专利汇可以提供温控的游丝摆轮谐振器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种温控的游丝 摆轮 谐振器 。在该谐振器中,通过光 刻蚀 法在一预先从一 石英 单晶体切下的石英片上构造出游丝,这样盘圈的高度h与晶轴z之间形成一用于使游丝的 温度 特性与摆轮的温度特性相适配的夹 角 θ,从而减小因温度变化而引起的变化率。,下面是温控的游丝摆轮谐振器专利的具体信息内容。
1.用于一机械表运动的游丝摆轮谐振器,它包括一具有一弹性常数 C的游丝以及一具有一惯性矩I的摆轮,其特征在于:所述游丝由用一单 个石英单晶体制成的高为h的盘圈形成。
2.根据权利要求1的游丝摆轮谐振器,其特征在于:所述石英为沿 晶轴xyz的结晶形态,其中轴x为电轴,轴y为机械轴。
3.根据权利要求2的游丝摆轮谐振器,其特征在于:绕轴x转动后, 沿着所述盘圈的高度h的方向z’与石英的晶轴z形成一夹角θ。
4.根据权利要求3的游丝摆轮谐振器,其特征在于:所述夹角θ为 包括在+25°到-25°之间的值,优选为+10°到-15°之间的值。
5.根据权利要求4的游丝摆轮谐振器,其特征在于:夹角θ的极限 值允许所述游丝的弹性常数与所述摆轮的热膨胀系数相适配。
6.根据权利要求3的游丝摆轮谐振器,其特征在于:就所述游丝和 所述摆轮的温度特性而言,通过选择一合适的夹角θ的值,使所述游丝的 弹性常数C和所述摆轮的惯性矩I相匹配。
7.一游丝摆轮谐振器的制造方法,它包括一其中心弯曲部经一环或 夹头固定在一摆轮上的游丝,其特征在于:通过执行以下步骤来获得所述 游丝的高度h:
——从一具有晶轴xyz的石英条上切下一具有轴xyz的石英片,其 中轴x为电轴、轴y为机械轴,如有必要可使所述石英片变薄到盘圈所需 高度h;
——在所述石英片的表面用光刻蚀法形成一掩模,所述掩模的轮廓限 定了所述游丝所需的形状;
——用湿法蚀刻或干法蚀刻把位于形成的所述轮廓以外的石英除去, 并放开所述游丝。
8.根据权利要求7的方法,其特征在于:所述形成游丝的石英片是 从石英上沿通过绕轴x转动而得到并与晶轴xyz所限定的平面成θ角的一 平面xy’z’切割而得,所述夹角θ可以在+25°到-25°之间变化,优选在 +10°到-15°之间变化。
9.根据权利要求7的方法,其特征在于:用于去除位于所述游丝轮 廓以外的石英的蚀刻是通过湿法蚀刻完成的,优选利用一HF/NH4F溶液 的蚀刻法。
10.根据权利要求7的方法,其特征在于:用于去除位于所述游丝轮 廓以外的石英的蚀刻是通过干法蚀刻完成的,例如活性离子蚀刻法。
11.根据权利要求7的方法,其特征在于:所述光刻蚀步骤允许在形 成所述游丝的同时形成所述游丝与外部的连接和中心的固定环或夹头,还 允许选择其它结构参数例如盘圈的厚度或其节距。
12.根据权利要求8的方法,其特征在于:切割夹角θ的极限值可使 所得到的游丝的弹性常数与一摆轮的热膨胀系数相适配。
本发明涉及一种用于把一机械表运动的日温度变化率减少到可比得上 一电子石英表的变化率水平的温控的游丝摆轮(sprung balance)谐振器/ 振荡器。
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