专利汇可以提供一种三自由度超精密微动工作台专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种三 自由度 超精密微动 工作台 ,该工作台X、Y和θ方向的运动由四个垂直布置在微动台外 框架 和内框架的直线 电机 提供,直线电机的动子安装在外框架的内侧,直线电机 定子 安装在内框架外侧。外框架由安装在外框架底部四 角 的四个圆形气浮 轴承 实现垂直方向的支承,内框架分别由环形气浮轴承和圆形 真空 预紧 吸盘 实现垂向的支承。微动台的 位置 信息由垂直安装在载物平台上的第一、第二平面配合激光干涉仪测量。本发明所提出的一种三自由度超精密微动工作台可实现大负载、大惯量、高 精度 的运动,该平台X和Y向的行程为2mm,θ的旋转角度为0.002rad,X和Y向的 定位 精度可达到5nm,旋转角度精度为0.25μrad。本发明可用于 光刻 机、超精密数控机床、 生物 芯片 扫描仪 等设备中。,下面是一种三自由度超精密微动工作台专利的具体信息内容。
1.一种三自由度超精密微动工作台,其特征在于:
四个圆形气浮轴承(20)分别对称安装在外框架(1)底部的四角,圆形真空预紧吸盘(14)内嵌在环形气浮轴承(13)中,环形气浮轴承(13)与支撑架(12)连接,圆形真空预紧吸盘(14)、环形气浮轴承(13)和支撑架(12)组成带真空预紧的气足,该气足安装在内框架(4)的底部以支承微动台内框架(4),气足的中心轴与内框架(4)的中心轴重合;
外框架(1)为中空的长方体,内框架(4)为位于外框架(1)内的四周开有凹槽的长方体;第一至第四直线电机定子(2、11、17、19)对称的安装在外框架(1)内部的四个侧壁的几何中心上,第一至第四直线电机动子(3、10、16、18)对称安装在内框架(4)的四个侧壁的几何中心上,第一至第四直线电机定子(2、11、17、19)分别悬浮在第一至第四直线电机动子(3、10、16、18)的凹槽中;
载物平台(6)安装在内框架(4)上,第一、第二平面镜(7、8)粘合在载物平台(6)上,第一、第二平面镜(7、8)的材质和形状相同,第一平面镜(7)与载物平台(6)的一个边平行,第一平面镜(7)和第二平面镜(8)的中心线呈90度的夹角。
本发明涉及一种精密设备,具体为一种三自由度超精密微动工作台,该工作台可应用于光刻设备、精密机床、精密测量设备等高精度系统技术领域,亦可用于生物工程设备。
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