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具有筒机构的立体 光刻装置

阅读：150发布：2020-05-11

专利汇可以提供具有筒机构的立体光刻装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且在立体光刻装置（1）中，将三维物体（2）通过由特定辐射的作用所引起的光敏物质（3）的硬化来产生，其中，所述装置包括载体机构、用于产生辐射的辐射源（8）以及在载体机构上能够定位的并且能够取出的筒机构（10）。筒机构（10）具有由包套（14）包围的内部空间（140），其中，筒机构的包套可以变形并且至少部分对于触发硬化的辐射是可透的。由包套包围的内部空间（140）具有带有容纳空间（4）的容积，光敏物质（3）对于照射和硬化过程的至少一个持续时间被包含在所述容纳空间中并且对于辐射是可触及的。，下面是具有筒机构的立体光刻装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.立体光刻装置（1），用于通过由特定的触发硬化的辐射的作用所引起的光敏物质（3）的逐层的或连续的硬化来制造三维物体（2），其中，所述装置包括：
- 载体机构（7）；
- 辐射源（8），用于产生触发所述硬化的辐射（80）；
- 在所述载体机构上能够定位的并且能够取出的至少一个筒机构（5、6），所述至少一个筒机构具有由包套（14）包围的内部空间，其中，所述包套的至少一个部分区域对于触发所述硬化的辐射是可透的；
其特征在于，
所述筒机构（5、6、10、20、30、40）的所述包套（14、141、142、143、144、24、34、44）是可变形的，并且由所述包套包围的内部空间（140、240、340、440）具有如下容积，所述容积至少部分地由容纳空间（4）形成，一定量的所述光敏物质（3）对于照射和硬化过程的至少一个持续时间能够容纳在所述容纳空间中并且对于所述辐射是能够触及的。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述筒机构（5、6）可脱开地能够固定在所述载体机构（7）处。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述包套的可变形区域一件式地、优选由柔性材料形成。
4.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述内部空间（140）的容积占主要部分地、优选完全地由所述容纳空间（4）形成。
5.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，由所述包套包围的内部空间（140）具有在所述包套的变形期间基本保持相同的容积。
6.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述包套能够以如下方式变形，所述方式允许关于所述筒机构的高度的可逆压缩。
7.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述包套（14、24、34、141、
142、143、144）具有本身是可折叠的几何结构的形状，并且具有至少一个参考面（41、42）。
8.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述包套具有底部、上部部分和将所述底部和所述上部部分连接的外罩，其中，优选地，所述外罩可变形。
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述包套的底部和/或所述外罩具有至少一个可穿孔区域、优选弱化区域，以用于构造用于将光敏物质引入到所述内部空间或从所述内部空间中引走所述光敏物质和/或将溶剂引入到所述内部空间或从所述内部空间中引走所述溶剂的至少一个开口。
10.根据权利要求8或9所述的装置，其特征在于，所述外罩和/或所述底部构造成对于气体或气体混合物（19）、尤其对于氧或空气是可透的。
11.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述包套在上侧处和/或在侧向具有能够封闭的开口，通过所述开口使得光敏物质能够引入到所述内部空间中和从所述内部空间中能够导出。
12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述包套具有用于密封所述开口的密封元件。
13.根据权利要求11或12所述的装置，其特征在于，所述开口能够通过优选一件式实施的封闭元件（11、21、100、200、300、400、500）来封闭，其中，所述封闭元件优选被构造为所述光敏物质的被硬化的层的载体。
14.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述筒机构具有在所述内部空间中可运动的构件，所述构件在所述筒机构中通过几何结构的、机械的和/或磁的类型的引导部引导。
15.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述筒机构具有向上限制和隔绝所述内部空间的封闭部件（100、200、300、400、500、11、21），其中，所述封闭部件可更换并且优选总体上是刚性的。
16.根据权利要求15所述的装置，其特征在于，所述封闭部件具有几何结构的凹处，所述凹处构造在朝向所述内部空间的面中。
17.根据权利要求15或16所述的装置，其特征在于，所述封闭部件多件式地实施并且具有如下至少一个区域（101），在所述至少一个区域中能够保存一个或多个光敏物质。
18.根据权利要求17所述的装置，其特征在于，所述区域被设立成用于容纳光敏物质的容器（101、312、401、404），其中，优选地，设置有用于穿孔所述容器的器件（105、305）。
19.根据权利要求15至18中任一项所述的装置，其特征在于，所述封闭部件具有至少一个集成的活塞（301），通过所述活塞的升程运动能够配量所述光敏物质的排出。
20.根据权利要求19所述的装置，其特征在于，所述活塞（301）具有用于穿孔或打开位于所述封闭部件中的容器（312）、尤其光敏物质的容器的机构（305）。
21.根据权利要求19或20所述的装置，其特征在于，所述活塞具有用于引入溶剂和/或气体或气体混合物、尤其氮或空气的机构。
22.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述筒机构包括对于氧可透的、至少一件式地构造的底部。
23.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于具有用于产生振动的机构，所述振动使所制造的三维物体的脱离变得容易。
24.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，多个筒机构（5、6）能够置入到所述装置中。
25.筒机构（5、6、10、20、30、40），用于使用在立体光刻装置（1）中，所述筒机构具有由包套（14、141、142、143、144、24、34、44）包围的内部空间（140、240、340、440），其中，所述筒机构的包套是可变形的并且所述内部空间（140、240、340、440）具有如下容积，所述容积至少部分地由容纳空间（4）形成，一定量的光敏物质（3）对于照射和硬化过程的至少一个持续时间能够容纳在所述容纳空间中并且对于触发所述光敏物质的硬化的辐射（80）是能够触及的。
26.根据权利要求25所述的筒机构，其特征在于，所述筒机构可脱开地能够置入到立体光刻装置（1）中。
27.根据权利要求25或26所述的筒机构，其特征在于具有信息载体（502、503），所述信息载体保持尤其关于所述光敏物质的量、类型和/或状态方面涉及所述光敏物质和/或三维物体的制造的过程的工艺参数的信息。

说明书全文

具有筒机构的立体 光刻装置

技术领域

[0001] 本发明涉及立体光刻装置，用于通过由特定的触发硬化的辐射的作用所引起的光敏物质的逐层的或连续的硬化来制造三维物体，其中，所述装置包括：- 载体机构；
- 辐射源，用于产生触发硬化的辐射；
- 在载体机构上能够定位的和能够取出的筒机构。

背景技术

[0002] 这种类型的装置是众所周知的。在立体光刻设备中，通过层或层信息的逐层的或连续的彼此成排由光敏物质来产生三维体。本发明涉及能够置入到这种设备中的并包围待制造的物体的改进的筒系统的应用。

[0003] 概念立体光刻是指如下制造工艺，在所述制造工艺中使用光敏的、在通过光照射时能够硬化的物质、在大多情况下为液态的单体配制物，以便分层地通过产生几何结构的层信息（所述层信息可以例如通过数字掩模（Maske）或通过运动的激光射束产生）来产生具有能够预设的期望的造型的三维体（“物体”）。立体光刻的基本原理在如快速原型、3D打印等概念下也是已知的。

[0004] 对于立体光刻过程，除了可控制的激光外还能够使用基于像素的指示显示器、不相干的光源（例如结合可控制的微镜（所谓的MEMS或DLP芯片）），以便将几何结构的层信息投影到光敏物质中，以便将所述光敏物质逐层或连续地在底部或其它被界定的参考面上硬化（“显影（entwickeln）”）。层信息可以尤其是基于像素的。参考面（也是参考平面）表示如下被界定的面，在其上进行光敏物质的层的硬化；所述面可以是底部或盖内侧的表面或其它的适当界定的面，并且根据应用可以具有合适的固态、柔性或液态稠度。为了将被硬化的层与参考面脱离，将所述层起初、即在有生产力的工艺的第一步骤之前传递到载体上（例如通过聚合工艺固设（angeheftet）），所述载体能够执行与焦点平面的相对运动，所述焦点平面可以与参考面的上侧（例如筒底部）一致。在下一个方法步骤中负责的是，光敏物质的新材料可以在最后产生的层与参考面之间再流动；这可以例如通过简单的升程运动进行。然后，再流动的光敏物质可以又通过曝光硬化。这些方法步骤如此频繁地重复，直到要形成的物体根据各个的被投影的层信息得以构建。

[0005] 在这些方法中，最大的问题尤其在于在设备本身内的光敏物质的有效和可变的存储或保存，以及各个层与参考面的小心的脱离、所产生的层或所产生的物体的载体相对于参考面的相对运动的有效控制，以及设备的尽可能简单的操纵和新的光敏材料到设备中的引入。

[0006] 从现有技术中已知各种如下解决方案，所述解决方案为光敏物质设置有大部分敞开的盆形的容器。如下筒也被描述，所述筒然而呈现为非常复杂、刚性和消耗的容器。

[0007] 例如，DE 10 2014 215 213 A1描述了在其中设置有与底部板连接的薄膜的容器，所述薄膜通过非透明部分向下张紧。所述薄膜可以在层提起时变形，以便由此实现更轻松和更小心的脱开。所述容器是组合的复杂的结构组，所述结构组尤其包括底部板、突出到容器中的张紧部件以及各种其它部件如载体本身，并且表示复杂的结构。

[0008] 其它解决方案（参见DE 101 19 817 A1和JP H06 246 838 A）代替闭合的筒使用敞开的盆形几何结构，所述几何结构同样包括可变形薄膜以用于减小拉出力。

[0009] 已知的解决方案具有筒系统以及盆本身的非常复杂的结构的缺点，以及在例如盆的清洁、盆到机器中的放入、准确的填充量的确定方面的光敏物质的处理的缺点，以及在盆系统中的暴露的液位、在再填充或转移填充期间与光敏物质或设备本身的污物直接接触的危险。显著的缺点同样在置入填充有光敏材料的盆时和/或在取出盆时由于如下的原因而出现，即必须操纵复杂的张紧机构或者必须将盆推入到保持装置中。在取出所产生的结构部件时也存在设备和/或操作人员的污染、尤其各个设备结构部件或结构部件组的污染的问题，所述设备结构部件或结构部件组在更换为其它光敏单体时必须被清洁，这是辛苦的且耗时的。另一个缺点在于，传统解决方案没有实现在一定的大气或一定的大气条件下工作。所产生的物体的清洁还呈现为问题，因为在物体的载体从机器中取出时，除了用户的可能的污染之外，润湿物体的、没有硬化的单体能够污染机器以及机器的安装地点。另外，光敏物质由于处于暴露的液位而受到一定的老化，其改变了化学特性并由此不利地影响所形成的物体的特性、如例如所需的生物兼容性。

发明内容

[0010] 这里提出的发明具有的任务是，提供立体光刻装置或用于这种装置的筒机构（所述立体光刻装置或所述筒机构克服了上述缺点）以及实现三维物体的简化的、无干扰的、经济的、优选连续的以及易于记录的（dokumentierendes）产生。

[0011] 这个任务由开头提到的类型的立体光刻装置来解决，在其中，筒机构具有由包套包围的内部空间，其中，包套的至少一个部分区域对于触发硬化的辐射至少部分是可透的，其中，根据本发明，筒机构的包套是可变形的，并且由包套包围的内部空间具有如下容积，所述容积至少部分地由用于光敏物质的容纳空间形成。在这里，“容纳空间”被理解为如下空间，一定量的光敏物质对于照射和硬化过程的至少一个持续时间能够被容纳在所述空间中并且对于辐射是能够触及的。

[0012] 上述任务还由所提到的类型的用于使用在立体光刻装置中的筒机构来解决，其中，筒机构具有由包套包围的内部空间，其中，筒机构的包套是可变形的并且内部空间具有如下容积，所述容积至少部分地由容纳空间形成，一定量的光敏物质对于照射和硬化过程的至少一个持续时间能够被容纳在所述容纳空间中并且对于触发光敏物质的硬化的辐射是能够触及的。

[0013] 根据本发明的解决方案取代已知类型的基本上刚性的筒设置了如下筒，所述筒的包套以及所述筒的底部至少部分是柔性构造的并且至少由一种材料构成。通过包套的柔性的实施方案，例如通过筒的压缩实现了筒包套以及必要时整个筒体的变形，从而层的直接产生以及层在物体载体（下文是载体）处的粘附连同层与参考面的随后的脱离变得容易，而光敏物质至少部分在构建工艺期间位于筒内。在此，随着所产生的层的数量增加，筒被伸展或较少地被压缩（变形），从而所述筒在完成要产生的物体之后在放入到机器中时又可以返回到其原始形状，如果这是期望的话。要领会的是，包套被理解为筒的向外限制内部空间的部分；必要时存在的、在内部空间内可运动的附加构件（如例如冲模、刮刀或阀部件）不属于在本发明的意义中的包套。

[0014] 因此，本发明还允许在立体光刻设备内更高效和可变地保存光敏物质，以及所产生的层与参考面的小心的脱离。另外的优点是所产生的层或者所产生的物体的载体相对于参考面的相对运动的改进的和更简单的控制，以及光敏材料在立体光刻装置中的简化的提供和处理。

[0015] 筒此外可以配备有信息载体，通过所述信息载体能够反推出量、类型、状态和工艺参数。与此相应地，筒机构可以包括信息载体，所述信息载体保持尤其关于所述光敏物质的量、类型和/或状态方面涉及光敏物质和/或三维物体的制造的过程的工艺参数的信息，和/或将所述信息传输到立体光刻装置、例如所述立体光刻装置的控制机构处。信息载体例如可以是印记、条形码、RFID芯片、磁条或类似物。

[0016] 如已经提到的那样有利的是，筒机构可脱开地能够置入到这里所公开的类型的立体光刻装置中。在本发明的一个有利的改进方案中，筒机构可以可脱开地能够固定或固定在物体载体处，以便方便筒的更换。

[0017] 包套的可变形区域可以一件式形成、优选由柔性材料形成，但是在需要时也能够是多件式的。因此，筒的外罩部分可以由薄膜软管（例如FEP或PTFE薄膜）构成，而在其中例如存在有透明的底部部分（在最简单的情况下是至少一个玻璃段）的筒的底部与筒的封闭性上部部分一样是由合适的塑料制成的简单的注射成型部件。底部部分或上部部分可以按照实施方案包括参考面。

[0018] 此外，所述内部空间的容积可以占主要部分地、优选完全地由所述容纳空间形成。参考面要么位于容纳空间的底部（或覆盖面）处要么由在容纳空间中的合适的表面界定、例如在两个（例如彼此相叠成层的）液体之间的或在容纳空间中的具有不同状态的至少一个光敏物质的边界面、膜片。包套可以有利地如下地设计，使得被包围的内部空间具有在所述包套的变形期间基本保持相同的容积。在许多实施方式中，包套的可变形性被如下地设计，使得允许与筒机构的高度有关的可逆压缩。在大多数情况下，压缩变形是首要期望的变形，并且因此在这些情况下，可变形性能够受限于这种可逆压缩。压缩（或与所述压缩相反的伸展）例如可以通过在载体机构的基板与保持机构之间的相对运动产生，所述保持机构保持筒机构的与基板对置的端部；一般地，筒机构的两个端部在载体机构中各通过保持器件来保持，并且筒机构的压缩或伸展通过保持器件彼此的相对运动来进行。

[0019] 在许多实施方式中，包套能够具有本身是可折叠的几何结构的形状。对此附加地或备选地，包套能够具有至少一个参考面，所述参考面能够实施成刚性的、部分柔性的和/或完全柔性的。适宜的是，被构造在包套中的参考面在空间中能够任意运动或变形。

[0020] 包套可以有利地如下地成形，使得所述包套具有底部、上部部分和将所述底部和所述上部部分连接的外罩，其中优选地，所述外罩可变形。包套的底部可以实施成至少单层刚性的或柔性的和/或由多个材料构成。

[0021] 根据本发明的另一改进方面，包套的底部和/或外罩可以具有至少一个可穿孔区域、优选弱化区域，以用于构造用于将光敏物质引入到内部空间或从内部空间引走光敏物质和/或将溶剂引入到内部空间或从内部空间引走溶剂的至少一个开口。

[0022] 根据本发明的筒机构的包套可以具有闭合的并且对于光敏物质不可透的、至少单件式形成的底部以及侧壁。但是，所述底部以及侧壁可以被实施成对于气体或气体混合物是可渗透的。在这个意义中适宜的是，所提到的外罩被构造成对于气体或气体混合物、尤其对于氧或空气是可透的（可渗透的）。同样，底部可以以这种类型是气体可透的。

[0023] 此外，包套可以在上侧处和/或在侧向具有能够封闭的开口，通过所述开口使得光敏物质能够引入到所述内部空间中和能够从所述内部空间中导出。包套尤其还可以具有侧向开口或开口突起部。在这里，所述包套能够具有用于密封所述开口的密封元件。包套因此可以在上部开口处以及在下侧处具有密封元件。另外，开口可以通过封闭元件能够封闭，所述封闭元件优选地一件式地实施，其中，所述封闭元件优选被构造为光敏物质的硬化层的载体。

[0024] 单件式或多件式形成的筒可以包括可以通过固定部与至少一个元件连接的几何结构的、机械的或磁元件，其能够执行相对运动。此外，筒机构的有利的改进方案可以具有在内部空间中可运动的构件，所述构件在筒机构中通过几何结构的、机械的和/或磁类型的引导部引导。这种类型的在包套中可运动的构件能够例如是刮刀、冲模、用作阀的活门或类似物。

[0025] 本发明的设计方案设置成，筒机构能够具有向上限制和隔绝内部空间的封闭部件，其中，所述封闭部件能够是可更换的并且优选总体上能够是刚性的。所述封闭部件能够在面向筒的内部空间的面中具有适当成形的几何结构的凹处、即（d.s.）空隙或开口。通过这种类型的凹处，例如光敏液体可以从器皿中挺进到包套的内部空间中。凹处的另一个有利的应用是，改善三维物体在用作载体的面处的粘附。封闭部件此外可以一件式或多件式地实施。通过封闭元件的适当的几何结构的设计可以设置有如下至少一个区域，在所述至少一个区域中可以直接或间接保存光敏树脂。

[0026] 以适宜的方式，封闭元件可以实现能够安置至少一个填充有光敏树脂的物体，所述物体优选实施成是可穿孔的。与此相应地，能够适宜的是，所述区域设立成用于容纳光敏物质的容器，其中，优选地设置有用于所述容器的穿孔的器件。

[0027] 此外，所述封闭部件能够具有至少一个集成的活塞，通过所述活塞的升程运动能够配量所述光敏物质的排出。所述活塞此外能够具有用于穿孔或打开位于封闭部件中的容器、尤其带有光敏物质的容器的机构。因此，所述至少一个活塞可以能够取决于时间地使至少一个袋状的元件损伤，以释放光敏材料。

[0028] 附加地，所述活塞能够具有用于引入溶剂和/或气体或气体混合物、尤其氮或空气的机构。

[0029] 此外，筒机构可以有利地包括对于氧可透的、单件式或多件式构造的底部。

[0030] 为了方便所制造的三维物体的脱离，可以在根据本发明的装置中另外设置有用于产生振动的机构。

[0031] 根据本发明的立体光刻装置能够设置成用于置入一个、两个或更多筒。尤其，多个筒机构能够可以置入到所述装置中。附图说明

[0032] 从多个实施例的以下描述中得到本发明的另外的细节和优点，所述实施例被展示在附图中并且所述实施例不对本发明进行限制。附图以示意形式：图1示出了根据本发明的实施例的立体光刻装置的透视视图；
图2示出了能够使用在图1的装置中的筒机构的分解图；
图2a示出了处于组装状态中的图2的筒机构；
图3示出了具有载体和待置入到其中的器皿的筒封闭部件的第一实施方式的透视视图；
图4示出了图3的封闭部件的纵向截面；
图5示出了具有被置入的器皿的图1的封闭部件的透视视图；
图6示出了图5的封闭部件的纵向截面；
图7示出了封闭部件的第二实施方式的透视视图；
图8示出了图7的封闭部件的纵向截面；
图9示出了具有被取出的栓塞的图7和8的封闭部件；
图10以透视视图示出了封闭部件的由多个构件组成的实施方式；
图11示出了处于组装状态中的图10的封闭部件的纵向截面；
图12和13示出了图10和11的具有被操纵的活塞的封闭部件；
图14a-14d示出了根据本发明的筒机构的包套的多个实施变体方案；
图15示出了具有在其上安置的信息载体的筒封闭部件；
图16a-16d借助于四个时期的顺序示出了在使用根据本发明的筒机构的情况下的光敏物质的硬化层的产生；
图17示出了筒系统的另一实施方式；
图18示出了筒系统的又一实施方式；以及
图19a和19b示出了封闭部件的器皿的更换。

具体实施方式

[0033] 图1示出了根据本发明的立体光刻设备1的实施例的示例性概览，所述立体光刻设备用于从各个层有生产力地（generative）制造一个或多个三维物体2（图16a-16d），其相应在筒机构5、6内由光敏物质硬化而成。在此，光敏物质在筒机构5、6内在容纳空间4中通过光化学辐射能够硬化。在本公开的范围中，以“光化学辐射”表示如下（通常是电磁）辐射，所述辐射适用于触发光敏物质的期望的硬化反应、尤其光辐射、如例如UV光。光敏物质通常是液态的，其中，在本公开的范围中，概念“液态”基于具有任何粘度的液体、包括悬浮液和糊状物质在内。

[0034] 一个或多个筒机构5、6借助于相应所配属的容纳机构75、76被保持并且布置在基板77上。基板77连同容纳机构75、76包括所从属的驱动器以及必要时另外的（在图1中未示出）构件在内形成本发明的载体机构7。

[0035] 可控制的光源8例如布置在基板77的下方并且在那里借助于步进马达运行的线性驱动器81、82能够水平定位、优选在两个方向（X和Y）上能够水平定位。因此，光源8相对于至少一个筒机构5、6可运动地实施，并且以这种方式定位在筒机构6的下方，在所述筒机构6中应发生物体2的构建工艺。在一个变体方案中，立体光刻设备还可以包括能够转动支承的镜，通过所述镜借助于另外的偏转镜使得由光源8发射的光能够通过能够转动支承的镜的偏移而导引到多个筒机构。

[0036] 每个容纳机构75、76例如通过步进马达驱动器相对于基板77或筒系统5、6的底部在高度上可调节。容纳机构75、76有利地被设立成所述容纳机构可以容纳、定心保持在其中的筒机构，并且可以固定保持在相对于基板的一定的位置中；优选地，容纳机构75、76保持筒机构的上部部分（封闭部件），并且因此可以通过相对于基板的运动来调整筒机构的高度并且因此压缩所述筒机构。载体机构7还可以对于筒机构5、6中的一个或每个具有固定元件74、例如实现形状配合的锁定的体；借助于固定元件74，筒系统5、6的下部部分可以至少对于开发过程的持续时间被固定。控制机构9（例如控制计算机）控制机构75、76、81、82的运动以及在设备1中的制造工艺的流程，包括光源8的活动在内；必要时，控制机构还接收并且处理测量和/或传感器信号，所述测量和/或传感器信号由在筒5、6中的传感器采集。

[0037] 在图2中在等轴分解视图（沿Z方向分解）中示出了作为根据本发明的筒机构的实施例的筒系统10，所述筒机构能够置入在图1的立体光刻装置中；图2a示出了在组装形式中的筒系统10。所示实施方式的筒系统10例如包括封闭部件11（所述封闭部件例如可以与下面在图3-6中描述的封闭部件结构类型相同）、包套14（例如与图14a的包套141结构类型相同）以及附加的底部15（所述底部优选至少部分对于光化学辐射是辐射可透的）、锁定部件16以及筒加固部件17。当然，封闭部件、包套包括底部在内以及锁定部件也可以根据其它的这里所公开的设计方案或另外的实施方式被实现，本领域技术人员可以在本发明的范围内找到所述设计方案或所述另外的实施方式。

[0038] 锁定部件16用于包套14的附加加固；此外，这种结构部件16可以实现至少部分柔性的筒系统10在立体光刻装置1（图16）中的参考、定心、力配合的和/或形状配合的固定。此外，锁定部件16防止下部的筒区域的鼓胀（Ausbeulen）、变形、折弯和/或提起。

[0039] 为了能够将至少部分柔性的筒系统10安全地在立体光刻设备1的外部和内部进行操纵，筒系统10可以具有筒加固部件17，所述筒加固部件例如至少半壳地实施并且匹配筒系统10的柔性包套14的几何结构。借助筒加固部件17来固定筒系统10的期望高度。筒加固部件17也可以如下地设计，使得以容易的方式实现从筒系统10的拉出；这可以例如通过手柄或窗口来实现。优选地，筒加固部件17如下地构造，使得所述筒加固部件可以在至少一个端部处与锁定部件16、包套14和/或封闭部件11进入能够脱开的形状配合的或力配合的连接、例如通过按照夹子的类型的部件17的夹持。

[0040] 图3从上方在侧向在斜视图中示出了封闭部件11的第一实施方式，其具有所产生的层的载体102（所述层如提到的那样构建在载体的下侧处），此外，至少一个器皿101能够放入到所述载体中。器皿101仍然在载体102上方被示出，在还未被放入的和未被穿孔的状态中。在器皿101中存在有至少一个光敏物质，所述光敏物质例如可以是具有任何粘度或糊状稠度的液体。器皿101由器皿封闭元件107封闭。所述封闭元件107也可以实施为过压阀或包含这种阀。在器皿101的（未示出的）变体方案中，所述器皿本身能够具有过压阀。

[0041] 图4示出了器皿101和载体102的截面视图（沿着中轴线的纵向截面）。（未穿孔的）器皿101包含一定量的具有初始填充高度H0的光敏物质3。载体102具有至少一个开口109，从器皿101排出的光敏物质3可以通过所述开口到达在载体102下方的区域中。器皿101在所述实施方式中在其下侧110处具有带有较小壁厚的一个或多个区域104。这种弱化区域104被设置成用于由载体102的突出特征（Ausprägungen）105进行穿孔。这些突出部105位于用于器皿101的载体的支承面108上并且例如构造为凸起边缘，所述边缘分别包围向外引导的开口109。器皿101可以在放入到载体102中时通过一个或多个、优选锁入的保持器件106固定，所述保持器件可以例如构造为回弹的锁扣钩106。因此，器皿101可以从上方放入到载体102中并同时被穿孔。

[0042] 理解的是，器皿 10 1也可以以其它方式例如通过卡口封闭件（Bajonettverschluss，有时称为卡口连接件）或附加部件固定在载体102中，其在放入器皿后被置入，并且所述器皿通过锁入到载体中被固定；器皿101还可以具有螺纹并且被旋入到载体102中。

[0043] 在一个实施变体方案中，穿孔也可以通过附加地设置在支承面108上的、例如切割部或注射针的部分来进行。在另一个实施变体方案中，器皿被多件式地设计，其中，器皿101的下侧110至少局部地由能够易于穿孔的材料、如例如薄膜形成。器皿101可以在此通过薄膜的穿孔或通过从下侧110的以薄膜覆盖的区域处拉出薄膜来打开。

[0044] 在另一个未示出的实施方式中，载体102具有齿圈或开齿部，所述开齿部例如在侧面（正齿轮状）上构造。这允许以几个角度的小角度α（希腊字母阿尔法）相对于筒包套的底部进行转动。通过这种转动可以显著减少对于制造的物体从参考面处的脱离所需的力。

[0045] 图5示出了具有置入到其中的器皿101的载体102的斜视图，由此形成筒封闭部件11。

[0046] 图6是筒封闭部件11的截面视图（沿着中轴线的纵向截面）。由于通过突出部105对器皿101的穿孔，光敏物质3可以通过设置在载体102中的开口109排出。在此，填充高度如在图6中所示从初始填充高度H0（图4）下降到高度h上。

[0047] 图7和8各在斜视图和截面视图（相应于图5和6的斜视图和截面视图）中示出了筒封闭部件200的第二实施方式，其具有载体202、盖201和栓塞208。载体202包含光敏物质3。形成在载体202的底部面中的开口209由栓塞封闭。栓塞208具有手柄元件或搭板并且通过盖201的开口207向上引出；所述栓塞在置入状态中密封盖201以及载体202防止光敏液体3的排出，其中，在开口207、209中的密封作用能够通过材料配合的插入、通过旋入或通过附加的几何结构特征，以及附加结构部件、如O型环、密封元件或类似物实现。盖201例如通过力配合的和/或形状配合的、然而密封的连接部210封闭载体202的内部空间。

[0048] 图9示出，光敏物质3在移除栓塞208之后如何通过底部侧开口209从载体202中排出。为了便于光敏液体3的排出，开口209的几何结构可以为了这些目的以适当的方式地成形。附加地，载体202和盖201可以在内侧在与光敏物质3达到接触的面处以如下材料涂层，所述材料负责光敏物质3中的尽可能少的光敏物质在排空后保留在载体202的内部空间中。这可以例如通过涂层有FEP、PTFE（特氟隆）或其它降低表面张力或润湿的物料来实现。这种变体方案实现了空心空间的容易的重新填充以及容易的清洁。有利的是，栓塞208可以如下设计，使得能够实现通过开口207的填充和重新封闭。

[0049] 栓塞208也可以具有填充通道（未示出），所述填充通道实现了通过栓塞填充空心空间；为此，填充通道可以构造为从上方置入的开孔，所述开孔在栓塞的下端部上方遇上侧向的开孔开口（通道的倒转的L或T形）。备选地，盖201能够具有适合于填充的、能够封闭的单独的开口（未示出）。

[0050] 在图10和11中示出了封闭部件300的第三实施方式，在所述第三实施方式中，冲模或活塞301在载体302内引导。活塞301的引导优选借助于例如以突出部或凸起部311的形式的引导元件311和313发生，所述引导元件接合到在载体302的内侧处的引导槽313中；所述引导槽因此可以用作定心部、引导部和转动止动部。活塞301还能够被如下实施，使得所述活塞也可以从载体302处移除。所述实施方式实现了用袋状容器312重新配备封闭部件300，所述袋状容器填充有光敏物质3。容器312至少部分由能够穿孔的材料制成，所述材料优选地还对于光是不可透的（例如塑料薄膜或涂层的铝薄膜）。活塞301在朝向容器312的侧上具有被构造在内表面处的例如以针、齿或切割部的形式的元件305，其针对性地实现袋状容器312的穿孔；补充地或备选地，载体302本身也可以具有这样的穿孔器件。穿孔也可以受控制地例如通过针状的体从外部进行。填充有光敏物质3的容器312在另一个实施变体方案中可以具有多个分段，所述分段分别填充有光敏材料。通过外部的、例如受控制的穿孔体能够因此以针对性的顺序将各个的分段进行穿孔。

[0051] 如同样在图10和11中可以看出的是，载体302此外可以被如下设计，使得所述载体可以本身容纳袋状的物体312，并且也可以将其在其位置中进行固定或定心。为此，用于容纳袋312的区域可以利用边缘或一定数量的搭板包围。图10的截面视图在具有活塞位置h1（被测量为与载体302的上边的间距）的初始位置中示出了多件式地形成的封闭部件300，其具有被保持在载体302中的袋状的物体312。

[0052] 图12的斜视图和图13的相应的截面图示示出在以活塞311处于其结束位置h2中的状态中的封闭部件300。从初始位置h1出发，在活塞301的位置h1和h2之间的任何位置以及最后结束位置h2可以通过外力F的作用来实现。作为（未示出的）变体方案，如果活塞可转动地在载体302中具有例如螺旋状的引导曲线或带有一定导程的螺纹，则活塞也可以通过使用周向力（用于产生转动运动）来运动。

[0053] 在从初始位置h1面向位置h2运动时，袋312被穿孔元件305刺穿并且由此打开。在图12中所示的位置h2中，经穿孔的袋312'放出了光敏物质3；所述光敏物质因此流出到载体302的内部空间中，从该处所述光敏物质通过为此设置的开口309从载体302中排出。在一个优选的设计方案中能够设置成，活塞301与载体302配合作用地被如下地设计，使得所述活塞除了穿孔也实现了容器312的压缩，并因此实现了所述容器的在很大程度上完全的排空。
理解的是，活塞301不必强行是封闭部件300的一部分；另外，活塞通常能够多件式地实施，也就是说分成多个子活塞，从而这些多重活塞可以彼此独立运动。

[0054] 在图14a-14d中，以示意性斜视图示出了根据本发明的筒机构的根据本发明至少部分柔性的包套的设计变体方案141、142、143、144的一些示例。包套例如单件式地实施，然而也能够由两个或更多构件组成。包套14、141-144的基本几何结构按照期望的应用区域可以具有围绕内部空间140的每种任何的几何结构的特征；例如，包套可以具有柱状或棱柱形的形状，具有圆形、椭圆形、正方形或矩形外形（Grundriss）；外形多边形的边此外可以进行倒圆。以优选的方式，包套具有杯状的基本形式，其中，所述包套可以包括底部和外罩。这里，外罩形成连接底部和上部部分的侧壁；在此，上部部分可以是包套的一部分或由附加的构件（如例如封闭部件11、200、300、400）形成。尤其，包套的优选的设计实施成旋转对称的，或者具有至少部分箱形的外形。

[0055] 例如，包套141可以具有带有平滑的外和内面的外罩，如在图14a中所示。如在14b和14c中所示，更复杂的包套几何结构同样是可能的。例如，图14b示出了包套142的外罩的折棚状的折叠，这允许包套142的更容易的折叠。包套142具有分段式地具有折叠折棚的功能的外罩几何结构。在其它（未示出的）示例中，包套的外罩可以被设计成锥形的、梯形的、会聚的，以便于折叠包套几何结构。在此，包套具有至少一个开口和/或合适构造的附件和/或开口。图14c示出了在基体中旋转对称地一件式地形成的包套143的示例，所述包套具有带有一个或多个开口的底部，附加的结构部件145和/或多层地并且由不同材料构建的底部以及必要时隔绝性的透明板可以置入到所述开口中，由此形成可以借助于结构部件145填充的空心空间，如下文借助于图17进一步解释的那样。备选地，被构造在包套处的构件、如例如入口/出口接管或类似物也可以与包套一件式地构造。附加地，参照图14d和在所述图中所示的包套144，包套几何结构能够至少设有在包套144的下部的区域中的加深的和/或凸起的几何结构的特征146（例如槽或肋），借助所述几何结构的特征能够固定附加的底部15、25（图2或17），所述底部对于用于硬化光敏物质的光化学辐射至少部分是可透的（例如由有机玻璃、丙烯酸玻璃或浮法玻璃形成），并且形成在包套141-144的底部下方的附加空心空间。另外，所述特征可以提供包套144的取向可行方案和/或固定可行方案。

[0056] 图15示出了筒封闭部件500的示例，在所述筒封闭部件的外侧（这里是盖501的上侧）上设置有一个或多个信息载体502、503，在所述信息载体中存储有尤其关于所述光敏物质的量、类型和/或状态方面涉及光敏物质和/或三维物体的制造的过程的工艺参数的信息。从信息载体可以使得数据通过适当的发送路径传输到立体光刻装置、例如控制机构9处。信息载体例如可以是印记、条形码503、RFID芯片502、磁条或类似物。

[0057] 图16a-16d呈现出各个时期或阶段的顺序，所述时期或阶段用于说明在根据本发明的立体光刻设备1的可能实施方式中的根据本发明的筒机构（以图2的筒系统10为例）的功能。为了图示的更好的概览性，在这些图中仅示出了设备1的光源8和筒系统10，而用于筒系统10的保持、定位以及可能的变形（压缩/伸展）的机构未被显示。图16a-16d示出了借助于针对物体2的层Bn的单个构建周期的三维物体2的制造，其中至此有层B1到Bn-1已经被产生出来。在本公开的附图中，三维物体2被示出为具有倒棱锥状的形状的结构部件，这仅示例性是设想的且不应该起限制作用；当然，可以产生三维物体的最不同的形状。在使用光敏物质3的情况下的针对层Bn的构建周期包括以下阶段：阶段1：具有高度A1的初始位置（图16a），
阶段2：将载体降低到高度A2上（图16b），其中A2阶段3：曝光或产生层Bn（图16c），
阶段4：提起载体（图16d）并且必要时脱模被硬化的层Bn。

[0058] 由此实现了相应于初始位置（阶段1）的结束位置，但是其中高度A3>A2。高度A3可以在所示的构建周期之前与高度A1一致或者不同。通常，A3>A1，因为结构部件的大小增加。

[0059] 图16a示出了具有已经穿孔的器皿111的初始情况，光敏物质3从所述器皿中流入筒系统10的内部空间140中，并且在那里填充或覆盖包套14的表示本发明的容纳空间的底部。在具有高度A1的初始位置（阶段1）中，产生了结构部件2的已经n-1个结构部件层，并且最后形成的层Bn-1位于包套14的底部上方的位置中。

[0060] 然后，如在图16b中所示，筒系统10的由封闭部件11形成的上部部分在所述筒系统被压缩的情况下发生下降。封闭部件11的下降以适宜的方式进行，直到层Bn-1与光敏物质3（重新）进入接触。层Bn-1以适宜的方式如下定位，使得所述层以待形成的层Bn的期望的层厚度位于参考面41的上方。在封闭部件11的下降期间，必要时可以继续使得光敏液体3从器皿111中排出，在此，仍然位于层Bn-1下方的液态光敏物质3被排挤到层Bn的所期望的层厚度上；换句话说，光敏物质3填充在层Bn-1和参考平面41之间的缝隙，所述参考平面由包套14的底部或必要时通过光敏物质3的非反应相33（参见图17）形成。可变形的包套14根据本发明并且相应于其设计地占据被压缩的、即折合的和/或鼓胀的状态。

[0061] 在图16c中所示的阶段3中，新的结构部件层Bn借助于光化学辐射80、例如UV光硬化，所述UV光从光源8发出并聚焦在参考面41上的层Bn的要显影的区域上。这里，与传统的立体光刻方法一致地，层Bn的结构通过选择层Bn的曝光区域来产生。

[0062] 在阶段4中，由此在阶段3中被硬化的层Bn从包套14的底部或相33通过封闭部件11的相对运动被提起；因此，新形成的层Bn与参考面41脱离。在此，包套14相应于运动的升程的大小地向上弹性变形、也就是说通常部分松弛。

[0063] 图17以纵向截面视图示出了筒系统20的另一实施方式，其中，包套24例如基本上模仿了图14c的包套143。在包套24的下方存在有空心空间22，所述空心空间构造在外部玻璃底部25和包套24的下侧23之间。通过包套24的侧向突起部或其它为此设置的开口（未示出），空心空间25可以被灌注（geflutet）以流体19（例如氧或其它抑制反应的气体）或其它抑制剂（体积通过量V˙）。通过经过包套24的可渗透底部挺进到筒的内部空间240中的抑制剂来构造光敏物质3的非反应相33，其表面形成所述实施方式的参考面42，来代替包套24的（内）底部面。这样形成的参考面42提供的优点是，结构部件2的所产生的层不会粘附在包套24的底部面处，并且因此避免了下层的粘贴和可能的撕下的风险。

[0064] 筒系统的内部空间可以在该或还有在其它所示的实施方式中附加地加载有压力p1，所述压力大于或小于周围环境压力p0；这可以通过为此设置的在封闭部件21和/或包套24中的开口（未示出）进行。在此，筒系统的内部空间例如可以灌注以特殊保护气体（例如氮），所述保护气体防止已形成的层的氧抑制，并且因此积极地影响层的机械强度以及所述层的表面质量。

[0065] 图18示出了包套34（所述包套相应于图14d的包套变体144被构造）以及筒系统30的构建的另一种可能的实施方式。在所述实施变体方案中，包套34具有被穿孔的（即未完全构造的）底部344，所述底部因此具有一个开口18（或多个这样的开口）。所述开口借助于置入的板或片形的结构部件或结构部件复合物35封闭。所述结构部件35可以必要时多件式地构建；所述结构部件负责筒系统30的闭合的内部空间340，并且其上面形成参考面。例如，结构部件35可以通过三明治结构形成，所述三明治结构对于用于硬化光敏物质3的光化学辐射以及气体能够是至少部分可透的；例如，可以在载体部分32上构造弹性薄膜31（例如FEP薄膜、特氟隆薄膜），所述载体部分由如下材料如例如微多孔的玻璃构成，所述材料对于用于形成非反应相33（参见对图17的上文）的所采用的气体或气体混合物具有特别好的渗透性。

[0066] 另外，图18示出了基于图14d的包套144的变体方案的包套的实现的另一方面，其中，包套34的外罩由多个部段（341、342、343）形成，并且各个的部段能够具有彼此不同的材料特性。这允许形成如下筒包套，所述筒包套例如具有带有不同柔性和/或不同光学特性的区域。当然，外罩的分部段也可以被设置于在此所示的实施方式中的任何其它实施方式中。

[0067] 在图19a和19b中，借助根据本发明的筒系统40的截面图示示出了本发明的另一方面、即器皿的更换，以便在不同的工艺类型之间切换，例如从层构建到清洁过程。图19a示出了筒系统40，根据更上面描述的过程借助于光敏物质3在所述筒系统中构建物体或结构部件2；光敏物质3来自置入到筒系统40的载体402中的器皿401。通过移除器皿401并且通过置入与本实施例的封闭部件400兼容的新的器皿404来替换所述器皿401，可以取代光敏物质3而引入其它物质。例如，器皿404可以填充有溶剂43、如例如异丙醇。通过置入器皿404并且在放入到封闭部件400的载体402的内部空间中的过程中来穿孔器皿404的外包套，溶剂43被释放并且可以通过封闭部件400的开口进入筒系统40的内部空间440中。如在图19b中所示，溶剂43部分或完全填充筒系统40的内部空间并且因此实现结构部件2的清洁、尤其移除仍然粘附在结构部件2处的光敏物质3和/或溶解剩余的、位于内部空间中的尚未或仅部分硬化的光敏物质3。通过将光敏物质3溶解在溶剂43中，溶液或混合物13形成在筒的内部空间中。所述溶液或混合物现在可以通过筒40的倾覆或翻转通过在封闭部件400中的开口导出。例如能够通过在载体402中的开口在移除器皿封闭部件403时使得混合物13从筒系统40的内部空间440流出。如果期望，可以然后通过新溶剂替换液体。在这里，筒机构能够被实施成使得光敏物质3的溶解可以通过振动、离心、摇动、提高温度或其它合适的措施来促进。

[0068] 以类似于在图19a和19b中所示的方式，在不同类型的光敏物质之间的更换也可以例如当物体2应该由不同材料组成，和/或期望不同液体以用于清洁和/或再硬化物体2时进行。

[0069] 液体的更换或者还有连续交换也能够通过以下方式来实现，即，通过在载体402或包套44中的第一开口引入新的（通常为液态或悬浮状的）物质，所述物质置换（verdrängt）在内部空间中的物质；这样被置换的物质可以通过第二开口流走。合适的泵可以设置在第一开口的引入线路和/或第二开口的流走线路中。

[0070] 此外，根据本发明的筒机构或立体光刻装置的上述实施方式可以按照应用地包括以下方面和改型方案：筒机构可以直接或间接包含光敏物质，并且是一件式的或由多个构件组成。包套可以三维成型并且优选是一件式的，其中，包套的可变形部分（所述部分优选是侧向环绕的外罩）可以由柔性或可折叠材料构成。包套的底部能够至少部分是光和气体可透的，并且所述底部可以由对此合适的材料制成，例如硅酮或包括硅酮、玻璃和/或塑料层的例如以三明治状的构建的多层原料复合物制成。在立体光刻装置的方面设置有光源以及至少一个物体载体（也被称为载体容纳部或简称为载体），所述光源优选可控制地能够运动和能够移动，以用于光敏物质的选择性曝光。物体载体布置在筒机构的内部或外部，并且可以必要时相对于筒的底部可运动。

[0071] 在另一个变体方案中，筒的外罩部分可以由薄膜软管（例如FEP或PTFE薄膜）构成，而筒的底部和筒的封闭性的上部部分是由合适的塑料和/或合适的多层复合材料制成的简单的注射成型部件。这些实施变体方案的成本显著小于硅酮注射成型实施方案的成本，并且薄膜此外会更薄并且能够更容易变形。

[0072] 光敏材料可以在筒中位于一个（或多个）构造在所述筒中的容纳空间中，所述光敏材料例如还在将筒放入到设备中之前填入到所述容纳空间中，或者所述光敏材料可以被引入在一个或多个被放入到筒中的容器中、例如在筒体、载体（物体载体）或包套本身内的为此设置的容纳空间中。此外可以同时用作封闭部件的并且能够一件式或由多个部件形成的载体可以具有至少一个几何结构的凹处，光敏物质或用于所述光敏物质的容器能够被容纳到所述几何结构的凹处中。所述凹处此外可以具有特殊成形的表面或结构，或者可以在所述凹处中接入具有特殊成形的表面或结构的构件，其中，所述表面或结构能够对其它体造成穿孔作用。因此，载体或凹处可以容纳和/或存储至少一个光敏物质，要么直接要么间接在容器中包含所述至少一个光敏物质。

[0073] 这省下了复杂的再填充和配量机构以及载体的复杂清洁。通过简单和无污染地置入到立体光刻设备中和从立体光刻设备中取出，利用根据本发明的筒系统（筒机构）得到了非常特别的优点。在此可以在包含例如不同光敏物质的不同筒之间快速地而且没有长的清洁和设置时间地进行更换。因此，例如也可行的是，在设备中在已经开始的构建工艺期间接通第二筒，以便因此提高设备的负荷率。此外，基于在筒内的已知的物质量，根据要求可以仅产生精确确定的数量或精确确定的物体体积。光敏物质的耐久性可以因此借助于根据本发明的筒系统精确地确定，并因此还可以确定在经硬化的状态中的要预期的物体和材料特性、如例如期望的生物兼容性。根据本发明的筒系统可以容易地从设备中取出（包括在载体上的所形成的物体在内），并且然后可以引入到（例如用于清洁和/或再曝光的）后处理设备中，所述后处理设备被设计成容纳筒系统并且可能在适当的部位处通过开口或者通过筒本身的穿孔将清洁剂、例如溶剂如异丙醇引入和/或引走。

[0074] 此外可以通过相同的和/或其它的为此所设置的或合适的在筒的部分中的开口导入特殊的大气。因此，具有在载体上的位于所述筒中的被清洁的物体的现在被清洁的或部分清洁的筒可以用作填充有保护气体的钟。优选地，包套是至少部分光可透的，特别优选地，包套以及筒的底部是光可透的并且由相同的柔性材料、例如硅酮制成。许多有利的实施方式的突出之处在于，包套以及筒的底部一件式地由光可透的、柔性的和化学稳定的以及氧可透的材料、如例如硅酮构成、特别优选地由液体硅酮橡胶（LSR）材料构成，其中，封闭部件以及可能的其它部件或其部分、如例如载体和/或活塞和/或填充有光敏材料的器皿可以由光不可透的材料构成。载体能够具有至少一个几何结构的凹处，由于重力或借助通过载体所施加的压力，光敏物质经由所述几何结构的凹处可以通过活塞或从所述活塞旁边经过地挺进到筒的被设置用于曝光的区域中或到筒底部。

[0075] 因为本发明实现了光敏物质在封闭部件中或在封闭部件中结构性形成的空心空间中的单独的存放可能性，所以可以在结构上排除物质冒出（Quellen）或扩散到筒的更敏感的区域中。在这里有利的是，光敏物质附加地被包含在例如袋状容器或特殊形成的容器体中，其优选位于载体中或能够放入到所述载体中。封闭部件、更准确地说所述封闭部件的部分、如例如载体的背侧在结构上和/或由于表面性质被设立成穿孔光敏物质的容器（例如袋），以便由此释放光敏物质。在另一个有利的实施方式中，填充有光敏物质的一次性器皿可以被载体的特殊成形的部分刺穿，由此释放光敏物质。

[0076] 筒系统可以能够被一次地使用或被设计成所述筒系统可以被多次使用。因此，所述筒系统可以被设计为一次性系统或设计为可重新填充的。

[0077] 根据本发明的筒机构根据设计实现气体混合物的更简单的、更精确的测量、更小的气体量、气体的体积流的更准确的设计（因为光敏物质的量例如通过器皿的填充是准确已知的）、与光敏物质的安全的和更简单的处理、安全和更稳定的工艺以及污染的防止。此外，本发明省下了设备的完全或部分气密的实施方案，因为气体可以被限制到筒上。

[0078] 在另一个适宜的设计方案中，筒的包套具有双底部，所述双底部可以单件式或多件式地构造。在此，（例如向下）隔绝包套的形成参考平面（并且在最简单的情况下也形成筒系统的底部）的部分能够由非柔性或仅部分柔性的多层形成的底部构成，所述底部被设计成对于光化学辐射是可透的以及对于特殊气体或气体混合物是可渗透的。支撑元件能够位于筒包套下方，所述支撑元件同样对于气体是可渗透的。

[0079] 在所提及的底部面与包套之间的连结（Anbindung）可以如下地实施，使得所述连结是气密的。在此，包套本身可以具有密封元件、如特殊的隆起部。筒的包套可以在另一个有利的实施变体方案中如下地设计，使得通过置入到根据本发明的设备中才形成相对于包套的双重底部，其中，过渡相对于气体完全或部分密封地实施。筒机构此外还能够本身保存在设备中的气密的包裹部、如例如管中。由此产生几何结构上任意成特征的空心空间，所述空心空间根据应用的要求和可能性可以具有至少一个触及开口和/或至少一个出口开口，通过所述空心空间可以导入或已经导入特殊的气体或气体混合物。在此，实施有筒系统的包套的第一底部，所述第一底部由对于气体或气体混合物部分或全部可渗透的至少一个材料构成，并且优选由硅酮或具有硅酮的材料组合和/或可渗透材料（如例如PTFE或玻璃）构成。包套的隔绝性部分能够如已经描述的那样同样由对于气体可透的微多孔的玻璃构成。因此能够从下部直接或间接地将气体或气体混合物引入到筒的内部容积中和/或引走。在另一个设计方案中，筒系统具有可以以时间分辨的方式测量气体或气体混合物的扩散的传感器或测量感测器，以便由此在工艺持续时间上控制气体或气体混合物的成分的体积流。
在此，传感器能够已经存在于筒中、例如在载体中。例如，传感器能够在置入筒系统时被引入，并且必要时可以通过由特殊的之前密封的开口所引起的筒的锁定或定心过程或通过筒的穿孔被定位。在此适当的是，如下地选择传感器的位置，使得所述传感器不与光敏树脂到达接触，或传感器被如下地设计，使得污染不会触发测量的失真以及提高的测量不确定性。
在此，在筒内的大气的测量方法可以通过直接或间接的方法进行。如下测量方法可以是特别有利的，在其中，传感器或测量感测器布置于筒或包套的外部并且实现测量筒内的组分或气体浓度；也可以为此利用包套本身的渗透性，以便实现对在特定区域中的气体浓度的推断。

[0080] 在本发明的另外的设计方案中，可以在筒内引入不同的气体或气体混合物。例如可以从下方通过筒的底部将氧以比在标准大气中高的浓度引入，并且从上方通过载体将氮引入，以便因此针对性地影响光敏树脂或其工艺的特性，并且最终影响形成的体的最终特性。

[0081] 当然，本领域技术人员可以无问题地在本发明的在此所公开的实施方式处实行各种变型和补充，只要所述变型和补充处于下面的权利要求的保护范围内。

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具有筒机构的立体光刻装置

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