专利汇可以提供基于激光反馈效应的三维形貌显微测量系统专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种基于激光反馈效应的三维形貌显微测量系统, 半导体 激光器 出射光 准直 为平行光,再由显微物镜会聚,照射到被测物体表面上。半导体激光器的发光点与光束的焦点具有共轭成像关系。由焦点处产生的散射光可由物镜收集反馈回半导体激光器 谐振腔 ,然而离焦面产生的反馈光,由于共轭关系被破坏而不能进入激活区,反馈光进入激光腔内后,消耗谐振腔内的载流子,使激光器发射功率降低,激光器发射功率变化表征了被测物体的形貌,计算机9通过 数据采集 卡采集光电探测器输出的 电压 信号 ,并保存为数据文件,再结合 位置 数据,用处理 软件 对 三维扫描 测量数据进行处理,可以重构被测物体三维结构。系统结构简单,可以显著降低设备成本低,实用性强。,下面是基于激光反馈效应的三维形貌显微测量系统专利的具体信息内容。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
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