专利汇可以提供电成型金属化专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且提供一种用于电成型金属集成 电路 结构的方法。该方法包括:穿过层间绝缘体形成诸如通孔或线的开口,露出基片表面;形成 覆盖 层 间绝缘体和基片表面的 基层 ;形成覆盖基层的触击层;形成覆盖触击层的顶层;选择性地蚀刻以去除覆盖基片表面的顶层,露出触击层表面;以及,电成型覆盖触击层表面的金属结构。电成型的金属结构使用电 镀 或者无 电沉积 方法沉积。典型地,该金属是Cu、Au、Ir、Ru、Rh、Pd、Os、Pt或者Ag。基层、触击层和顶层可使用物理气相淀积(PVD)、 蒸发 法、反应溅射或者金属 有机化学 气相淀积(MOCVD)方法沉积。,下面是电成型金属化专利的具体信息内容。
1.一种用于电成型金属集成电路结构的方法,该方法包括:穿过第一层间绝缘体形成开口,露出基片表面;形成覆盖第一层间绝缘体和基片表面的基层;形成覆盖基层的触击层;形成覆盖触击层的顶层;选择性地蚀刻以去除覆盖基片表面的顶层,露出触击层表面;以及电成型覆盖触击层表面的第一金属结构。
2.如权利要求1所述的方法,进一步还包括:使用第一金属结构作为掩膜,去除覆盖第一层间绝缘体的基层、触击层和顶层。
3.如权利要求2所述的方法,进一步还包括:保形地沉积第二层间绝缘体;穿过第二层间绝缘体形成开口,露出第一金属结构表面;形成覆盖第二层间绝缘体和第一金属结构表面的基层;形成覆盖基层的触击层;形成覆盖触击层的顶层;选择性地蚀刻以去除覆盖第一金属结构表面的顶层,露出触击层表面;电成型覆盖触击层表面的第二金属结构。
4.如权利要求1所述的方法,进一步包括:再结晶第一金属结构。
5.如权利要求1所述的方法,其中电成型覆盖触击层表面的第一金属结构包括使用从包括电镀和无电沉积的组中选择的工艺来沉积金属。
6.如权利要求1所述的方法,其中电成型覆盖触击层表面的第一金属结构包括沉积从包含Cu、Au、Ir、Ru、Rh、Pd、Os、Pt和Ag的组中选择的金属。
7.如权利要求1所述的方法,其中电成型覆盖触击层表面的第一金属结构包括形成从包括线、通孔、焊盘、电极、接触孔和层间互连的组中选择的结构。
8.如权利要求1所述的方法,其中形成基层、形成触击层、和形成顶层包括使用从包括物理气相淀积(PVD)、蒸发法、反应溅射和金属有机化学气相淀积(MOCVD)的组中选择的工艺沉积基层、触击层和顶层材料。
9.如权利要求1所述的方法,其中形成覆盖第一层间绝缘体和基片表面的基层包括由包括例如W、Ta、Ti、Zr、Mo、Cr的难熔金属、难熔金属氮化物和碳化物、混合的氮化物-碳化物和混合的氮化物-硅化物的组中选择的材料形成基层。
10.如权利要求1所述的方法,其中形成覆盖基层的触击层包括由包括Pd、Pt、Ir、Rh、Ru、Os、Ag、Au、Cu、Ni、Cr以及上述材料的合金的组中选择的材料形成触击层。
11.如权利要求1所述的方法,其中形成覆盖触击层的顶层包括由包括难熔金属、难熔金属氮化物和混合的氮化物-硅化物的组中选择的材料形成顶层。
12.如权利要求1所述的方法,其中选择性地蚀刻以去除覆盖基片表面的顶层,露出触击层表面,包括:保形地沉积光致抗蚀剂(PR)层;构图PR以露出覆盖基片表面的顶层;以及蚀刻露出的顶层。
13.如权利要求12所述的方法,其中蚀刻露出的顶层包括使用从包括过氧化氢、无机酸、醇的和水的碘、溴、氯、碱金属、氨水以及上述蚀刻剂的混合物的组中选择的蚀刻剂。
14.如权利要求12所述的方法,其中保形地沉积PR层包括使用从包括烘烤和紫外线硬化的组中选择的工艺稳定该RP。
15.如权利要求1所述的方法,其中穿过第一层间绝缘体形成开口,露出基片表面,包括露出从包括硅、玻璃、陶瓷和塑料的组中选择的基片表面材料。
16.一种用于在集成电路基片上加法金属沉积的方法,该方法包括:穿过层间绝缘体形成开口,露出基片表面;在开口中附加地形成金属结构。
17.如权利要求16所述的方法,其中在开口中附加地形成金属结构包括:形成覆盖层间绝缘体和基片表面的基层;形成覆盖基层的触击层;形成覆盖触击层的顶层;选择性地蚀刻以去除覆盖基片表面的顶层,露出触击层表面;以及电成型覆盖触击层表面的金属结构。
18.如权利要求16所述的方法,其中在开口附加地形成金属结构包括使用从包括电镀和无电沉积的组中选择的工艺沉积金属。
19.一种电成型的金属结构,该结构包括:具有表面的基片;覆盖基片的层间绝缘体,具有露出基片表面的开口;覆盖基片表面的基层;覆盖基层的触击层;以及覆盖触击层表面的电成型的金属结构。
20.如权利要求19所述的结构,其中金属结构从包括Cu、Au、Ir、Ru、Rh、Pd、Os、Pt和Ag的组中选择的金属。
21.如权利要求19所述的结构,其中金属结构是从包括线、通孔、焊盘、电极、接触孔和层间互连的组中选择的结构。
22.如权利要求19所述的结构,其中基层是从包括难熔金属比如W、Ta、Ti、Zr、Mo、Cr、难熔金属氮化物和碳化物、混合的氮化物-碳化物和混合的氮化物-硅化物的组中选择的材料。
23.如权利要求19所述的结构,其中触击层是从包括Pd、Pt、Ir、Rh、Ru、Os、Ag、Au、Cu、Ni、Cr和上述材料的合金的组中选择的材料。
24.如权利要求19所述的结构,其中基片是从包括硅、玻璃、陶瓷和塑料的组中选择的材料。
25.如权利要求19所述的结构,进一步包括:由包括难熔金属、难熔金属氮化物和混合的氮化物-硅化物的组中的材料制成的覆盖触击层的临时的顶层。
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