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喷丸处理装置

阅读：813发布：2020-05-13

专利汇可以提供喷丸处理装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明涉及喷丸处理装置，具备：机壳；多个室，设置于机壳的内部；旋转台，能够沿绕上下方向延伸的第一旋转轴的第一旋转方向旋转；多个载置台，在旋转台的上表面沿周向隔开间隔地配置，并载置且保持被处理对象物；投射机，投射投射材料；以及第一检查检测器，检查被处理对象物的表面特性，多个室绕第一旋转轴排列设置，多个室包含将投射材料向被处理对象物投射的投射室、和设置于比投射室靠第一旋转方向的下游的第一检查室，投射机朝向被保持于进入投射室的内部的第一载置台之上的被处理对象物投射投射材料，第一检查检测器可升降地配置于进入第一检查室的内部的第二载置台的上方，并对被保持于第二载置台之上的被处理对象物的表面特性进行检查。，下面是喷丸处理装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种喷丸处理装置，其特征在于，具备：
机壳；
多个室，它们设置于所述机壳的内部；
旋转台，该旋转台设置于所述机壳的内部，并能够沿绕第一旋转轴的第一旋转方向旋转，所述第一旋转轴沿着上下方向延伸；
多个载置台，它们在所述旋转台的上表面沿周向隔开间隔地配置，并将被处理对象物载置来进行保持；
投射机，该投射机投射投射材料；以及
第一检查检测器，该第一检查检测器检查所述被处理对象物的表面特性，所述多个室绕所述第一旋转轴排列设置，
所述多个室包含将投射材料向被处理对象物投射的投射室、和设置于比所述投射室靠所述第一旋转方向的下游的第一检查室，
所述投射机朝向被保持于所述多个载置台中的进入所述投射室的内部的第一载置台之上的被处理对象物投射投射材料，
所述第一检查检测器可升降地配置于所述多个载置台中的进入所述第一检查室的内部的第二载置台的上方，并对被保持于所述第二载置台之上的被处理对象物的表面特性进行检查。
2.根据权利要求1所述的喷丸处理装置，其特征在于，
还具备检查所述被处理对象物的表面特性的第二检查检测器，
所述多个室还包含设置于比所述投射室靠所述第一旋转方向的上游的第二检查室，所述第二检查检测器可升降地配置于所述多个载置台中的进入所述第二检查室的内部的第三载置台的上方，并对被保持于所述第三载置台之上的被处理对象物的表面特性进行检查。
3.根据权利要求1或2所述的喷丸处理装置，其特征在于，
还具备吹送装置，该吹送装置设置于所述第一检查室，并能够朝向被保持于所述第二载置台之上的所述被处理对象物进行气体的吹送。
4.根据权利要求3所述的喷丸处理装置，其特征在于，
所述吹送装置设置于能够朝向所述第一检查检测器进行气体的吹送的位置。
5.根据权利要求3或4所述的喷丸处理装置，其特征在于，
还具备集尘器，该集尘器吸引所述机壳中的含有粉尘的空气。
6.根据权利要求1或2所述的喷丸处理装置，其特征在于，
还具备升降机构，该升降机构将所述第一检查检测器与被连接于所述第一检查检测器的适配器一体地升降。
7.根据权利要求3～5中的任一项所述的喷丸处理装置，其特征在于，
还具备升降机构，该升降机构将所述第一检查检测器与被连接于所述第一检查检测器的适配器一体地升降。
8.根据权利要求7所述的喷丸处理装置，其特征在于，
所述适配器在所述旋转台的上方配置于所述第一旋转轴一侧。
9.根据权利要求8所述的喷丸处理装置，其特征在于，
所述吹送装置在俯视下配置于所述旋转台的外侧。
10.根据权利要求7～9中的任一项所述的喷丸处理装置，其特征在于，所述吹送装置的喷嘴被固定于所述适配器。
11.根据权利要求1～10中的任一项所述的喷丸处理装置，其特征在于，还具备：
运送装置，该运送装置将被处理对象物从设定于所述机壳的外侧的检查区域运送至载置位置；和
残留应力测定装置，该残留应力测定装置对配置于所述检查区域的被处理对象物的表面的残留应力进行测定，
所述多个室还包含用于将被处理对象物搬入至所述机壳的搬入室，
所述载置位置是所述多个载置台中的位于所述搬入室的第四载置台上的位置，所述第一检查检测器检测被处理对象物的电磁特性。
12.根据权利要求11所述的喷丸处理装置，其特征在于，
还具备：
第一载置部，该第一载置部供被搬入到所述机壳的内部之前的被处理对象物载置；和第二载置部，该第二载置部供从所述机壳的内部被搬出的被处理对象物载置，所述多个室还包含用于将被处理对象物从所述机壳搬出的搬出室，
所述运送装置将被处理对象物从所述第一载置部搬入至所述机壳的内部并载置于所述第四载置台，并且将由所述第一检查检测器进行了电磁特性的检查的被处理对象物从所述多个载置台中的位于所述搬出室的第五载置台搬出并载置于所述第二载置部，所述残留应力测定装置包含对载置于所述第一载置部的被处理对象物的表面的残留应力进行测定的第一残留应力测定装置、和对载置于所述第二载置部的被处理对象物的表面的残留应力进行测定的第二残留应力测定装置。
13.根据权利要求1～12中的任一项所述的喷丸处理装置，其特征在于，所述多个载置台各自能够绕与所述第一旋转轴平行的第二旋转轴旋转。

说明书全文

喷丸处理装置

技术领域

[0001] 本发明涉及喷丸处理装置。

背景技术

[0002] 在下述专利文献1的第二实施方式中公开有检查检测器被内置于处理室(投射室)内的表面处理装置(喷丸处理装置)。简单地进行说明，即在该表面处理装置中，检查检测器通过汽缸的驱动能够移动至测评被检体亦即齿轮的位置，在检查检测器的外侧设置有用于在喷丸硬化处理时保护检查检测器的检测器防护面板。检测器防护面板由设置为覆盖检查检测器的侧面的固定面板、和设置为覆盖检查检测器的下表面的可动面板构成。可动面板通过汽缸的驱动，能够以固定面板侧的一端为转动中心来进行转动，在喷丸硬化处理时配置于将检查检测器的下方封闭的位置，在喷丸硬化处理后的检查时配置于将检查检测器的下方开放的位置。

[0003] 专利文献1：日本专利第5877505号公报

[0004] 然而，在上述现有技术的表面处理装置中，在从将一个齿轮搬入至处理室后开始进行加工(喷丸硬化处理)和检查至搬出期间，无法对其他齿轮进行搬入搬出、加工以及检查，因此在循环时间这点上不利。另外，在上述现有技术的表面处理装置中，除检查检测器以外，还需要将用于保护该检查检测器的检测器防护面板和用于使该检测器防护面板的可动面板转动的机构设置于处理室内，因此处理室内的构造变得复杂化。

发明内容

[0005] 本公开对喷丸处理装置进行说明，该喷丸处理装置虽然具有将检查检测器内置于装置内的结构，但能够缩短循环时间并且能够避免投射室内的构造的复杂化。

[0006] 本公开的一个方式所涉及的喷丸处理装置具备：机壳；多个室，它们设置于机壳的内部；旋转台，其设置于机壳的内部，并能够沿绕沿着上下方向延伸的第一旋转轴的第一旋转方向旋转；多个载置台，其在旋转台的上表面沿周向隔开间隔地配置，并载置且保持被处理对象物；投射机，其投射投射材料；以及第一检查检测器，其检查被处理对象物的表面特性。多个室围绕第一旋转轴排列设置。多个室包含将投射材料向被处理对象物投射的投射室、和设置于比投射室靠第一旋转方向的下游的第一检查室。投射机朝向被保持于多个载置台中的进入投射室的内部的第一载置台之上的被处理对象物投射投射材料。第一检查检测器可升降地配置于多个载置台中的进入第一检查室的内部的第二载置台的上方，并对被保持于第二载置台之上的被处理对象物的表面特性进行检查。

[0007] 根据上述结构，在机壳的内部，多个室围绕沿着上下方向延伸的第一旋转轴排列设置，并且设置有能够绕第一旋转轴旋转的旋转台。被处理对象物被载置于在旋转台的上表面沿周向隔开间隔地配置的多个载置台上来进行保持。投射机朝向被保持于多个载置台中的进入投射室的内部的第一载置台之上的被处理对象物投射投射材料。

[0008] 这里，第一检查检测器可升降地配置于进入第一检查室的内部的第二载置台的上方，并对保持于第二载置台之上的被处理对象物的表面特性进行检查，第一检查室设置于比投射室靠第一旋转方向的下游的位置。

[0009] 根据以上内容，能够在从将一个被处理对象物运送至任一载置台上后开始进行投射处理和检查，至将其从该载置台搬出的期间，对其他被处理对象物进行搬入搬出、投射处理以及检查。另外，被处理对象物的表面特性的检查在投射室以外的第一检查室中进行，因此也无需使投射室内的构造复杂化。

[0010] 一实施方式的喷丸处理装置可以还具备检查被处理对象物的表面特性的第二检查检测器。多个室可以还包含设置于比投射室靠第一旋转方向的上游的第二检查室。第二检查检测器也可以可升降地配置于多个载置台中的进入第二检查室的内部的第三载置台的上方并对被保持于第三载置台之上的被处理对象物的表面特性进行检查。

[0011] 根据上述结构，第二检查检测器对被保持于进入第二检查室的内部的第三载置台之上的被处理对象物的表面特性进行检查。第二检查室设置于比投射室靠第一旋转方向的上游的位置，因此能够检查被投射前的状态的被处理对象物的表面特性。

[0012] 一实施方式的喷丸处理装置也可以还具备吹送装置，该吹送装置设置于第一检查室，并能够朝向被保持于第二载置台之上的被处理对象物进行气体的吹送。

[0013] 根据上述结构，即便投射材料和粉尘附着于被处理对象物，也能够通过从吹送装置向被处理对象物吹送气体，将该投射材料和粉尘吹走，因此能够高精度地检查被处理对象物的表面特性。

[0014] 在一实施方式的喷丸处理装置中，吹送装置也可以设置于能够朝向第一检查检测器进行气体的吹送的位置。

[0015] 根据上述结构，即便粉尘附着于第一检查检测器，也能够通过从吹送装置吹送气体将粉尘吹走，因此能够防止或者有效地抑制在第一检查检测器积存粉尘。其结果是，第一检查检测器被保持为检查精度优良的状态(与初始状态大体相同的状态)，因此能够进一步高精度地检查被处理对象物的表面特性。

[0016] 一实施方式的喷丸处理装置也可以还具备吸引机壳中的含有粉尘的空气的集尘机。

[0017] 根据上述结构，通过吹送装置进行的气体的吹送将粉尘等从被处理对象物吹走，被吹走的粉尘等与空气一同被集尘机吸引。因此，能够进一步高精度地检查被处理对象物的表面特性。

[0018] 一实施方式的喷丸处理装置也可以还具备将第一检查检测器与被连接于第一检查检测器的适配器一体地升降的升降机构。

[0019] 根据上述结构，第一检查检测器与适配器一体地升降，因此能够以简易的结构维持第一检查检测器的检测性能。

[0020] 在一实施方式的喷丸处理装置中，适配器也可以在旋转台的上方配置于第一旋转轴一侧。

[0021] 根据上述结构，适配器在旋转台的上方配置于第一旋转轴一侧，因此例如第一检查室的内表面侧的维护容易进行。

[0022] 在一实施方式的喷丸处理装置中，吹送装置也可以在俯视下配置于旋转台的外侧。

[0023] 根据上述结构，适配器在旋转台的上方配置于第一旋转轴一侧，相对于此，吹送装置在俯视下配置于旋转台的外侧。因此，能够防止通过吹送装置排出的气体被适配器妨碍前进。

[0024] 在一实施方式的喷丸处理装置中，吹送装置的喷嘴也可以被固定于适配器。

[0025] 根据上述结构，吹送装置的喷嘴与适配器一体地升降，因此能够有效地利用第一检查室内的空间。

[0026] 一实施方式的喷丸处理装置也可以还具备将被处理对象物从设置于机壳的外侧的检查区域运送至载置位置的运送装置、和对配置于检查区域的被处理对象物的表面的残留应力进行测定的残留应力测定装置。多个室也可以还包含用于将被处理对象物搬入至机壳的搬入室。载置位置可以是多个载置台中的位于搬入室的第四载置台上的位置。第一检查检测器也可以检测被处理对象物的电磁特性。

[0027] 根据上述结构，运送装置将被处理对象物从设定于机壳的外侧的检查区域运送至位于搬入室的第四载置台之上的载置位置，残留应力测定装置对配置于检查区域的被处理对象物的表面的残留应力进行测定。相对于此，第一检查检测器检测被处理对象物的电磁特性。因此，能够检测被处理对象物的电磁特性并且测定被处理对象物的表面的残留应力。

[0028] 一实施方式的喷丸处理装置也可以还具备供被搬入机壳的内部前的被处理对象物载置的第一载置部、和供从机壳的内部被搬出的被处理对象物载置的第二载置部。多个室也可以还包含用于将被处理对象物从机壳搬出的搬出室。运送装置可以将被处理对象物从第一载置部搬入至机壳的内部而载置于第四载置台，并且将由第一检查检测器进行了电磁特性的检查的被处理对象物从多个载置台中的位于搬出室的第五载置台搬出而载置于第二载置部。残留应力测定装置包含对载置于第一载置部的被处理对象物的表面的残留应力进行测定的第一残留应力测定装置、和对载置于第二载置部的被处理对象物的表面的残留应力进行测定的第二残留应力测定装置。

[0029] 根据上述结构，对被搬入机壳的内部前的被处理对象物的表面的残留应力进行测定。另外，对从机壳被搬出的被处理对象物的表面的残留应力进行测定。因此，能够测定投射前后的状态的被处理对象物的表面的残留应力。

[0030] 在一实施方式的喷丸处理装置中，也可以多个载置台各自能够绕与第一旋转轴平行的第二旋转轴旋转。

[0031] 根据本公开的喷丸处理装置，虽然具有将检查检测器内置于装置内的结构，但能够缩短循环时间并且避免投射室内的构造的复杂化。附图说明

[0032] 图1是表示一实施方式所涉及的喷丸硬化装置的右视图。

[0033] 图2是表示一实施方式所涉及的喷丸硬化装置的主视图。

[0034] 图3是表示一实施方式所涉及的喷丸硬化装置的俯视图。

[0035] 图4是表示一实施方式所涉及的喷丸硬化装置的左视图(省略了管道的图示。)。

[0036] 图5是沿着图1的5-5线的放大剖视图。

[0037] 图6是沿着图1的6-6线的放大剖视图。

[0038] 图7是沿着图6的7-7线的剖视图。

[0039] 图8是沿着图3的8-8线的放大剖视图。

具体实施方式

[0040] 使用图1～图8对作为本公开的一实施方式所涉及的喷丸处理装置的喷丸硬化装置进行说明。此外，在这些图中适当示出的箭头FR表示装置正视的近前，箭头UP表示上方，箭头LH表示装置正视时的左侧。另外，在图5～图8中，为了方便而省略表示面板的截断面的阴影线。

[0041] (喷丸硬化装置的结构)

[0042] 图1是表示一实施方式所涉及的喷丸硬化装置的右视图。图2是表示一实施方式所涉及的喷丸硬化装置的主视图。图3是表示一实施方式所涉及的喷丸硬化装置的俯视图。图4是表示一实施方式所涉及的喷丸硬化装置的左视图。

[0043] 如图1所示，喷丸硬化装置10具备形成为箱状的机壳12。如图2所示，在机壳12设置有投射材料投入部14。在投射材料投入部14的上部形成有投射材料的投入用的投入口。投入口构成为能够开闭。在机壳12中形成有用于将被处理对象物搬入/搬出其内部的搬入搬出口16。此外，作为喷丸硬化处理的被处理对象物，例如能够使用齿轮等制品。在本实施方式中作为一个例子，使用材质为SCM420(铬钼钢)的渗碳淬火齿轮。对于被处理对象物的尺寸而言，作为一个例子是直径102mm且高度30mm。

[0044] 在机壳12的右侧设置有操作面板100。控制面板包含操作面板100、和存储部。存储部存储喷丸硬化装置10的控制处理的程序。喷丸硬化装置10根据作业人员对操作面板100的操作执行程序来进行工作。

[0045] 图5是沿着图1的5-5线的放大剖视图。图6是沿着图1的6-6线的放大剖视图。如图5所示，在机壳12的内部设置有多个室。多个室包含搬入室20A、搬出室20B、检查室22A(第二检查室)、检查室22B(第一检查室)、投射室24A、以及投射室24B。在机壳12的内部的后方以相互邻接的方式设置有两个投射室24A、24B。在机壳12的内部的前方以相互邻接的方式设置有搬入室20A和搬出室20B。在机壳12的内部，在搬入室20A与投射室24A之间设置有检查室22A，并且在投射室24B与搬出室20B之间设置有检查室22B。

[0046] 搬入室20A、检查室22A、投射室24A、投射室24B、检查室22B、以及搬出室20B以该顺序围绕沿上下方向延伸的旋转轴41(沿周向)排列(并排设置)。搬入室20A、检查室22A、投射室24A、投射室24B、检查室22B以及搬出室20B中的各室被壁板状的隔断部26隔开。各室有时也被称为站。换而言之，在机壳12的内部设定有被沿周向均等分割而得的多站。

[0047] 搬入室20A是用于将被处理对象物W搬入机壳12的室。搬出室20B是用于将被处理对象物W从机壳12搬出的室。检查室22A是用于对进行喷丸硬化处理前的被处理对象物W的表面特性进行检查的室。检查室22B是用于对进行了喷丸硬化处理后的被处理对象物W的表面特性进行检查的室。投射室24A、24B是将投射材料投射给被处理对象物W的室。在机壳12的内部的下部设置有供被处理对象物W载置的制品载置部18。关于制品载置部18具体后述。

[0048] 喷丸硬化装置10具备设置于机壳12的后方的一对喷射装置(也可以是“空气式加速装置”，被理解为“空气式喷丸硬化机的单元”的要素。)30。喷射装置30与投射室24A和投射室24B对应地分别设置一台，共设置有两台。两台喷射装置30除配置位置以外是相同的结构，因此标注于它们的附图标记为相同附图标记。喷射装置30具备喷嘴30A、配管部30B、混合阀30C、空气供给部30D、流量调整装置30E、截止门30F、加压罐30G、喷丸门30H、以及投射材料罐30I。

[0049] 各喷射装置30的喷嘴30A将机壳12的背面插通，喷嘴30A的前端朝向机壳12的内部。喷射装置30构成为将包含投射材料的压缩空气从喷嘴30A喷射(广义上为投射)而使投射材料与位于投射室24A、24B的被处理对象物W碰撞。此外，在本实施方式中，针对投射材料，作为一个例子使用威氏硬度为700HV且粒径为直径0.6mm的钝化钢丝切丸。

[0050] 喷嘴30A经由图1所示的配管部30B与混合阀30C连接。混合阀30C与空气供给部30D(在图中方块化地图示)连接并且依次经由流量调整装置30E和截止门30F而与加压罐30G连接。混合阀30C将由流量调整装置30E供给的投射材料与由空气供给部30D供给的压缩空气混合。加压罐30G经由配置于其上方的喷丸门30H等与投射材料罐30I连接。投射材料罐30I配置于喷丸门30H的上方。

[0051] 另一方面，喷丸硬化装置10具备循环装置36。循环装置36是用于将已经从喷射装置30的喷嘴30A(参照图5)喷射的投射材料再次向投射材料罐30I运送从而使投射材料循环的装置。循环装置36具备料斗36A、下部螺旋输送机36B、斗式升降机36C、分离器36D、振动筛36E、以及驱动用马达36G。料斗36A是用于在投射室24A、24B(参照图5)的下方回收投射材料的装置。在料斗36A的下端设置有下部螺旋输送机36B。下部螺旋输送机36B与驱动用马达
36G连接。

[0052] 下部螺旋输送机36B以左右方向(与图1的纸面垂直的方向)为长度方向而水平地配置。下部螺旋输送机36B构成为通过绕轴旋转从而将从料斗36A流落的投射材料向装置左侧(图1的纸面进深侧)运送。下部螺旋输送机36B的运送下游侧的端部配置于面向斗式升降机36C的下部收集部的位置。

[0053] 由于斗式升降机36C是公知的因此省略详细说明，其具备一对皮带轮(省略图示)、环形带(省略图示)、以及多个铲斗(省略图示)。一对皮带轮配置于喷丸硬化装置10的上部和下部。皮带轮构成为能够利用马达驱动进行旋转。环形带卷绕于一对皮带轮。多个铲斗安装于环形带。根据该构成，斗式升降机36C利用铲斗将落下至装置下部而被下部螺旋输送机36B回收的投射材料捞起，并且使皮带轮旋转，从而将铲斗内的投射材料等从装置下部向装置上部(机壳12的上方)运送。

[0054] 如图3所示，在斗式升降机36C的上端部经由配管连接有风选式的分离器36D。被运送至斗式升降机36C的上端部的投射材料经由配管流入到该分离器36D。分离器36D经由管道38E、38C2与集尘机38A的空气吸引部(鼓风机)连接。集尘机38A是用于将混入投射材料中的细微粉末等异物(杂质)回收的装置。分离器36D通过集尘机38A吸引空气，由此将投射材料分级。分离器36D与投射材料罐30I连通，仅使被运送来的投射材料中的进行了分级的适当的投射材料向投射材料罐30I流动。

[0055] 如图4所示，在投射材料罐30I经由配管部等连接有振动筛36E。超过投射材料罐30I的容量的份额的投射材料流动至振动筛36E。振动筛36E具备用于筛分投射材料的金属网部。振动筛36E配置为通过使该金属网部振动从而根据大小将投射材料筛分，仅使适当的大小的投射材料返回机壳12内。

[0056] 另一方面，如图1所示，在机壳12的靠近正面的上方配置有获取外部空气用的通风机38B(换气装置)。在形成于机壳12的背面侧(图5所示的投射室24B一侧)的上部的吸出口12E连接有管道38C1。从机壳12的吸出口12E吸引因喷丸硬化而在机壳12的内部产生的粉尘。在管道38C1与管道38C2之间夹设有沉降室(广义上为分离器)38D。

[0057] 沉降室38D使包含被吸引的粉尘的空气产生分级流，将被吸引的空气中的粒子分离。沉降室38D与朝向斗式升降机36C的下部延伸的流路部连接。在沉降室38D分离出的投射材料向斗式升降机36C的下端部流动而被再次利用。如图3所示，在管道38C2连接有集尘机38A。集尘机38A经由管道38C1、沉降室38D以及管道38C2，吸引机壳12的中的包含粉尘的空气，将经过管道38C1、沉降室38D以及管道38C2的空气中的粉尘过滤而仅将空气向装置外排出。

[0058] 接下来，对图5所示的制品载置部18进行说明。

[0059] 制品载置部18具备圆板状的大台40(旋转台)、和多个(在本实施方式中为六个)小台42(载置台)。多个小台42在大台40的上表面的外周侧沿大台40的周向隔开恒定间隔地配置为环状。即，制品载置部18具有所谓的多台的构造。大台40构成为能够围绕沿着上下方向延伸的旋转轴41(第一旋转轴)旋转(公转)。多个小台42的直径小于大台40的直径。小台42可旋转(自转)地被保持于大台40。在小台42载置并保持有被处理对象物W。小台42的旋转轴43(第二旋转轴)被设定为与大台40的旋转轴41平行。

[0060] 多个小台42伴随着大台40的旋转按照搬入室20A、检查室22A、投射室24A、投射室24B、检查室22B、以及搬出室20B的顺序在各站循环移动。喷射装置30将投射材料朝向被保持于多个小台42中的进入投射室24A、24B的内部的小台42(第一载置台)之上的被处理对象物W投射。此外，在隔断部26形成有用于在大台40的旋转时使小台42和被处理对象物W通过的缺口部等。另外，在机壳12中，在配置于大台40的周围的片状的部位12Z贯通形成有投射材料通过用的多个孔部(省略图示)。

[0061] 图8是沿着图3的8-8线的放大剖视图。如图8所示，大台40的旋转轴41的下端部经由轴承部46配置于基座部48上。大台40的旋转轴41的上端部经由连接器与分度装置50(广义上被理解为“旋转驱动机构”的要素。)连接。

[0062] 作为分度装置50，应用公知的分度装置因此省略详细图示。分度装置50具备用于节拍式运送大台40的带制动器的驱动马达、用于定位大台40的定位夹持器、以及该定位夹持器的工作用的定位汽缸。由此，分度装置50以与小台42的配置对应地设定的旋转角度(在本实施方式中为60°)刻度使大台40围绕旋转轴41旋转。即，分度装置50以与小台42的位置对应的旋转角度节拍式运送大台40并使其旋转。在分度装置50使大台40暂时停止的状态(处于公转停止位置的状态)下，如图5所示，在搬入室20A、检查室22A、投射室24A、投射室24B、检查室22B、以及搬出室20B各自的规定位置各配置一个小台42。

[0063] 在投射室24A、24B的上部设置有图8所示的按压机构52(按压夹具)。此外，在图8中，图示有在投射室24B设置的按压机构52，在投射室24A(参照图5)也设置有与按压机构52相同的按压机构。按压机构52具备用于从上方按压小台42上的被处理对象物W的按压部54A。按压部54A构成多个轴串联连结而成的按压用轴54的下端部。按压用轴54的上端部被轴承56支承。按压用轴54构成为无法相对于轴承56沿上下方向相对移动，但能够相对于轴承56围绕按压用轴54的轴旋转。由此，按压部54A能够与按压用轴54一同围绕沿着上下方向延伸的轴线旋转。

[0064] 轴承56被固定于在汽缸机构58(也理解为“升降机构”的要素。)的杆状体(省略图示)的下端部所设置的连结部58A。作为汽缸机构58，使用公知的汽缸机构(作为一个例子，为与后述的汽缸机构78实质上相同的机构)。汽缸机构58的汽缸部58S经由部件安装于机壳12的顶部。对于汽缸机构58而言，通过使上述杆状体相对于汽缸部58S前进后退，从而使轴承56和按压用轴54沿上下方向位移。通过汽缸机构58的工作，按压部54A能够在按压被处理对象物W的位置、与比该位置靠上方的退避位置之间移动。

[0065] 另一方面，在按压用轴54的上端部的外周部同轴固定有齿轮60A。在齿轮60A的下方设置有能够相对于齿轮60A啮合(能够连结)的齿轮60B。齿轮60B在与齿轮60A啮合的状态(连结的状态)下向齿轮60A传递旋转驱动力。齿轮60A与齿轮60B构成为借助汽缸机构58的工作而能够接触/分离。齿轮60A在按压部54A到达按压被处理对象物W的位置的情况下配置于与齿轮60B啮合的位置。齿轮60B经由驱动力传递机构与驱动马达62(广义上为致动器)连接。即，驱动马达62经由驱动力传递机构使齿轮60B旋转驱动。

[0066] 在按压机构52中，根据作业人员对操作面板100(参照图2)的操作，汽缸机构58进行工作，由此按压部54A下降而将被处理对象物W按压并固定。在按压部54A按压被处理对象物W的状态下，固定于按压用轴54的齿轮60A与齿轮60B啮合，驱动马达62在该状态下工作，由此驱动马达62的驱动力经由齿轮60B、齿轮60A、以及按压用轴54传递至被处理对象物W和小台42，被处理对象物W和小台42在预先设定的规定位置旋转。此外，小台42的转速在本实施方式中作为一个例子被设定为40.9rpm/60Hz。

[0067] 图7是沿着图6的7-7线的剖视图。如图6和图7所示，在相对于投射室24A、24B位于大台40的旋转方向(第一旋转方向)的下游的检查室22B中设置有检查检测器72(第一检查检测器)和吹送装置64。检查检测器72也称为检查探测器。即，检查室22B兼作为设置有吹送装置64的鼓风室。

[0068] 检查检测器72可升降地配置于多个小台42中的进入检查室22B的内部的小台42(第二载置台)的上方。检查检测器72对保持于该小台42之上的被处理对象物W的表面特性进行检查。检查检测器72形成为筒状。检查检测器72具备被处理对象物W的磁性测评用的线圈，检测被处理对象物W的电磁特性。线圈对被处理对象物W激发涡流。

[0069] 具备图6和图7所示的检查检测器72的磁性测评装置70设置于机壳12侧。磁性测评装置70使用涡流对被处理对象物W的加工对象部整体的表面层的状态进行检查。磁性测评装置70对被处理对象物W的有无不均以及金属组织的状态进行磁性测评，由此判定被处理对象物W是否合格。该磁性测评装置70具有与检查检测器72连接的适配器74。适配器74具有控制交流电流的功能，并且将高频率的交流电向检查检测器72的线圈供给。适配器74经由配线(省略图示)与具有显示等功能的面板(省略图示)连接。磁性测评装置70基于正在被供给交流电的状态的检查检测器72的检测结果，来测评被处理对象物W的表面状态。

[0070] 适配器74在大台40的上方配置于大台40的旋转轴41一侧，与检查检测器72一体化。如图7所示，在适配器74经由托架76连结有汽缸机构78(也可以理解为“升降机构”的要素。)的杆状体部78A。杆状体部78A在检查检测器72的上方以上下方向为轴线方向地配置。杆状体部78A的前端部(下端部)固定于托架76。杆状体部78A的基端部(上端部)固定于活塞部78B。活塞部78B构成为能够在汽缸部78C内借助气压(广义上为流体压)而往复运动。即，检查检测器72与适配器74构成为通过汽缸机构78的活塞部78B往复运动使得杆状体部78A进行伸缩从而一体升降。

[0071] 汽缸部78C经由空气方向控制设备(电磁阀等)80与空气供给源82连接。空气方向控制设备80与控制部84连接。控制部84是设置于上述的控制面板的功能部，例如，具备具有CPU(中央处理器)等的电子电路。控制部84通过控制空气方向控制设备80，从而能够控制活塞部78B的位移。若根据作业人员对操作面板100(参照图2)的操作，活塞部78B下降且检查检测器72下降至被处理对象物W的设置面，则检查检测器72配置为包围被处理对象物W并且在该位置检测喷丸硬化处理后的被处理对象物W的电磁特性。磁性测评装置70基于电磁特性的检测结果测评(判定)被处理对象物W的状态。

[0072] 如图6所示，吹送装置64在检查室22B中在俯视下配置于大台40的外侧(相对于大台40在其径向外侧)。吹送装置64的多个喷嘴64A固定于机壳12并朝向小台42的停止位置的上方。喷嘴64A在本实施方式中作为一个例子朝向斜下方。喷嘴64A与各个未图示的管道连接，管道与未图示的压缩空气供给部连接。由此，吹送装置64能够朝向被保持于多个小台42中的进入检查室22B的内部的小台42之上的被处理对象物W吹送气体。吹送装置64被设定在能够朝向位于下降位置(检查位置)的检查检测器72吹送气体的位置。

[0073] 吹送装置64与控制部84连接。作为一个例子，控制部84控制吹送装置64的吹送时机，以便在检查检测器72通过图7所示的汽缸机构78而下降的期间以及检查检测器72被配置于检查位置之后规定时间的期间(直至检查检测器72开始被处理对象物W的检查前为止)使吹送装置64执行气体的吹送。

[0074] 另一方面，如图6所示，在相对于投射室24A、24B位于大台40的旋转方向的上游的检查室22A中设置有检查检测器92(第二检查检测器)。检查检测器92也称为检查探测器。即，在本实施方式的喷丸硬化装置10中，在机壳12中共设置有两个检查检测器(检查检测器
72和检查检测器92)。检查检测器92可升降地配置于多个小台42中的进入检查室22A的内部的小台42(第三载置台)的上方。检查检测器92对保持于该小台42之上的被处理对象物W的表面特性进行检查。检查检测器92形成为筒状。检查检测器92具备被处理对象物W的磁性测评用的线圈，检测被处理对象物W的电磁特性。线圈对被处理对象物W激发涡流。

[0075] 具备图6和图7所示的检查检测器92的磁性测评装置90具备与检查检测器92连接的适配器94。适配器94具有控制交流电流的功能，并且将高频率的交流电向检查检测器92的线圈供给。适配器94经由配线(省略图示)与具有显示等功能的面板(省略图示)连接。

[0076] 设置于该检查室22A的磁性测评装置90具有与设置于检查室22B的磁性测评装置70相同的装置结构。此外，磁性测评装置70和磁性测评装置90在广义上理解为“非破坏性检查装置”。磁性测评装置70和磁性测评装置90能够通过与前工序的对比来对被处理对象物W的整个处理表面进行相对测评。

[0077] 适配器94配置于大台40的上方且配置于大台40的旋转轴41一侧，与检查检测器92一体化。检查检测器92与适配器94构成为一体升降。如图7所示，在适配器94经由托架176连结有汽缸机构178的杆状体部178A。此外，用于使检查检测器92以及适配器94升降的结构与用于使检查检测器72以及适配器74升降的结构是相同的结构。因此，针对用于使检查检测器92和适配器94升降的各构成要素，将在用于使检查检测器72以及适配器74升降的各构成要素的附图标记的前面添加“1”而得的附图标记显示在附图中，并且省略它们的说明。

[0078] 空气方向控制设备180与控制部84连接。控制部84控制空气方向控制设备180，由此能够控制活塞部178B的位移。若根据作业人员对操作面板100(参照图2)的操作，活塞部178B下降且检查检测器92下降至被处理对象物W的设置面，则检查检测器92以包围被处理对象物W的方式配置并且在该位置检测喷丸硬化处理前的被处理对象物W的电磁特性。磁性测评装置90基于电磁特性的检测结果来测评(判定)被处理对象物W的状态。

[0079] 另一方面，如图3所示，相对于机壳12在其搬入搬出侧(图中左侧)，在装置左侧(图中上侧)设置有定位装置(第一定位单元)106，并且在装置右侧(图中下侧)设置有定位装置(第二定位单元)126。在定位装置106设置有载置部108。在载置部108载置有被搬入机壳12的内部前的被处理对象物W。载置部108设置于在机壳12的外侧所设定的检查区域107。定位装置106具有将载置于载置部108之上的被处理对象物W定位于规定位置的功能。另一方面，在定位装置126设置有载置部128。在载置部128载置有从机壳12的内部被搬出的被处理对象物W。载置部128设置于在机壳12的外侧所设定的检查区域127。定位装置126具有将载置于载置部128之上的被处理对象物W定位于规定位置的功能。

[0080] 在载置部108的前方(图中左侧)设置有搬入输送机102(广义上为运送机构)。在载置部128的前方设置有搬出输送机122(广义上为运送机构)。搬入输送机102以及搬出输送机122沿装置左右方向隔开间隔地串联配置，将载置于各自之上的被处理对象物W从装置左侧向装置右侧运送。在搬入输送机102的上方设置有图1所示的读码器104。

[0081] 读码器104与搬入输送机102的运送方向中间部对应地设置。读码器104读取载置于搬入输送机102之上的被处理对象物W的信息。补充而言，例如在对被处理对象物W利用激光打标器预先进行制品识别用的标记(刻印)的情况下，图1所示的读码器104读取该标记的信息。此外，也可以不设置读码器104。也可以在搬出输送机122的上方设置与读码器104(参照图1)相同的读码器。

[0082] 在搬入输送机102的前方(图中左侧)设置有搬入侧NG滑槽112。在搬出输送机122的前方(图中左侧)设置有搬出侧NG滑槽132。并且，在搬入输送机102与搬出输送机122之间设置有作为运送装置的运送机器人114。

[0083] 如图1所示，运送机器人114是6轴机器人，用于被处理对象物W的运送用。运送机器人114包含用于把持被处理对象物W的把持部114A、和用于使把持部114A移动的臂114B。作为运送机器人114，能够应用公知构成的运送机器人，因此省略运送机器人114的构成的详细说明。运送机器人114除了将被处理对象物W在检查区域(检查区域107和检查区域127)、与搬入搬出侧(搬入室20A和搬出室20B)的小台42上的载置位置之间进行运送以外，还进行被处理对象物W的各种运送。以下，具体地进行说明。

[0084] 运送机器人114能够将在位于搬入输送机102的运送方向的下游的规定位置102A所配置的被处理对象物W运送至载置部108之上。运送机器人114能够将被处理对象物从载置部108运送至机壳12的内部而使其载置于位于搬入室20A的小台42(第四载置台)，并且能够将被处理对象物W从载置部108运送至搬入侧NG滑槽112之中。运送机器人114能够将进行了通过检查检测器92、72来检测电磁特性的检查的被处理对象物W从位于搬出室20B的小台42(第五载置台)搬出并载置于载置部128。运送机器人114能够将被处理对象物W从载置部
128运送至搬出输送机122的运送方向的上游端，并且将被处理对象物W从载置部128运送至搬出侧NG滑槽132中。

[0085] 在定位装置106的附近设置有残留应力测定装置110(第一残留应力测定装置)。残留应力测定装置110对载置于检查区域107的载置部108的规定位置的被处理对象物W的表面的残留应力进行测定。在定位装置126的附近设置有残留应力测定装置130(第二残留应力测定装置)。残留应力测定装置130对载置于检查区域127的载置部128的规定位置的被处理对象物W的表面的残留应力进行测定。此外，残留应力测定装置110和残留应力测定装置130是广义上被理解为“非破坏性检查装置”的要素。另外，作为残留应力测定装置110和残留应力测定装置130，作为一个例子，应用日本特开2017-009356号公报中公开的残留应力测定装置，其结构因上述公报而公知因此省略详细说明。

[0086] 这里，运送机器人114被设定为在设置于残留应力测定装置110的判定部(省略图示)对由残留应力测定装置110测定出的应力值进行了合格的判定的情况下，将载置部108之上的被处理对象物W载置于搬入室20A的小台42。运送机器人114被设定为在设置于残留应力测定装置110的判定部(省略图示)对由残留应力测定装置110测定出的应力值进行了不合格的判定的情况下，将载置部108之上的被处理对象物W运送至搬入侧NG滑槽112中。

[0087] 运送机器人114被设定为在设置于残留应力测定装置130的判定部(省略图示)对由残留应力测定装置130测定出的应力值进行了合格的判定并且磁性测评装置70基于检查室22B的检查检测器72的检测结果进行了合格的判定的情况下，将载置部128之上的被处理对象物W运送至搬出输送机122的运送方向的上游端。运送机器人114被设定为在设置于残留应力测定装置130的判定部(省略图示)对由残留应力测定装置130测定出的应力值进行的判定以及磁性测评装置70基于检查检测器72的检测结果进行的判定中的至少一方是不合格的判定的情况下，将载置部128之上的被处理对象物运送至搬出侧NG滑槽132中。

[0088] (喷丸硬化装置的动作等)

[0089] 接下来，对使用具有上述结构的喷丸硬化装置10的一系列的处理以及喷丸硬化装置10的动作进行说明。

[0090] 首先，作为预先准备，由作业人员将投射材料投入到投射材料投入部14。另外，作为启动准备，由作业人员对操作面板100进行操作，根据操作，集尘机38A、斗式升降机36C以及下部螺旋输送机36B被启动。由此投射材料被斗式升降机36C运送至装置上部，从斗式升降机36C投出的投射材料积存于装置上部的投射材料罐30I。此时，破碎的投射材料和比基准小的投射材料被集尘机38A吸引，利用分离器36D(参照图3)被分级。另外，超出投射材料罐30I的容量的投射材料被供给至振动筛36E，比振动筛36E的金属网部的网眼大的投射材料返回斗式升降机36C的下端部。

[0091] 在上述的预先准备和启动准备后，被处理对象物W被作业人员(或者机器人)设置于搬入输送机102。在运送被处理对象物W的中途由读码器104(参照图1)读取被处理对象物W的标记的信息。而且，若被处理对象物W被搬入输送机102运送至运送方向下游侧的规定位置，则被处理对象物W被运送机器人114运送至定位装置106的载置部108。

[0092] 在被处理对象物W被定位装置106定位后，由残留应力测定装置110来测定残留应力(应力值)。在利用设置于残留应力测定装置110的判定部(省略图示)对由残留应力测定装置110测定出的应力值进行了合格的判定的情况下，被处理对象物W被运送机器人114载置于搬入室20A的小台42。相对于此，在利用设置于残留应力测定装置110的判定部(省略图示)对由残留应力测定装置110测定出的应力值进行了不合格的判定的情况下，被处理对象物W被运送机器人114运送至搬入侧NG滑槽112。

[0093] 接下来，由作业人员对操作面板100进行操作，大台40根据操作以节拍式运转而旋转60°，由此配置于搬入室20A的小台42维持使被处理对象物W载置的状态并且移动至检查室22A。接着，由作业人员对操作面板100(参照图2，以下，适当地省略操作面板的参照附图的记载)进行操作，汽缸机构178根据操作而工作，由此筒状的检查检测器92下降至包围被处理对象物W的外周的位置。而且，检查检测器92检测喷丸硬化处理前的被处理对象物W的电磁特性，磁性测评装置90基于该检测结果对该被处理对象物W的表面的状态进行磁性测评来判定被处理对象物W是否合格。若检查室22A中的检查结束，则由作业人员对操作面板100进行操作，根据操作，汽缸机构178工作从而使检查检测器92上升至比被处理对象物W靠上方的位置。而且，大台40以节拍式运转而旋转60°，配置于检查室22A的小台42维持使被处理对象物W载置的状态并且移动至投射室24A。

[0094] 接下来，根据作业人员对操作面板100的操作，被处理对象物W旋转并且被进行喷丸硬化处理(详细后述)。接着根据作业人员对操作面板100的操作，大台40以节拍式运转而旋转60°，配置于投射室24A的小台42维持使被处理对象物W载置的状态并且移动至投射室24B。而且，根据作业人员对操作面板100的操作，被处理对象物W旋转并且被进行喷丸硬化处理(详细后述)。

[0095] 这里，参照图8等对被处理对象物W旋转并且被进行喷丸硬化处理的工序进行说明。此外，在图8中显示投射室24B且不显示投射室24A(参照图5)，在投射室24A中，也通过与投射室24B相同的机构进行相同的处理。因此，省略投射室24A中的处理的详细说明。此外，设置于投射室24A的机构与设置于投射室24B的机构是相同的机构，但各自独立设置。

[0096] 在图8所示的状态下，由作业人员对操作面板100进行操作，汽缸机构58根据操作进行工作，由此按压部54A下降，下降的按压部54A将被处理对象物W固定。此时，固定于按压用轴54的齿轮60A与齿轮60B连结，从而使驱动马达62的驱动力传递至按压用轴54，其结果是，被处理对象物W以及小台42围绕旋转轴43(参照图5)旋转。

[0097] 接下来，由作业人员对操作面板100进行操作，喷丸门30H根据操作而被打开，投射材料被供给至加压罐30G内。在加压罐30G内充分积存有投射材料时，由作业人员对操作面板100进行操作，喷丸门30H根据操作而被关闭且加压罐30G内被加压。而且，若加压罐30G被充分加压，则由作业人员对操作面板100进行操作，根据操作，压缩空气(空气)从空气供给部30D通过混合阀30C而在配管部30B内流动，并且加压罐30G之下的截止门30F被打开，流量调整装置30E的流路被打开。由此，投射材料从加压罐30G通过截止门30F、和流量调整装置30E而向混合阀30C流动。而且，投射材料顺着在混合阀30C中流动的压缩空气(通过气压)而被加速，通过配管部30B，从喷嘴30A朝向被处理对象物W喷射(投射)。由此，进行朝被处理对象物W进行的喷丸硬化处理。

[0098] 此外，从喷嘴30A向被处理对象物W投射的投射材料通过贯通形成于在机壳12中配置于大台40的周围的片状的部位12Z的孔部(省略图示)，经由料斗36A被供给到下部螺旋输送机36B。其后，投射材料被下部螺旋输送机36B运送至斗式升降机36C的下部。

[0099] 在以规定时间(在本实施方式中作为一个例子为30秒)投射了投射材料之后，由作业人员对操作面板100进行操作，汽缸机构58根据操作进行工作，由此按压部54A上升，被处理对象物W的按压被解除。

[0100] 若投射室24B中的处理作业结束，则由作业人员对操作面板100进行操作，大台40根据操作而以节拍式运转而旋转60°，配置于投射室24B的小台42维持使被处理对象物W载置的状态并且移动至检查室22B。接着，由作业人员对操作面板100进行操作，根据操作，吹送装置64朝向被保持于在检查室22B所配置的小台42之上的被处理对象物W吹送气体，并且汽缸机构78工作，从而使筒状的检查检测器72下降至包围被处理对象物W的外周的位置。其后，停止吹送装置64进行的气体的吹送且检查检测器72对喷丸硬化处理后的被处理对象物W的电磁特性进行检测。而且，磁性测评装置70基于该检测结果对该被处理对象物W的表面的状态进行磁性测评并对被处理对象物W是否合格进行判定。若检查室22B中的检查结束，则由作业人员对操作面板100进行操作，根据操作，汽缸机构78工作从而使检查检测器72上升到比被处理对象物W靠上方的位置。而且，大台40以节拍式运转而旋转60°，配置于检查室22B的小台42维持使被处理对象物W载置的状态并且移动至搬出室20B。

[0101] 接着，被处理对象物W被运送机器人114(参照图3)从搬出室20B的小台42运送至定位装置126的载置部128。在被处理对象物W被定位装置126定位后，由残留应力测定装置130测定残留应力(应力值)。

[0102] 而且，在设置于残留应力测定装置130的判定部(省略图示)对由残留应力测定装置130测定出的应力值进行了合格的判定并且磁性测评装置70基于检查室22B的检查检测器72的检测结果进行了合格的判定的情况下，运送机器人114将载置部128之上的被处理对象物W运送至搬出输送机122的运送方向的上游端。另外，在设置于残留应力测定装置130的判定部(省略图示)对由残留应力测定装置130测定出的应力值进行的判定和磁性测评装置70基于检查室22B的检查检测器72的检测结果进行的判定中的至少一方是不合格的判定的情况下，运送机器人114将载置部128之上的被处理对象物W运送至搬出侧NG滑槽132中。另一方面，已经被运送至搬出输送机122的运送方向的上游端的被处理对象物W由搬出输送机
122运送。

[0103] 在停止喷丸硬化装置10的工作时，由作业人员对操作面板100进行操作，集尘机38A、下部螺旋输送机36B以及斗式升降机36C的各马达根据操作而被停止。此外，在喷丸硬化装置10的工作中，在投射材料不足时，由作业人员从投射材料投入部14补给投射材料。

[0104] 此外，在本实施方式中，作为一个例子，作业人员依次操作操作面板100而使喷丸硬化装置10工作，但喷丸硬化装置10也可以构成为通过自动运转而如上述那样工作。即，例如，喷丸硬化装置10也可以被构成为在构成为包含操作面板100的控制面板组装有用于依次执行上述的一系列的动作的程序控制电路，喷丸硬化装置10依照该程序进行工作。在以那样的构成进行自动运转的情况下，例如，由作业人员按压操作面板100的自动运转的按钮，自动运转的信号根据该操作被输入程序控制电路，从而从程序控制电路向各驱动部发送动作指令，进行自动运转。

[0105] (实施方式的作用·效果)

[0106] 接下来，对上述实施方式的作用和效果进行说明。

[0107] 在本实施方式的喷丸硬化装置10中，在相对于投射室24A、24B位于大台40的旋转方向的上游的检查室22A中设置有检查检测器92，并且在相对于投射室24A、24B位于大台40的旋转方向的下游的检查室22B中设置有检查检测器72。检查检测器92可升降地配置于进入检查室22A的内部的小台42的上方，检查检测器72可升降地配置于进入检查室22B的内部的小台42的上方。而且，检查检测器92和检查检测器72对保持于小台42之上的被处理对象物W的表面特性进行检查。

[0108] 根据以上内容，在从将一个被处理对象物W搬入任一小台42上后开始进行投射处理(加工)以及检查直至将其从该小台42搬出的期间，能够对其他被处理对象物W进行搬入搬出、投射处理(加工)以及检查。另外，被处理对象物W的表面特性的检查在投射室24A、24B以外的室中进行，因此也无需使投射室24A、24B内的构造复杂化。

[0109] 如以上说明的那样，根据本实施方式的喷丸硬化装置10，具有将检查检测器72、92内置与装置内的结构，且能够缩短循环时间并且能够避免投射室24A、24B内的构造的复杂化。

[0110] 另外，在本实施方式中，不仅能够对喷丸硬化处理后的状态的被处理对象物W的表面特性进行检查(即喷丸硬化处理后的质量检查)，也能够对喷丸硬化处理前的状态的被处理对象物W的表面特性进行检查(即喷丸硬化处理前的质量检查)。由此，能够辨别前工序中是否存在不良状况，容易追查不良的原因。另外，在本实施方式中，针对喷丸硬化处理的处理前后进行被处理对象物W的全部检查，因此能够分析喷丸硬化处理的处理前后的随时间变化的趋势，能够确认喷丸硬化装置10的不良状况(例如不良、以及损耗等)。

[0111] 另外，在本实施方式中，检查室22B兼作鼓风室。即，在检查室22B设置有检查检测器72以及吹送装置64，并且吹送装置64能够朝向被保持于进入检查室22B的内部的小台42之上的被处理对象物W吹送气体。因此，即便投射材料以及粉尘附着于被处理对象物W，也能够在使检查检测器72退避至被处理对象物W的上方的状态下从吹送装置64向被处理对象物W吹送气体，由此能够将该投射材料、粉尘吹走(除去)。由此，能够高精度地检查被处理对象物W的表面特性。

[0112] 另外，在本实施方式中，吹送装置64设定于能够朝向下降的状态的检查检测器72进行气体的吹送的位置。因此，即便在检查检测器72附着有粉尘，也能够利用从吹送装置64进行的气体的吹送来将该粉尘吹走(除去)。由此，能够防止或者有效地抑制在检查检测器72积存粉尘。其结果是，检查检测器72被保持为检查精度优良的状态(与初始状态大体相同的状态)，因此能够进一步高精度地检查被处理对象物W的表面特性。

[0113] 另外，在本实施方式中，集尘机38A吸引机壳12中的包含粉尘的空气。因此，若在检查室22B中借助被吹送装置64进行的气体的吹送将粉尘从被处理对象物W吹走，则在检查室22B中被吹走(飘升)的粉尘等经由投射室24B，并经由管道38C1、沉降室38D以及管道38C2，与空气一同被集尘机38A吸引。因此，能够进一步高精度地检查被处理对象物W的表面特性。
附带而言，若将集尘机38A与机壳12连结的管道在机壳12中与投射室以外的室的上侧连接，则有在集尘机38A进行的吸引时，投射室内的气体流入(混入)连接有上述管道的室的担忧。
然而，在本实施方式的结构中也不会产生这样的情况。

[0114] 另外，在本实施方式中，如图7所示，检查检测器72、92与适配器74、94一体升降，因此能够以简易的结构维持检查检测器72、92的检测性能。补充而言，例如本实施方式的情况下，检查检测器72、92与适配器74、94一体化且检查检测器72、92与适配器74、94的距离较短。因此，能够将来自适配器74、94的高频率的交流电向检查检测器72、92的线圈良好地供给，因此能够以简易的结构维持检查检测器72、92的检测性能。

[0115] 另外，在本实施方式中，适配器74、94在大台40的上方配置于大台40的旋转轴41的附近，因此容易进行检查室22B的内表面侧以及检查室22A的内表面侧的各自的维护。

[0116] 另外，在本实施方式中，在检查室22B中，适配器74在大台40的上方配置于旋转轴41的附近，相对于此，吹送装置64在俯视下配置于大台40的外侧。因此，能够防止通过吹送装置64排出的气体被适配器74妨碍前进。

[0117] 另外，在本实施方式中，在载置部108载置有被搬入机壳12的内部前的被处理对象物W。而且，残留应力测定装置110测定载置于载置部108的规定位置的被处理对象物W的表面的残留应力。另外，运送机器人114将被处理对象物W从载置部108搬入机壳12的内部并载置于小台42(参照图5)，并且将由检查检测器72、92(参照图6)检查了表面特性的被处理对象物W从机壳12的内部的小台42(参照图5)搬出并载置于载置部128。而且，残留应力测定装置130对载置于载置部128的规定位置的被处理对象物W的表面的残留应力进行测定。相对于此，检查检测器72、92检测被处理对象物W的电磁特性。

[0118] 因此，针对被处理对象物W，能够在喷丸硬化处理的前后检测被处理对象物W的电磁特性，并且能够在喷丸硬化处理的前后测定被处理对象物W的表面的残留应力。

[0119] 另外，在本实施方式中，被处理对象物W的电磁特性的检测(及其磁性测评)与被处理对象物W的表面的残留应力的测定(及其测评)均以非破坏性检查进行，因此能够进行全部检查。

[0120] 此外，在本实施方式中，如图8所示，用于使被处理对象物W以及小台42旋转的驱动机构设置于按压机构52，驱动马达62等配置于机壳12的上方。因此，能够扩大大台40的下方的有效空间，并且投射材料不会碰撞驱动马达62等，因此驱动马达62等难以发生故障，此外喷嘴30A、配管部30B、下部螺旋输送机36B、以及驱动用马达36G等的维护也容易进行。

[0121] (实施方式的补充说明)

[0122] 此外，作为上述实施方式的变形例，如图7所示，吹送装置66的喷嘴66A(以双点划线图示)也可以固定于适配器74。吹送装置66能够朝向被保持于进入检查室22B的内部的小台42之上的被处理对象物W进行气体的吹送。根据这样的变形例，吹送装置66的喷嘴66A与适配器74一体升降，因此能够有效地利用检查室22B内的空间。另外，在这样的变形例中，例如，也可以在为了使用检查检测器72来检查被处理对象物W而使检查检测器72下降时，使检查检测器72在下降的中途暂时停止而利用吹送装置66的喷嘴66A朝向被处理对象物W吹送气体之后，使检查检测器72下降至检查位置而利用检查检测器72来检查被处理对象物W。此外，也可以设置上述变形例的吹送装置66来代替上述实施方式的吹送装置64，也可以上述变形例的吹送装置66与上述实施方式的吹送装置64并存。在使上述变形例的吹送装置66与上述实施方式的吹送装置64并存的情况下，能够进一步有效地将附着于被处理对象物W的投射材料和粉尘吹走。

[0123] 另外，在上述实施方式中，用于使检查检测器72、92升降的汽缸机构78、178是空气汽缸机构。汽缸机构78、178也可以是具备电动伺服马达的伺服汽缸机构(电动汽缸机构)来代替上述这样的空气汽缸机构。

[0124] 另外，在本实施方式中，检查检测器72、92在被处理对象物W的磁性测评中使用。然而，检查检测器72、92例如也可以像与残留应力测定装置110以及残留应力测定装置130同样的残留应力测定装置等那样，在被处理对象物W的磁性测评以外的表面特性检查中使用。

[0125] 另外，在上述实施方式中，在机壳12的内部设置有共6个室和6个小台42。作为上述实施方式的变形例，也可以代替搬入室20A和搬出室20B，而设置供被处理对象物W搬入搬出的搬入搬出室。另外，检查室22A和投射室24A能够省略。即，在机壳12的内部，也可以设置共3个室(搬入搬出室、投射室24B、以及检查室22B)。该情况下，也可以设置3个小台42。另外，在上述变形例也可以设置检查室22A。即，在机壳12的内部也可以设置共4个室(搬入搬出室、检查室22A、投射室24B、以及检查室22B)。该情况下，也可以设置4个小台42。即，机壳12的内部的室和小台42的数量并不限定于上述实施方式的例子。

[0126] 作为上述实施方式的其他变形例，机壳12的内部的室的数量例如也可以是8个。例如，也可以在机壳12的内部还设置2个检查室。在2个检查室中设置有与残留应力测定装置110、130同样的残留应力测定装置来作为检查检测器。

[0127] 另外，在上述实施方式中，在检查室22B设置有检查检测器72和吹送装置64，检查室22B兼作鼓风室。在检查室22B也可以不设置吹送装置64。

[0128] 另外，在上述实施方式中，检查检测器72、92与适配器74、94构成为一体升降。作为上述实施方式的变形例，也能够采用只有检查检测器72、92升降，适配器74、94配置于从检查检测器72、92远离的位置而不进行升降的结构。补充而言，例如，磁性测评装置(表面特性检查装置)也可以具备检查检测器、适配器、具有显示等功能的面板、以及基准检测器。在该表面特性检查装置中，检查检测器与基准检测器可以构成为一体升降，适配器和面板可以配置于从检查检测器远离的位置而不进行升降。基准检测器对作为与来自检查检测器的输出做比较的基准的基准状态进行检测。此外，包含检查检测器和基准检测器的表面特性检查装置例如是在日本专利第5877505号公报等中所公开的装置。

[0129] 另外，在上述实施方式中，适配器74、94在大台40的上方配置于大台40的旋转轴41的附近。作为上述实施方式的变形例，与检查检测器72、92连接的适配器74、94也可以在大台40的上方配置于从大台40的旋转轴41远离的位置。

[0130] 另外，在上述实施方式中，吹送装置64在俯视下配置于大台40的外侧，但吹送装置64也可以在俯视下配置于大台40的旋转轴41一侧。

[0131] 另外，在上述实施方式中，如图8所示，用于使被处理对象物W和小台42旋转的驱动机构设置于按压机构52。用于使被处理对象物W和小台42旋转的驱动机构例如也可以像在日本特开2012-101304号公报中所公开的机构那样，与小台42的旋转轴43连结。

[0132] 另外，在上述实施方式中，喷丸硬化装置10相对于机壳12在其搬入搬出侧具备包含载置部108、载置部128、运送机器人114、残留应力测定装置110以及残留应力测定装置130的构成部，但也可以不具备那样的构成部。另外，作为上述实施方式的变形例，喷丸硬化装置10也可以不具备载置部108以及残留应力测定装置110，也可以具备载置部128以及残留应力测定装置130。另外，喷丸硬化装置10也可以不具备载置部128以及残留应力测定装置130，也可以具备载置部108以及残留应力测定装置110。另外，作为上述实施方式的其他变形例，一台残留应力测定装置也可以测定被搬入机壳12的内部前的被处理对象物W的表面的残留应力和从机壳12的内部搬出的被处理对象物W的表面的残留应力双方。另外，在上述实施方式中，检查区域由检查区域107和检查区域127构成，但也可以由一个检查区域构成。

[0133] 另外，在上述实施方式中，设置有用于将被处理对象物W定位于规定位置的定位装置106、126。作为上述实施方式的变形例，也可以是运送机器人114将被处理对象物W定位于规定位置。该情况下，可以是运送机器人114将被处理对象物W载置于检查区域107、127的载置部108、128的规定位置，也可以是运送机器人114保持被处理对象物W且维持定位于检查区域107、127的规定位置的状态并且在该状态下残留应力测定装置(残留应力测定装置110和残留应力测定装置130)测定被处理对象物W的表面的残留应力。

[0134] 另外，在上述实施方式中，喷丸处理装置是喷丸硬化装置10，但喷丸处理装置例如也可以是喷砂装置，也可以是包含喷丸硬化装置和喷砂装置的装置。

[0135] 另外，在上述实施方式中，投射机是将投射材料与压缩空气一同压送并从喷嘴30A喷射的空气喷嘴式的喷射装置30，但投射机例如也可以是将投射材料利用离心力进行加速并投射的离心式的投射机等那样的其他投射机。

[0136] 此外，上述实施方式和上述的变形例能够适当地组合来实施。

[0137] 以上，对本公开的一个例子进行了说明，但本发明并不限定于上述内容，除上述内容以外，在不脱离其主旨的范围内能够进行各种变形来实施是显而易见的。

[0138] 附图标记说明

[0139] 10…喷丸硬化装置(喷丸处理装置)；12…机壳；20A…搬入室(投射室以外的室)；20B…搬出室(投射室以外的室)；22A…检查室(投射室以外的室)；22B…检查室(投射室以外的室、鼓风室)；24A…投射室；24B…投射室；30…喷射装置(投射机)；38A…集尘机；40…大台(旋转台)；41…旋转轴(第一旋转轴)；42…小台(载置台)；43…旋转轴(第二旋转轴)；
64…吹送装置；66…吹送装置；66A…喷嘴；72…检查检测器；74…适配器；92…检查检测器；
94…适配器；107…检查区域(检查区域)；108…载置部；110…残留应力测定装置(残留应力测定装置)；114…运送机器人(运送装置)；127…检查区域(检查区域)；128…载置部；130…残留应力测定装置(残留应力测定装置)。

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