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太阳能 电池检测装置

阅读：1033发布：2020-09-15

专利汇可以提供太阳能电池检测装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明提供一种太阳能电池的检测装置，以顺向电流流过太阳能电池，使其发出电致发光，不仅构造较为简单，且在摄像分辨率较佳的状态下，可缩短缺陷检查的时间。本发明的太阳能电池的检测装置包括：其上表面111具有开口部112的暗室110；设置在上述暗室110的上表面，并保持作为待测物200的太阳能电池位在上述开口部112上的支撑手段；设置在上述暗室110的内部，并对上述待测物200进行摄像的多个照相机 121、122、123；使上述多个照相机在上述暗室内移动的移动手段。移动手段由x轴导引部140、马达142及同期皮带144构成。，下面是太阳能电池检测装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种太阳能电池的检测装置，其以顺向电流流过作为待测物的太阳能电池，使所述太阳能电池发出电致发光，通过多个照相机对所述电致发光摄像并根据摄像影像检查所述太阳能电池的缺陷，所述太阳能电池的检测装置的特征在于，包括：
一暗室，其一上表面具有一开口部；
一支撑手段，设置在所述暗室的所述上表面，并将作为所述待测物的所述太阳能电池保持在所述开口部上；
所述多个照相机，设置在所述暗室的内部，并对所述待测物进行摄像；以及一遮光手段，覆盖作为所述待测物的所述太阳能电池、所述开口部及所述支撑手段，其中，作为所述待测物的所述太阳能电池的待测部分被区分为多个区域，所述多个照相机分别相对于所述多个区域设置，所述多个照相机在所述多个区域摄像时相邻接区域的摄像影像的边界部分会重迭，通过将全部摄像影像连接得到所述太阳能电池全体的摄像影像。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的检测装置，其特征在于，还包括：
一移动手段，使所述暗室内的所述多个照相机移动。
3.根据权利要求2所述的太阳能电池的检测装置，其特征在于，所述移动手段具有一支撑组件固定所述多个照相机，以使所述支撑组件直线地进退。
4.根据权利要求1至2任一项所述的太阳能电池的检测装置，其特征在于，所述多个照相机分别设有用以对所述太阳能电池的责任区进行摄像的一反射板。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池的检测装置，其特征在于，所述移动手段使所述反射板与所述照相机对应移动。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池的检测装置，其特征在于，还包括：
一晃动手段，设置在所述暗室内分别使所述多个照相机晃动，通过使各照相机晃动，以对所述太阳能电池的责任区进行摄像。
7.根据权利要求1所述的太阳能电池的检测装置，其特征在于，还包括：
一晃动手段，所述多个照相机分别设有对所述太阳能电池的责任区进行摄像的一反射板，所述晃动手段晃动所述反射板。

说明书全文

太阳能 电池检测装置

技术领域

[0001] 本发明关于一种检测装置，用以检测如太阳能电池单元、一排太阳能电池单元连接形成的太阳能电池串行、多个太阳能电池串行平行设置的太阳能电池面板等的太阳能电池性能。

背景技术

[0002] 作为太阳能的利用方法，公知是利用含硅的太阳能电池。在太阳能电池的制造中，太阳能电池是否具有目标发电能力的性能评价是很重要的，而性能评价通常是测定输出特性。

[0003] 太阳能电池的输出特性是，在光照射下，对太阳能电池的电流电压特性进行测定，以作为其光电转换特性。作为光源，以太阳光较佳，但太阳光可能因天候而有不同的强度变化，因此常使用太阳光模拟器。太阳光模拟器利用氙灯及金属卤化物灯等来取代太阳光。又，这些光源长时间点亮后，会因温度上升等而产生光量的变化。因此，这些灯源利用闪光，以横轴为电压，纵轴为电流，将所收集到的数据作图后，即可得到太阳能电池的输出特性曲线(例如，请参照专利文献1)。

[0004] 另外，还有与上述太阳光模拟器不同的测定方式，例如在专利文献2中揭露有，对多晶硅型的太阳能电池单元，施加顺向电压，以产生电致发光(electroluminescence，EL)的方法。又，薄膜型太阳能电池也可产生同样的现象。因此，经由观察太阳能电池单元发出的电致发光，可知道其电流密度分布，而由电流密度分布不均可查知太阳能电池具有缺陷。换言之，不发光的部分可判断是缺陷部分。由此，若缺陷部分的面积比预设的少，则可判断太阳能电池具有预设的发电能力。

[0005] 图7是专利文献2记载的检测装置的结构示意图。检测装置10由暗室11、设置在暗室11上部的CCD照相机12、使电流通过至承载在暗室11床面的太阳能电池单元13的电源14，以及处理从CCD照相机12输出的影像信号的影像处理装置15所构成。

[0006] 暗室11具有窗11a，CCD照相机12的取景器(ﬁnder)12a对应窗11a设置，使用者经由取景器12a可利用肉眼观看，来确认CCD照相机12的摄像影像。影像处理装置15是计算机。

[0007] 专利文献1：特开2007-88419

[0008] 专利文献2：WO/2006/059615

[0009] 发明的揭露

[0010] 发明所解决的课题

[0011] 如图7所示的检测装置10将太阳能电池单元13置放在下方，并从上方利用照相机摄像。然而，由太阳能电池单元13发出的电致发光是波长从1000nm至1300nm的微弱光线，因此必须利用暗室11否则无法检测。若待测物是一颗太阳能电池单元，由于面积仅是100厘米平方的程度，因此暗室11较小也可。

[0012] 但，若是太阳能电池面板，尺寸大约是2m×1m的程度，暗室11也因此必须要有能收纳这种尺寸的太阳能电池面板的大小。又，待测物的太阳能电池面板，由于若不放置在暗室内CCD照相机12就无法摄像，因此暗室必须设有可让太阳能电池面板进出的门。若将待测物200搬入此种检测装置的暗室内，还必须确保当所设置的门闭合时的遮光性。再者，也必须将搬入检测装置后的太阳能电池的位置固定组件及搬送导引组件设置在暗室内。更甚者，为了让电流流过太阳能电池的通电手段也必须设置在暗室内。换言之，暗室的构造变得非常复杂，且成本也变得非常的高。

[0013] 又，若利用一台照相机来对大型的太阳能电池面板摄像时，照相机与太阳能电池面板之间必须有较大的间距，如此也会造成暗室大型化。若利用照相机边移动边对太阳能电池面板各部分，分为多次来摄像，照相机与太阳能电池面板之间的距离可缩小，从而暗室也可小型化，但如此则会产生检测时间较长的问题。再者，若为了缩短检测时间而减少摄像次数，则一次摄像所涵盖的太阳能电池面板面积会增大，如此则会产生摄像的影像分辨率变得粗糙，而无法正确检查缺陷的问题。

发明内容

[0014] 本发明的目的是提供一种太阳能电池的检测装置，本发明的检测装置以顺向电流流过太阳能电池，使其发出电致发光，本发明的检测装置不仅构造较为简单，且在摄像分辨率较佳的状态下，可缩短缺陷检查的时间。

[0015] 解决课题的手段

[0016] 本发明的太阳能电池的检测装置包括：其上表面具有开口部的暗室；设置在上述暗室的上表面，并将作为待测物的太阳能电池保持在上述开口部上的支撑手段；设置在上述暗室的内部，并对上述待测物进行摄像的多个照相机。其中，通过各照相机对上述太阳能电池的责任区进行摄像，来对太阳能电池全体进行摄像。

[0017] 又，本发明的太阳能电池的检测装置还可设置使上述暗室内的上述多个照相机移动的移动手段。上述移动手段具有固定上述多个照相机的支撑组件，且上述支撑组件可直线地进退。上述多个照相机分别设有用以对上述太阳能电池责任区进行摄像的一反射板。上述移动手段可使反射板与上述照相机对应移动。再者，还可在上述暗室内设置分别使上述多个照相机晃动的晃动手段，通过使各照相机晃动，对上述太阳能电池的责任区进行摄像。

[0018] 或者，上述多个照相机分别设有对上述太阳能电池的责任区进行摄像的反射板，本发明还设置有晃动手段，用于晃动上述反射板。再者，上述开口部可利用一透明板封闭。

[0019] 发明的效果

[0020] 通过本发明的检测装置检测太阳能电池时，首先，在暗室上表面的开口部上，支撑作为待测物的太阳能电池。电流流过太阳能电池，使构成太阳能电池的各太阳能电池单元发出电致发光。通过多个照相机对此发光状态摄像，经由与照相机连接的影像处理装置来分析，以判断太阳能电池有无缺陷。

[0021] 太阳能电池可承载在暗室的上表面，在暗室外进行检测，由此不需设置让作为待测物的太阳能电池进出的门。因此，暗室可小型化，且构造可较为简单。

[0022] 通过多个照相机对太阳能电池进行区分，仅对责任区进行摄像，在摄像分辨率良好的状态下，可短时间的进行缺陷检查。又，因摄像对象的面积变小，照相机与太阳能电池间的距离也可较小，由此暗室可小型化，制造成本也较低。上述移动手段具有固定上述多个照相机的支撑组件，经由使支撑组件直线地进退，多个照相机可同时以同方向及相同速度移动，可以只利用一个移动手段，因此也可降低制造成本。

[0023] 再者，若太阳能电池面板是在生产线(层压(laminate)装置等制造装置)上的话，以其受光面朝下搬送。因此，本发明的检测装置经由在暗室上表面设置开口部、可使太阳能电池面板不需反转，直接载置在本发明的检测装置。更甚者，若设置相对于开口部倾斜的反射板，并通过照相机对照映在反射板的影像摄像、可使暗室更进一步地小型化。因此，通过多个照相机来摄像、可使摄像影像的分辨率在较佳的状态下，从而缩短检查时间。由此，本发明的检测装置即使加入至太阳能电池的生产线，也可维持良好的缺陷检查精确度，并缩短单件产品生产时间(tact time)。附图说明

[0024] 图1是本发明的检测装置的示意图，(a)是平面图，(b)是(a)的正面图，(c)是右侧视图。

[0025] 图2是太阳能电池的检测装置的照相机及照相机驱动装置的结构示意图，(a)是平面图，(b)是(a)的A-A剖面前向视图，(c)是(a)的B-B剖面右向视图，(d)是对待测物摄像时，各照相机负责的部分示意图。

[0026] 图3是暗室可更进一步小型化的本发明实施例示意图，(a)是平面图，(b)是(a)的C-C剖面前向视图，(c)是(a)的D-D剖面右向视图。

[0027] 图4是作为照相机的移动手段，晃动照相机的实施态样示意图，(a)是平面图，(b)是(a)的E-E剖面前向视图，(c)是(a)的F-F剖面右向视图，(d)是对待测物摄像时各照相机责任区的示意图。

[0028] 图5是仅晃动反射板的实施态样示意图，(a)是平面图，(b)是(a)中的G-G剖面前向视图，(c)是(a)中的H-H剖面右向视图。

[0029] 图6是说明在本发明的检测装置检测的太阳能电池的结构示意图，(a)是平面图，(b)是剖面图。

[0030] 图7是专利文献2记载的检测装置的结构示意图。

[0031] 主要元件符号说明：

[0032] 100：太阳能电池的检测装置

[0033] 108：透明板

[0034] 110：暗室

[0035] 111：上表面

[0036] 112：开口部

[0037] 114：导引组件(支撑组件)

[0038] 115：辊子(支撑组件)

[0039] 119：位置固定金属件

[0040] 121、122、123、124：照相机

[0041] 130、150：支撑梁(支撑手段)

[0042] 140：x轴导引部(移动手段)

[0043] 142：马达(移动手段)

[0044] 144：同期皮带(移动手段)

[0045] 200：待测物

[0046] 131、132、133：反射板

[0047] 151：晃动手段

具体实施方式

[0048] 以下将参照相关附图，说明本发明的实施例。

[0049] <1>待测物(太阳能电池模块)

[0050] 首先，说明关于本发明的检测装置所处理的待测物200。图6是本发明的检测装置测定的太阳能电池结构示意图，(a)是可得知太阳能电池内部的太阳能电池组件的平面图，(b)是(a)的剖面图。

[0051] 如图6(a)的平面图所示，待测物200的太阳能电池模块，是由多个方形的太阳能电池组件28经由导线29串联连接，形成串行25、再由多排的串行25经由导线29连接而构成。

[0052] 作为待测物200的太阳能电池模块，可以是只具有一颗太阳能电池单元28，或者是由多个太阳能电池单元28直线排列的串行25，或者是将多个串行25平行排列以使太阳能电池单元28呈矩阵状设置的太阳能电池面板30亦可。如图所示，在太阳能电池面板30的周缘部，具有非太阳能电池单元28等的受光面的空白部分30a。

[0053] 又，待测物200的剖面结构如图6(b)所示，在设置在上侧的背面材22与设置在下侧的透明保护玻璃(cover glass)间，具有通过充填材23、24夹置多个串行25的结构。

[0054] 背面材22例如可使用聚乙烯(polyethylene)树脂等材料。充填材23、24例如可使用EVA树脂(乙烯/醋酸乙烯酯共聚物(poly(Ethylene Vinyl Acetate))树脂)。串行25如上述，在电极26、27间，通过导线29连接太阳能电池单元28而构成。

[0055] 由此，太阳能电池模块可通过将如上所述的构成部材，经由层压装置等层积，并在真空加热状态下加压，使EVA树脂产生交联(cross linking)反应，而层压加工获得。

[0056] 又，作为待测物200，亦可利用一般称作薄膜式的太阳能电池为对象。

[0057] 在薄膜式的代表性结构中，设置在下侧的透明保护玻璃上，预先蒸镀由透明电极、半导体、背面电极所构成的发电元件。接着，薄膜式太阳能电池模块可经由将透明保护玻璃朝下设置，并覆盖充填材在玻璃上的太阳能电池单元上，且在充填材上再覆盖背面材，而同样地可经由层压加工形成。

[0058] 因此，如上所述作为待测物200的薄膜式太阳能电池模块，仅将多晶太阳能电池单元改变为蒸镀的发电元件，基本的密封结构与前述多晶太阳能电池的情况相同。

[0059] <2>检测装置的全体构造

[0060] 图1是本发明的检测装置的示意图。(a)是平面图，(b)是正面图，(c)是右侧视图。图2是太阳能电池的检测装置的照相机及照相机驱动装置的结构示意图。(a)是平面图，(b)是(a)的A-A直线剖面图，(c)是(a)的B-B直线剖面图，(d)是对待测物摄像时，各照相机负责的部分示意图。如所述附图所示，本发明的太阳能电池的检测装置100，在立方体箱形的暗室110的平坦上表面111上，穿设开口部112。开口部112考虑待测物200大小来形成在一部分的暗室110上表面。在暗室110内，设置有检查测定作为待测物200的太阳能电池的三台照相机121、122、123，以及此些照相机的移动手段。不过，对应不同的用途，亦可不设置照相机121、122、123的移动手段。暗室110上表面111除了开口部112以外，是由光线无法射入的遮光性材质构成。更进一步，上表面111承载作为待测物200的太阳能电池后，若利用遮光手段覆盖待测物200和上表面111全体，则将上表面111全部作为开口部112亦可。又，上表面以外的四个侧面及底面皆利用遮光性材质。在上表面111，设置有导引待测物200的搬送的一对导引组件114。导引组件114、114间的距离，可对应待测物200的尺寸作变更。

[0061] <3>待测物的搬运的导引及位置的决定

[0062] 导引组件114是矩形剖面细长轨道状，在本发明的检测装置100的上表面，沿待测物200的运送方向成对设置。在各导引组件114的内侧面，设置多个辊子(roller)115，待测物200在所述辊子115上被移动搬送。导引组件114及多个辊子115构成将太阳能电池面板30保持在开口部112上的支撑组件。因此，待测物200搬送及测定时，待测物200不会由开口部112落入暗室110内。又，导引组件114还具有设置在待测物200的搬入侧及搬出侧的移动用轨道116，以及可经由送入螺丝117及把手118来对应待测物200的长宽作调整等结构。换言之，送入螺丝117一侧为右旋螺丝另一侧为左旋螺丝，经由把手118的旋转，使导引组件114、114在中心位置为固定的状态下，可相互接近或远离。又，搬入侧及搬出侧的送入螺丝117，经由具有伞状齿轮的转向轴(cross shaft)113连结，通过旋转把手118，两侧的送入螺丝117可经由伞状齿轮而同时旋转。

[0063] 在另一侧的导引组件114的侧面，具有经由致动器(actuator)等而可进进出出的位置固定金属件119。被搬送的待测物200，可通过将位置固定金属件119突出以固定搬送方向。位置固定金属件119不仅可利用由导引组件114侧面进进出出的构成，亦可利用由导引组件114的上方上上下下的方式，或者由导引组件114旋转下降等方式构成。另外，亦可沿导引组件114的长轴方向设置多个位置固定金属件119，并对应待测物200尺寸的改变，使用其中的一个适当的位置固定金属件119。或者，亦可利用位置固定金属件119本身可以沿导引组件114长轴方向移动的构成，来对应待测物200的尺寸作改变。

[0064] <4>摄像用照相机

[0065] 从由待测物200发出的电致发光是从1000nm至1300nm波长的微弱光线，在暗室内发光，通过三台摄像用照相机121、122、123对所述微弱光线摄像。由此，作为摄像用照相机121、122、123，必须利用对微弱光线感度好的CCD照相机。在本实施例中使用滨松Photonics制造的C9299-02型(Si-CCD照相机)。

[0066] <5>照相机的移动手段

[0067] 图2是太阳能电池的检测装置的照相机及照相机驱动装置的结构示意图。(a)是平面图，(b)是(a)的A-A剖面前向视图，(c)是(a)的B-B剖面右向视图，(d)是对待测物摄像时，各照相机负责的部分示意图。暗室110内的照相机121、122、123，朝上固定设置在作为支撑手段的支撑梁130上，中央的照相机122设置在导引组件114、114的中央，两侧的照相机121、123与中央的照相机122以等间距分离设置。支撑梁130的两端，由使照相机121、122、123在y轴方向移动的y轴导引部140、140所支撑。且，经由马达142与两侧的同期皮带(timing belt)144、144，支撑梁130可在y轴导引部140上沿y轴方向进退。在上述的构成中，y轴导引部140、140、马达142与同期皮带144、144构成照相机121、122、123的移动手段。y轴导引部140、140，可利用各种线性致动器，在本实施例中，其利用滚珠丝杆。

[0068] 不过，驱动方式非以上述使用马达及滚珠丝杆的实施例为限，亦可使用其它各种线性致动器。

[0069] 通过旋转控制移动手段的马达142、可使照相机121、122、123在y轴上的任意位置移动。如图2(d)所示，在装置的y轴方向上将待测物200分为两部分，在装置的x轴方向上将待测物200分为三部分，共6个责任区，照相机121、122、123在装置的y轴方向上移动，如符号1、2所示分二次摄像。上述的照相机数量、移动次数(摄像次数)以及移动方向仅是举例性，只要符合目的可有不同的选择。

[0070] 在本发明中，对于多台照相机，仅需要一个移动手段。多台照相机全部一起只往相同方向移动，并移动相同距离。作为移动手段，由于仅需要在y轴方向上进退，因此构造较为简单，且能降低制造成本。

[0071] <6>遮光手段

[0072] 遮光手段在上述说明中，完全覆盖暗室110上表面111的上部。然而，若是太阳能电池面板30的情况，背侧树脂制的背面基材22是不透明，遮旋光性已足够。又，暗室110的上表面111除开口部112以外，皆是遮旋光性材质所构成。因此，待测物200较开口部112大，开口部112的周缘部与太阳能电池面板30的空白部分30a紧密连接时，由于开口部112全体被待测物200所覆盖，可不需要遮光手段。

[0073] 然而，若待测物200较开口部112小，或待测物200未与开口部112紧密连接而以一距离被支撑等情况时，因光线会从间隙射入暗室110内，必须利用遮光手段覆盖。作为遮光手段，例如，暗室110上面全部覆盖遮光罩等，可采用各种不同的形态。

[0074] <7>其它机器

[0075] 附图省略的其它机器，如图7的公知技术所示，设置有电源14及利用计算机作为影像处理装置15。

[0076] <8>检测装置的使用方法

[0077] 以作为待测物200的太阳能电池面板30为例，说明本发明的太阳能电池检测装置100的使用方法。

[0078] 层压装置等制造搬出太阳能电池面板30，接着，以输送机(conveyer)等搬送至本发明的太阳能电池的检测装置100前。搬送来的太阳能电池面板至一对的导引组件114、114间被导引，并在设置在导引组件内侧的滚子115上移动而到达暗室110。接着，通过设置在导引组件114侧面，经由致动器等可进进出出的位置固定金属件119突出动作，以固定搬送方向的位置。

[0079] 到达暗室110预设位置的太阳能电池面板30(即待测物200)，是透明保护玻璃21朝下，停止在暗室110的开口部112上，并与图中未表示的电源连接。由于待测物200较开口部112小，周围的光会射入暗室110内，因此利用图中未表示的遮光手段覆盖待测物200至暗室110上表面全体。待测物200由电源通过顺向电流。由于待测物200会发出电致发光，因此通过照相机121、122、123摄像。

[0080] 各照相机121、122、123，如图2(d)所示，在待测物200区分的6个责任区中，分别负责2个部分。接着，各照相机121、122、123借着移动手段沿y轴移动，如符号1、2所示二次摄像合计得到共6个责任区的影像。各影像与邻接影像的边界部分稍微重迭，各照相机的影像数据可轻易地合成为一颗太阳能电池面板的影像。

[0081] 因具有多台照相机，照相机可与待测物200接近设置，暗室110的高度可缩小。且，照相机的数量非以3台为限，亦可具有多台。又，在上述实施例中，照相机沿x轴方向设置，沿y轴方向移动。相反地，照相机亦可沿y轴方向设置，沿x轴方向移动。

[0082] 又，各照相机因为接近待测物200进行摄像，可得到鲜明的影像。再者，由于一台照相机平均负责的摄像部分面积较小，由此可短时间对待测物200全体进行摄像。

[0083] 照相机121、122、123，例如在x轴方向间隔设置，在长轴方向上将待测物200分为3等分，分别对1/3的部分进行摄像，若1次摄像可摄像待测物200全体，则不需要移动手段。若不需要移动手段，照相机121、122、123可固定在暗室110底部进行摄像。

[0084] 在上述实施例中，待测物200是太阳能电池面板30，然非以此为限。待测物200亦可仅为一个太阳能电池单元28，或者多个太阳能电池单元28以导线29连接形成的串行25。

[0085] 影像处理装置经由太阳能电池面板的影像，分析各太阳能电池单元28不发光的部分，并判断太阳能电池单元28是否合格，根据全部太阳能电池单元28的是否合格判断结果，判断太阳能电池面板30全体是否合格。

[0086] 且，经由照相机121、122、123进行摄像，通过增加照相机的台数及移动次数可对一个太阳能电池单元进行摄像，或者亦可对数个太阳能电池单元进行摄像。

[0087] <9>使用反射板的实施态样

[0088] 图3是暗室可更进一步小型化的本发明实施例示意图。(a)是平面图，(b)是(a)的C-C剖面前向视图，(c)是(a)的D-D剖面右向视图。在暗室内部，具有作为支撑手段的支撑梁130，在此对3台照相机121、122、123横向支撑。支撑梁130的两端由x轴导引部140、140支撑，经由马达142、同期皮带144、144、可使照相机121、122、123一起沿y轴进退相同的距离。以上与图2的实施例相同。

[0089] 在本实施例中，各照相机前设置有相对于开口部112倾斜的铝制等反射板131、132、133。各反射板131、132、133与对应的照相机121、122、123结合为一体，与照相机121、
122、123一起沿y轴进退。接着，各照相机将从各反射板反射的待测物的责任区的反射光，对作为待测物200的一部分影像进行摄像。并重复经由移动，对全部责任区摄像，通过各照相机的影像得到待测物200全体摄像影像。通过如此的构成，从各照相机至作为被摄像的待测物200间总是维持一定距离。

[0090] 图示中省略亦可利用照相机横向固定在暗室的一侧，仅反射板通过移动手段移动的构成。

[0091] <10>晃动照相机的实施态样

[0092] 图4是作为照相机的移动手段，晃动照相机的实施态样示意图。(a)是平面图，(b)是(a)的E-E剖面前向视图，(c)是(a)的F-F剖面右向视图，(d)是对待测物摄像时各照相机责任区的示意图。在本实施例中，在暗室110上部的开口部，安装有透明板108。但，不安装透明板108，与前述实施例相同，利用开口部112亦可。相反地，前述实施例的开口部112亦可安装透明板108来封闭。透明板108可利用例如玻璃板、丙烯(acryl)等合成树脂板等。且，图2及图3所述的实施态样中，暗室110上表面的开口部亦可利用安装透明板108的构成。

[0093] 通过在开口部112安装透明板108，可防止灰尘垃圾等进入暗室110内部，以避免暗室110内及照相机受到污染。另一方面，因为从太阳能电池面板发出的电致发光非常微弱，具有透明板108会更减弱光线强度，使得摄像更为困难，因此亦有不具备透明板108较佳的情况。

[0094] 在本实施例中，4台照相机121、122、123、124沿x轴方向设置。4台照相机固定在作为支撑手段的支撑梁150上。支撑梁150经由两端公知的晃动手段151，如图4(c)所示，可使照相机121、122、123、124在121’～121”的范围晃动。

[0095] 照相机121、122、123、124，如图4(d)所示，分别负责摄像由平行于y轴的线分割的责任区。接着，照相机朝向中央，对在图4(d)中央部分表示为符号1的4个责任区摄像。接着，经由晃动手段151晃动至图4(c)的121”位置，以对表示为符号2的4个责任区摄像。再晃动至图4(c)的121’位置，对表示为符号3的4个责任区摄像。由此，可对待测物200全体合计12个责任区进行摄像测定。各影像与邻接影像的周边部重迭，通过将全部影像连接可得到待测物200全体的影像。由于晃动手段151构造简单，因此制造成本低。

[0096] <11>仅晃动反射板的实施态样

[0097] 图5是仅晃动反射板的实施态样示意图。(a)是平面图，(b)是(a)中的G-G剖面前向视图，(c)是(a)中的H-H剖面右向视图。在暗室内部，具有作为支撑手段的支撑梁150，在此分别支撑4片反射板131、132、133、134。经由支撑梁150两端的晃动手段151，反射板131、132、133、134如图5(c)所示，可在131’～131”的范围晃动。

[0098] 照相机121、122、123、124，如图5(c)所示，横向固定在暗室的床体等的右侧。反射板131、132、133、134一起往相同方向及相同角度旋转。

[0099] 通过此种构成，照相机121、122、123、124是固定的，由于可以只晃动轻量的反射板131、132、133、134，使得可动部变得较轻，因此制造成本低。

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