专利汇可以提供化学气相沉积炉专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种 化学气相沉积 炉。此类化学气相沉积炉大多是在原有 真空 炉的 基础 上改造而成,在生产过程中,操作工人要随时监视系统工作情况,发现隐患要立即解决,工人劳动强度相当大,用工成本高。本发明包括炉本体、炉体提升机构、 炉盖 提升机构、三级过滤系统、真空系统、加热器,加热器包括上区加热体、中区加热体、下区加热体;炉本体采用立式、内热式结构,包括炉盖、上炉体、下炉体、炉底。本发明采用整体式 隔热 屏,便于拆卸、清洗;上炉体加热体固定在上炉体内,便于装卸料及炉内清洁。,下面是化学气相沉积炉专利的具体信息内容。
1.一种化学气相沉积炉,其特征在于:包括炉本体(1)、炉体提升机构(2)、炉盖提升机构(3)、三级过滤系统(4)、真空系统(5)、加热器(6),加热器(6)包括上区加热体、中区加热体、下区加热体;炉本体(1)采用立式、内热式结构,包括炉盖(13)、上炉体(14)、下炉体(15)、炉底(16),上炉体(14)和下炉体(15)为圆筒形、双层水冷结构,炉盖(13)内侧设置上区加热体,上炉体(14)内设置中区加热体,炉底(16)上设置下区加热体,炉本体(1)的内壁设置有隔热屏(27);所述的炉本体(1)的上炉体(14)外一侧与炉体提升机构(2)连接,炉盖(13)上端与设置在上炉体(14)侧面的炉盖提升机构(3)连接;所述的炉本体(1)的出气口经三级过滤系统(4)与真空系统(5)连接;所述的三级过滤系统(4)包括一级过滤器(21)、二级过滤器(22)、三级过滤器(23),一级过滤器(21)的上部腔体为双层水冷结构,一级过滤器(21)的上部腔体内设置有水冷挡板(24),一级过滤器(21)的下部为锥形捕集腔,一级过滤器(21)、二级过滤器(22)、三级过滤器(23)依次连接,三级过滤器(23)的输出端与真空泵系统(5)连接。
2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉,其特征在于:所述的炉体提升机构(2)由驱动单元(7)、立柱(12)、丝杆(9)、丝母(10)、导向座(25)及轴承座(8)组成,驱动单元包括减速机、电机、变频器,减速机及电机采用直联形式,减速机的输出轴垂直向下并与丝杆(9)连接,立柱(12)设置在炉体提升机构(2)的底部,导向座(25)套设在立柱(12)上并通过丝母(10)与丝杠(9)连接,导向座(25)的一侧与炉本体(1)的上炉体(14)的连接座连接,丝母(10)套设在立柱(12)上。
3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉,其特征在于:所述的炉盖提升机构(3)由电动升降机(17)、一对滑动轴承座(18)、横臂(19)、提升轴(20)组成,电动升降机(17)固定在上炉体(14)侧壁的支架上,滑动轴承座(18)固定在上炉体(14)侧壁的连接座上,横臂(19)将炉盖(13)与提升轴(20)连为一体,提升轴(20)设置在滑动轴承座(18)内,提升轴(20)上套设导向筒(26),导向筒(26)的一侧与炉本体(1)的上炉体(14)的连接。
4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉,其特征在于:所述的二级过滤器(22采用布袋过滤器。
5.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉,其特征在于:所述的三级过滤器(23)采用活性炭过滤器。
6.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉,其特征在于:所述的炉本体(1)的内壁分段设置有隔热屏。
7.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉,其特征在于:所述的真空系统(5)采用两台真空泵并联构成。
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