专利汇可以提供一种偏转电容式表面微机械加工残余应力的测试结构专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种偏转电容式表面微 机械加工 残余应 力 测试结构,包括衬底、两 块 下极板和上极板、左横梁、右横梁和两个锚区;下极板沉积于衬底上表面;两个锚区置于衬底上;上极板悬置在下极板上方;左横梁和右横梁完全相同,分别位于上极板的横向 中轴 线L两侧,且相距中轴线L的距离相等;左横梁的右侧连接上极板左侧,左横梁的左侧固定在一个锚区侧面;右横梁的左侧连接上极板右侧,右横梁的右侧固定在另一个锚区侧面;上极板与左横梁和右横梁位于同一平面。该 发明 结构简单,易于加工且测试设备简单、 精度 高,通过增加测试结构中电容上、下极板的面积可以提高测量精度,且发明中采用的上极板旋转方法比平移方法易于获得更大的电容变化。,下面是一种偏转电容式表面微机械加工残余应力的测试结构专利的具体信息内容。
1.一种偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构,其特征在于:包括衬底(1)、两块下极板(2)和上极板(3)、左横梁(41)、右横梁(42)和两个锚区(5);
所述下极板(2)沉积于衬底(1)上表面;
所述两个锚区(5)置于衬底(1)上;
所述上极板(3)悬置在下极板(2)上方;所述左横梁(41)和右横梁(42)完全相同,分别位于上极板(3)的横向中轴线L两侧,且相距中轴线L的距离相等;左横梁(41)的右侧连接上极板(3)左侧,左横梁(41)的左侧固定在一个锚区(5)侧面;右横梁(42)的左侧连接上极板(3)右侧,右横梁(42)的右侧固定在另一个锚区(5)侧面;上极板(3)与左横梁(41)和右横梁(42)位于同一平面,该平面与衬底(1)所在平面平行;
所述两块下极板(2)分别位于上极板(3)前后两端的下方;两块下极板(2)的同一侧与上极板(3)对齐,另一侧超出上极板(3)的覆盖范围;两块下极板(2)被上极板(3)遮蔽的面积相同;
所述下极板(2)与上极板(3)之间分别形成平板电容C1和C2。
2.如权利要求1所述的一种偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构,其特征在于:所述下极板(2)涂覆有相同的介质层,该介质薄层材料为氮化硅。
3.如权利要求1所述的一种偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构,其特征在于:所述下极板(2)材料为掺杂多晶硅。
4.如权利要求1所述的一种偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构,其特征在于:所述两块下极板(2)为两个完全相同的矩形。
5.如权利要求1所述的一种偏转电容式表面微机械加工残余应力测试结构,其特征在于:所述下极板(2)和上极板(3)的材料相同。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
微机械加速度传感器加工方法 | 2020-05-18 | 19 |
微机械太赫兹波导、太赫兹波导式谐振腔及制备方法 | 2020-05-15 | 2 |
微机械太赫兹波导、太赫兹波导式谐振腔及制备方法 | 2020-05-15 | 694 |
太阳电池硅表面生成多孔硅的方法 | 2020-05-19 | 502 |
共振隧穿微机械力传感器及其制造方法 | 2020-05-16 | 898 |
表面微机械加工的差动式传声器 | 2020-05-11 | 388 |
用于加工用于控制流体流的部件的方法以及按该方法加工的部件 | 2020-05-17 | 911 |
制造微加工电容式超声传感器的表面微机械工艺 | 2020-05-13 | 791 |
微型电磁式能量采集器及制备方法 | 2020-05-15 | 473 |
一种电容式表面微机械加工残余应力测试结构 | 2020-05-11 | 672 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。