首页 / 专利库 / 加工 / 工件 / 一种双工件台系统安全保护方法

一种双工件台系统安全保护方法

阅读:1发布:2021-08-20

专利汇可以提供一种双工件台系统安全保护方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且一种双 工件 台系统安全保护方法,它属于 半导体 制造装备的技术领域。它的方法步骤一:在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM;二:多个多路运动控制卡中的FPGA以200us 采样 周期,通过VME工控机中的VME自定义总线从 信号 采集卡获取各 电机 的 位置 信息,并存放在相应的双口RAM内;三:嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息;四:上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据,并判断数据类型,当该数据为故障代码时,弹出对话框,提示用户出现故障,并显示故障代码。本 发明 基于VxWorks 操作系统 与VME总线工作,在系统某一机构发生故障时,利用 软件 使本机构和其他机构停止运行,保障了双工件台系统的安全运行。,下面是一种双工件台系统安全保护方法专利的具体信息内容。

1.一种双工件台系统安全保护方法,其特征在于它的方法步骤为:
步骤一:在每个多路运动控制卡(4)内分别设置多组8字节大小的双口RAM,分别存放安全保护标志、各多路运动控制卡(4)所控制的各个电机位置及位置误差;
步骤二:多个多路运动控制卡(4)中的FPGA以200us采样周期,通过VME工控机(2)中的VME自定义总线(6)从信号采集卡(5)获取各电机的位置信息,并存放在相应的双口RAM内,FPGA每完成一次信号采集,触发一次各多路运动控制卡(4)中的DSP的外部中断;在DSP外部中断程序内,DSP首先通过各多路运动控制卡(4)中的EMIF读取FPGA内安全保护标志,当该标志不为0时,立即对各电机发送停止运行指令;若安全保护标志为0,则获取FPGA的双口RAM内的电机位置信息,并依据当前位置给定,对各电机进行PID控制,并将各电机的位置误差值,通过EMIF写进FPGA的位置误差双口RAM内;
步骤三:嵌入式主控CPU板(3)通过VME总线(7)不断获取各多路运动控制卡(4)内各电机的位置及位置误差信息;首先判断各电机位置误差及各电机之间的位置关系是否正常,若不正常,说明出现故障;出现故障后嵌入式主控CPU板(3)一方面将故障代码通过VME总线(7)写进各多路运动控制卡(4)的安全保护标志双口RAM内,另一方面将故障代码通过以太网(8)发给上位机(1);
步骤四:上位机(1)通过以太网(8)接收来自嵌入式主控CPU板(3)的数据,并判断数据类型,当该数据为故障代码时,弹出对话框,提示用户出现故障,并显示故障代码。

说明书全文

一种双工件台系统安全保护方法

技术领域

[0001] 本发明属于半导体制造装备的技术领域。

背景技术

[0002] 现代科技的迅猛发展对超大规模集成电路的制造能提出了越来越高的要求,芯片越来精细,集成度越来越高是集成电路发展的必然趋势。光刻机作为极大规模电路制造装备,其技术目前主要被欧美等发达国家所垄断,我国尖端芯片依然依赖进口,严重制约了我国在航空、航天、船舶、电力等领域的发展。为了打破垄断,提高我国集成电路制造能力,我国已将扫描光刻设备的研制列为国家重大科技专项。
[0003] 工件台技术是光刻机的核心技术之一,其主要作用是承载片,实现高速、高加速度条件下,硅片纳米级精度定位,并配合光刻过程中的上片、预对准、对准、曝光和下片等加工制造工序。工件台技术对光刻机分辨率、套刻精度、产率三大性能指标起着至关重要的影响。
[0004] 目前光刻机多采用双工件台技术,双工件台系统在运行过程中,涉及多个运动机构的相互配合,如果在运行过程中某一机构发生故障,此时又没有安全保护措施,不仅会对本机构带来伤害,而且由于该机构没有按照预定动作与其他机构进行配合,可能会对其他机构造成电气或机械结构上的损伤,甚至使整个系统瘫痪,带来严重的经济损失。
[0005] 传统的安全保护方法多在机械上采取一定措施,如对一些运动机构进行机械限位等,机械方法虽然可靠性比较好,但是影响系统美观,增加了系统成本,而且大多需要精确设计,方案一旦确定,难以更改。

发明内容

[0006] 本发明的目的是提供一种双工件台系统安全保护方法,是为了解决传统的安全保护方法多在机械上采取一定措施,如对一些运动机构进行机械限位等,机械方法虽然可靠性比较好,但是影响系统美观,增加了系统成本,而且大多需要精确设计,存在方案一旦确定,难以更改的问题。
[0007] 所述的目的是通过以下方案实现的:所述的一种双工件台系统安全保护方法,它的方法步骤为:
[0008] 步骤一:在多个多路运动控制卡4内分别设置多组8字节大小的双口RAM,分别存放安全保护标志、各多路运动控制卡4所控制的各个电机位置及位置误差;
[0009] 步骤二:多个多路运动控制卡4中的FPGA以200us采样周期,通过VME工控机2中的VME自定义总线6从信号采集卡5获取各电机的位置信息,并存放在相应的双口RAM内,FPGA每完成一次信号采集,触发一次各多路运动控制卡4中的DSP的外部中断;在DSP外部中断程序内,DSP首先通过各多路运动控制卡4中的EMIF读取FPGA内安全保护标志,当该标志不为0时,立即对各电机发送停止运行指令;若安全保护标志为0,则获取FPGA的双口RAM内的电机位置信息,并依据当前位置给定,对各电机进行PID控制,并将各电机的位置误差值,通过EMIF写进FPGA的位置误差双口RAM内;
[0010] 步骤三:嵌入式主控CPU板3通过VME总线7不断获取各多路运动控制卡4内各电机的位置及位置误差信息;首先判断各电机位置误差及各电机之间的位置关系是否正常,若不正常,说明出现故障;出现故障后嵌入式主控CPU板3一方面将故障代码通过VME总线7写进各多路运动控制卡4的安全保护标志双口RAM内,另一方面将故障代码通过以太网8发给上位机1;
[0011] 步骤四:上位机1通过以太网8接收来自嵌入式主控CPU板3的数据,并判断数据类型,当该数据为故障代码时,弹出对话框,提示用户出现故障,并显示故障代码。
[0012] 本发明基于VxWorks操作系统与VME总线,提出了一种双工件台系统安全保护方法,在系统某一机构发生故障时,利用软件使本机构和其他机构停止运行,保障了双工件台系统的安全运行。与传统采用机械方式进行安全保护的方法相比,本方案无需在双工件台系统的机械设计上作任何改动,设计灵活,成本较低,便于修改,易于实现复杂的保护算法附图说明
[0013] 图1是本发明方法涉及的装置的简要结构示意框图

具体实施方式

[0014] 具体实施方式一:结合图1所示,说明本具体实施方式的技术方案,它的方法步骤为:
[0015] 步骤一:在多个多路运动控制卡4内分别设置多组8字节大小的双口RAM,分别存放安全保护标志、各多路运动控制卡4所控制的各个电机的位置及位置误差;
[0016] 步骤二:多个多路运动控制卡4中的FPGA以200us采样周期,通过VME工控机2中的VME自定义总线6从信号采集卡5获取各电机的位置信息,并存放在相应的双口RAM内,FPGA每完成一次信号采集,触发一次各多路运动控制卡4中的DSP的外部中断;在DSP外部中断程序内,DSP首先通过各多路运动控制卡4中的EMIF读取FPGA内安全保护标志,当该标志不为0时,立即对各电机发送停止运行指令;若安全保护标志为0,则获取FPGA的双口RAM内的电机位置信息,并依据当前位置给定,对各电机进行PID控制,并将各电机的位置误差值,通过EMIF写进FPGA的位置误差双口RAM内;
[0017] 步骤三:嵌入式主控CPU板3通过VME总线7不断获取各多路运动控制卡4内各电机的位置及位置误差信息;首先判断各电机位置误差及各电机之间的位置关系是否正常,若不正常,说明出现故障;出现故障后嵌入式主控CPU板3一方面将故障代码通过VME总线7写进各多路运动控制卡4的安全保护标志双口RAM内,另一方面将故障代码通过以太网8发给上位机1;
[0018] 步骤四:上位机1通过以太网8接收来自嵌入式主控CPU板3的数据,并判断数据类型,当该数据为故障代码时,弹出对话框,提示用户出现故障,并显示故障代码。
[0019] 工作原理:本发明方法的实现需要以下软硬件部分的支持,硬件上包括上位机1和VME工控机2;上位机1运行Windows操作系统,VME工控机2内插有嵌入式主控CPU板3、多路运动控制卡4和信号采集卡5。
[0020] 嵌入式主控CPU板内运行VxWorks操作系统。上位机与主控CPU板通过以太网8按TCP/IP协议进行通信,主控CPU板与运动控制卡通过VME总线7进行通信,多路运动控制卡4与信号采集卡5通过VME自定义总线6进行通信。多路运动控制卡4的VME接口、串口及光纤口由FPGA驱动,控制算法由DSP实现,FPGA与DSP之间通过EMIF进行通信。
高效检索全球专利

专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。

我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。

申请试用

分析报告

专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。

申请试用

QQ群二维码
意见反馈