新型X射线光栅的制作工艺
专利汇可以提供新型X射线光栅的制作工艺专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开一种新型 X射线 光栅的制作工艺，包括以下步骤:S1：碾压金属板；S2：制作复合膜；S3：制作复合膜堆；S4：切割；S5：封装；本发明采用物理滚压技术加工重金属板和轻金属板，得到预定厚度，加工过程简单；采用常规金属切割方法如 激光切割 ，切割所述复合膜堆，通过复合膜堆的数量控制被切割的复合膜堆的厚度；由重金属板与轻金属板的厚度比例调节光栅的占空比，不同占空比调节光栅的效果；切割过程和封装过程均可量化进行，加工方便，可一次生产出大量光栅。，下面是新型X射线光栅的制作工艺专利的具体信息内容。
1.一种新型X射线光栅的制作工艺，其特征在于，包括以下步骤:
碾压金属板：选取一块对X射线强吸收的重金属板和一块对X射线弱吸收轻金属板，利用物理滚压技术将所述重金属板和所述轻金属板碾压至相同厚度；
制作复合膜：将所述重金属板与所述轻金属板重叠形成复合膜，利用滚压技术碾压所述复合膜，使得所述复合膜的厚度为光栅周期的n倍，n=2^N，N为正整数；
制作复合膜堆：复合膜堆叠形成所述轻金属和所述重金属交错排列的复合膜堆，通过控制物理滚压技术保证复合膜堆的厚度与复合膜的厚度始终相等；
切割：采用激光切割所述复合膜堆；
封装：利用对X射线弱吸收材料，黏合固定复合膜堆实现封装，形成光栅。
2.根据权利要求1所述的一种新型X射线光栅的制作工艺，其特征在于，所述物理滚压技术包括以下步骤：
S1：首先，调节两个滚轮之间的间距为d1，待滚压物通过滚轮装置后，得到厚度为d1的待滚压物；
S2：调节滚轮间距至d2，d2的值小于d1的值；厚度为d1的待滚压物通过滚轮后得到厚度为d2的待滚压物；
S3：多次重复步骤S2，碾压待滚压物至设定厚度。
3.根据权利要求1所述的一种新型X射线光栅的制作工艺，其特征在于，碾压金属板前需要对金属板进行机械切割、平磨和压制工艺，将重金属板和轻金属板切割为形状和大小相同，表面光滑的矩形。
4.根据权利要求1所述的一种新型X射线光栅的制作工艺，其特征在于，制作复合膜时，通过控制重金属板和轻金属板各自堆叠的数量控制复合膜中重金属与轻金属的厚度比例，且碾压前后重金属与轻金属的比例不发生改变。
5.根据权利要求1所述的一种新型X射线光栅的制作工艺，其特征在于，制作复合膜堆时，将两块相同的复合膜叠加形成轻重金属交错板排列的结构，并利用物理滚压技术将复合膜堆的厚度碾压至与单块复合膜的厚度相同。
6.根据权利要求5所述的一种新型X射线光栅的制作工艺，其特征在于，在现有复合膜堆的基础上重复叠加与现有复合膜完全相同的复合膜，形成轻重金属交错板排列的结构，并利用物理滚压技术将复合膜堆的厚度碾压至与单块复合膜的厚度相同；得到与单块复合膜厚度相同的复合膜堆。
7.根据权利要求6所述的一种新型X射线光栅的制作工艺，其特征在于，在所述复合膜堆中，复合膜的数量等于n，保证碾压后的复合膜堆中的复合膜厚度等于光栅的单个周期。
8.根据权利要求6所述的一种新型X射线光栅的制作工艺，其特征在于，在所述复合膜堆中，所述复合膜堆厚度为1-5CM，长和宽为40-100CM。
9.根据权利要求1所述的一种新型X射线光栅的制作工艺，其特征在于，在切割复合膜堆时，切割方向和角度可为任意调整，切割后得到光栅。
10.根据权利要求1所述的一种新型X射线光栅的制作工艺，其特征在于，在封转过程中，利用碳素纤维材料板夹持光栅切割面，直至碳素纤维黏合各复合膜，完成封装。
新型X射线光栅的制作工艺
技术领域
背景技术
在Talbot-Lau干涉法的光栅成像方法中，吸收光栅作为成像系统的重要部件，光栅的参数对成像质量的好坏起着决定性的作用；通过改善加工工艺制作大深宽比的光栅对于X射线光栅相位衬度成像尤为重要。
但是上述方法中，LIGA技术制作成本高，制作面积小，光助电化学刻蚀方法流程复杂，而且制作过程中硅基电阻率、温度、腐蚀液等对刻蚀结构的影响较大，难以控制，并且在之后的高原子序数金属填充过程中，填充工艺复杂，条件苛刻。
发明内容
切割：采用所述复合膜堆；
封装：利用对X射线弱吸收材料，黏合固定复合膜堆实现封装，形成光栅。
S2：调节滚轮间距至d2，d2的值小于d1的值；厚度为d1的待滚压物通过滚轮后得到厚度为d2的待滚压物；
S3：多次重复步骤S2，碾压待滚压物至设定厚度。
图3为本发明滚压示意图；
图4为本发明复合膜结构示意图；
图5为本发明复合膜堆示意图；
图6为本发明复合膜堆切割示意图；
图7为Talbot-Lau干涉法的光栅成像原理图；
图8为LIGA技术制作光栅的工艺流程图。
切割：采用激光切割所述复合膜堆4。
S2：调节滚轮6间距至d2，d2的值小于d1的值；厚度为d1的待滚压物通过滚轮后得到厚度为d2的待滚压物；
S3：多次重复步骤S2，碾压待滚压物至设定厚度。
8cm的待碾压金属板。
2、由重金属板与轻金属板的厚度和数量比例调节光栅的占空比，控制有效；
3、制作复合膜堆过程，无论复合膜的层数，复合膜堆的厚度不改变，方便切割；
4、通过复合膜堆的总厚度和复合膜的总层数控制复合膜的厚度与光栅单周期相等，准确有效；切割过程均可量化进行，可批量生产出大宽深比的光栅。
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