抛光液;第二传输管道,用于传输循环泵向抛光液配液装置传输的抛光液;供应盒,用于抽取第一传输管道或第二传输管道内的抛光液向 化学机械抛光 机台传输。本发明抛光液传输设备能够保证向化学机械抛光机台传输的抛光液的 质量 ,从而提高了化学机械抛光的工艺质量。,下面是抛光液传输设备专利的具体信息内容。
1.一种抛光液传输设备,其特征在于,包括:
抛光液配液装置,连通第一传输管道和第二传输管道,用于配制抛光液 通过第一传输管道输出并接收第二传输管道输回的抛光液;
循环泵,与第一传输管道和第二传输管道连通,用于将抛光液配液装置 中的抛光液通过第一传输管道抽出,再通过第二传输管道传输回抛光液配液 装置;
第一传输管道,连通抛光液配液装置和循环泵,用于传输循环泵从抛光 液配液装置抽取的抛光液;
第二传输管道,连通循环泵和抛光液配液装置,与抛光液配液装置、第 一传输管道和循环泵构成封闭的循环管路,用于传输循环泵向抛光液配液装 置传输的抛光液;
供应盒,外接于第一传输管道或第二传输管道上,紧靠于化学机械抛光 机台,并与化学机械抛光机台连通,用于抽取第一传输管道或第二传输管道 内的抛光液向化学机械抛光机台传输。
2.如权利要求1所述的抛光液传输设备,其特征在于,所述抛光液配液装置 包括:
抛光泥浆供应装置,与抛光液预混合装置通过传输管道相连,用于向抛 光液预混合装置提供抛光泥浆;
溶剂供应装置,与抛光液预混合装置通过传输管道相连,用于向抛光液 预混合装置中提供稀释剂;
抛光液预混合装置,分别与抛光泥浆供应装置、溶剂供应装置和抛光液 混合装置通过传输管道相连,用于称重规定重量的抛光泥浆和相应重量比例 的稀释剂,并将称重后的抛光泥浆和稀释剂提供给抛光液混合装置;
抛光液混合装置,用于接收抛光液预混合装置提供的抛光泥浆和稀释剂, 并充分搅拌以稀释抛光泥浆得到抛光液;
回流泵,与第三传输管道、三通阀门、第四传输管道及抛光液混合装置 组成封闭的循环管路,用于抽取抛光液混合装置提供的抛光液,并通过第三 传输管道、第四传输管道输回抛光液混合装置,以保证抛光液质量;
三通阀门,分别连通第三传输管道、第四传输管道和第五传输管道,用 于控制循环管路和传输管路的导通或关闭;
第三传输管道,分别与回流泵和三通阀门连通,用于输送回流泵输出的 抛光液;
第四传输管道,分别与三通阀门和抛光液混合装置连通,用于向抛光液 混合装置输送抛光液;
第五传输管道,分别与三通阀门和抛光液供料箱连通,用于向抛光液供 料箱输送抛光液;
抛光液供料箱,与抛光液混合装置、第三传输管道、回流泵、三通阀门 及第五传输管道组成传输管路,用于存储第五传输管道输送的抛光液并接收 第二传输管道输回的抛光液;
供料泵,与抛光液供料箱通过传输管道相连,用于抽取抛光液供料箱内 存储的抛光液,并输送至第一传输管道。
3.如权利要求1所述的抛光液传输设备,其特征在于,所述循环管道为双层 密封管道,其中内层为密封塑料软管,外层为密封塑料硬管。
4.如权利要求1所述的抛光液传输设备,其特征在于,所述供应盒包括用于 传输抛光液的传输管道。
5.如权利要求2所述的抛光液传输设备,其特征在于,所述规定重量为50 公斤。
6.如权利要求2所述的抛光液传输设备,其特征在于,所述相应重量比例为 每10公斤抛光泥浆0.3公斤稀释剂。
7.如权利要求2所述的抛光液传输设备,其特征在于,所述稀释剂是双氧水。
8.如权利要求2所述的抛光液传输设备,其特征在于,所述三通阀门仅当抛 光液供料箱内的抛光液不足时,才关闭循环管路,开启传输管路,使得抛光 液混合装置通过传输管路向抛光液供料箱输送抛光液。
本发明涉及化学机械抛光工艺,特别涉及化学机械抛光液的传输设备及传 输方法。
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