技术领域
[0001] 本实用新型涉及
多晶硅领域，尤其涉及一种用于石墨底板和多晶硅锭炉的硅溢流检测装置。
背景技术
[0002]
坩埚在
铸锭(高温)时破裂或
变形，高温硅液在坩埚破裂或变形后溢出坩埚体外，渗透隔
热层底部的
隔热板，溢出的硅液将下炉腔中的溢流报警线熔断，触发硅液溢流报警器报警。
[0003]
现有技术中的流出坩埚外部的硅液往往因为突破石墨护板的阻拦而不能滴落或者延缓滴落至溢
流线上，使得硅液溢流检测装置较晚察觉到硅液的溢流，产生更大的损失，甚至引发生产安全事故。实用新型内容
[0004] 本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种能够及时检测到硅液溢流的石墨底板和多晶硅锭炉的硅溢流检测装置。
[0005] 为了解决上述技术问题，本实用新型的
实施例提供了一种石墨底板，用于承载多晶硅铸锭炉中的坩埚，所述石墨底板开设环形槽和溢流通道；所述溢流通道连通于所述环形槽与所述石墨底板的边缘之间，当所述坩埚中漏出的硅液滴入所述环形槽时，所述溢流通道用于使所述硅液流到所述石墨底板的边缘处，并滴落到溢流线。
[0006] 其中，所述环形槽的槽宽为10～15mm。
[0007] 其中，所述环形槽包括底面，所述底面正对所述环形槽的开口，所述底面为沿着所述硅液的流动方向倾斜的斜面，所述坩埚中漏出的硅液沿着所述底面的倾斜方向流至所述溢流通道。
[0008] 其中，所述底面的横截面为圆弧形。
[0009] 其中，所述环形槽的纵截面为回形，所述底面具有两个
顶点和两个底点，两个所述顶点和两个所述底点分别设置于所述环形槽的四个边
角上，其中一个所述顶点分别与两个所述底点形成两个引流通道，所述引流通道通过其高度差使所述底面上的硅液流入所述溢流通道。
[0010] 其中，所述溢流通道的数量为两个，两个所述溢流通道分别连通至所述底面的两个所述底点。
[0011] 本实用新型还提供了一种多晶硅锭炉的硅溢流检测装置，包括炉腔、设置于所述炉腔中的所述的石墨底板、坩埚、石墨固定
块、隔热块和溢流线，
[0012] 所述坩埚承载于所述石墨底板上，所述坩埚的底部的边缘位于所述环形槽的槽宽之间，
[0013] 所述石墨固定块承载所述石墨底板，所述隔热块设于所述石墨固定块的下方，所述隔热块开设溢流孔，所述溢流孔正对所述溢流通道，所述溢流线位于所述隔热块的下方，且正对所述溢流孔。
[0014] 其中，所述多晶硅锭炉的硅溢流检测装置还包括岩
棉，所述
岩棉铺设于所述炉腔的底部上。
[0015] 本实用新型提供的石墨底板通过在石墨底板上开设环形槽，同时，坩埚的底部的边缘位于环形槽的槽宽之间，使得承载于所述石墨底板上坩埚一旦破裂，硅液就会溢流至所述环形槽中，进而滴至所述溢流线，从而能够及时检测到硅液溢流，减少损失及降低生产安全事故发生的概率。
附图说明
[0016] 为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017] 图1是本实用新型实施例提供的石墨底板的示意图；
[0018] 图2是承载有坩埚的石墨底板的示意图；
[0019] 图3是图1中的石墨底板沿着I-I线的剖视图；
[0020] 图4是图1中的石墨底板沿着II-II线的剖视图。
具体实施方式
[0021] 下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0022] 请参阅图1至图2，本实用新型实施方式提供的一种石墨底板100和多晶硅铸锭炉的硅溢流检测装置(未图示)，所述多晶硅铸锭炉的硅溢流检测装置包括炉腔、设置于所述炉腔中的所述的石墨底板100、坩埚200、石墨固定块、隔热块和溢流线，所述坩埚200承载于所述石墨底板100上，所述坩埚200的底部的边缘位于所述环形槽2的槽宽L1之间，所述石墨固定块承载所述石墨底板100，所述隔热块设于所述石墨固定块的下方，所述隔热块开设溢流孔，所述溢流孔正对所述溢流通道3，所述溢流线位于所述隔热块的下方，且正对所述溢流孔。其中，所述石墨底板100开设环形槽2和溢流通道3；所述溢流通道3连通于所述环形槽2与所述石墨底板100的边缘之间，当所述坩埚200中漏出的硅液300滴入所述环形槽2时，所述溢流通道3用于使所述硅液300流到所述石墨底板100的边缘处，并滴落到溢流线。
[0023] 通过在石墨底板100上开设环形槽2，同时，坩埚200的底部的边缘位于环形槽2的槽宽L1之间，使得承载于所述石墨底板100上坩埚200一旦破裂，硅液300就会溢流至所述环形槽2中，再流入所述溢流通道3，进而滴至所述溢流线，从而能够及时检测到硅液300溢流，减少损失及降低生产安全事故发生的概率。
[0024] 在本实施例中，所述石墨固定块固设于所述炉腔的内壁上，所述石墨底板100承载于所述石墨固定块上，所述坩埚200置于所述石墨底板100上，并且，所述隔热块设于所述石墨固定块的下方，与所述石墨固定块之间沿着竖直方向设有间距，所述溢流线位于所述隔热块的下方。
[0025] 具体的，所述石墨底板100为矩形块，所述石墨底板100包括承载面1，所述环形槽2开设于所述承载面1上。所述坩埚200的材质为
石英砂，适用于多晶硅铸锭炉中的坩埚
200。所述坩埚200的底部的边缘刚好位于所述环形槽2的槽宽L1之间。当所述坩埚200中的硅液300漏出时，会第一时间将所述硅液300滴至环形槽2中，进而再流入所述溢流通道3中，并滴落到所述溢流线上，触发警报，第一时间减少损失。当然，在其它实施例中，所述坩埚200的材质还可以为其它。
[0026] 请参阅图3，为了更进一步的改进，所述环形槽2的槽宽L1为10～15mm。
[0027] 通过多晶硅的大量铸锭的经验，将所述环形槽2的槽宽L1限定为10～15mm之间，使得所述硅液300于所述环形槽2中流动时不会因为所述环形槽2的槽宽L1过大或者过小，进而使得所述硅液300粘稠流不动或者流速很缓慢。
[0028] 在本实施例中，所述环形槽2的槽宽L1优选为12mm。当然，在其它实施例中，所述环形槽2的槽宽L1还可以为10mm或者15mm。
[0029] 为了进一步的改进，所述环形槽2包括底面21，所述底面21正对所述环形槽2的开口，所述底面21为沿着所述硅液300的流动方向倾斜的斜面，所述坩埚200中漏出的硅液300沿着所述底面21的倾斜方向流至所述溢流通道3。
[0030] 通过将所述环形槽2的底面21加工为沿着所述硅液300流动方向倾斜的斜面，使得所述硅液300能够更快速的从所述环形槽2中流入所述溢流通道3中，第一时间滴落到所述溢流线上，，触发警报，第一时间减少损失。
[0031] 在本实施例中，所述底面21的横截面为圆弧形。所述底面21为圆弧形，更利于所述硅液300的流动。当然，在其它实施例中，所述底面21的横截面还可以为“-”型。
[0032] 请参阅图4，为了更进一步的改进，所述环形槽2的纵截面为回形，所述底面21具有两个顶点211和两个底点212，两个所述顶点211和两个所述底点212分别设置于所述环形槽2的四个边角上，其中一个所述顶点211分别与两个所述底点212形成两个引流通道213，所述引流通道213通过其高度差使所述底面21上的硅液300流入所述溢流通道3。
[0033] 通过将所述环形槽2形成两个引流通道213，再与所述溢流通道3相配合，将所述硅液300分成了两道，加快了所述硅液300于所述环形槽2中的流速。
[0034] 在本实施例中，所述引流通道213一共有4个，分别为环形槽2的4个边，利于加工，所述顶点211与所述底点212的高度差为8mm。当所述引流通道213上硅液300流至所述底点212时，所述硅液300继续流入所述溢流通道3中。当然，在其它实施例中，所述环形槽2的纵截面还可以为圆形或者其它形状。
[0035] 为了更进一步的改进，所述溢流通道3的数量为两个，两个所述溢流通道3分别连通至所述底面21的两个所述底点212。
[0036] 在本实施例中，所述溢流通道3相应的为两个，分别连通于两个所述底点212处，即两个所述溢流通道3在所述环形槽2中的同一条对角线上。对所述硅液300进行分流。
[0037] 为了更进一步的改进，所述多晶硅锭炉的硅溢流检测装置还包括岩棉，所述岩棉铺设于所述炉腔的底部上。
[0038] 在本实施例中，通过设置岩棉，使得溢出的硅液300不会
腐蚀所述炉腔，延长所述铸锭炉的使用寿命。
[0039] 当所述石墨底板100开始使用时：需首先将所述岩棉铺设于所述炉腔的底部上，再将所述石墨固定块固设于所述炉腔的内壁上，所述石墨底板100承载于所述石墨固定块上，所述坩埚200置于所述石墨底板100上，并且，所述坩埚200的底部的边缘位于所述石墨底板100的环形槽2的槽宽L1之间，所述隔热块设于所述石墨固定块的下方，与所述石墨固定块之间沿着竖直方向设有间距，所述溢流线位于所述隔热块的下方；当所述坩埚200裂开时，所述坩埚200中的硅液300会滴落至所述环形槽2中，由于所述环形槽2的底面21为沿着所述硅液300流动方向倾斜的斜面，故所述坩埚200中的硅液300会快速的从所述引流通道213的顶点211流至所述引流通道213的底点212，并在所述底点212处流入所述溢流通道3中，所述溢流通道3进而将所述硅液300第一时间滴落至所述溢流线上，触发报警器，减少所述硅液300溢流带来的损失，并且保证多晶硅铸锭的安全。
[0040] 本实用新型提供的石墨底板100通过在石墨底板100上开设环形槽2，同时，坩埚200的底部的边缘位于环形槽2的槽宽L1之间，使得承载于所述石墨底板100上坩埚200一旦破裂，硅液300就会溢流至所述环形槽2中，再流入所述溢流通道3，进而滴至所述溢流线，从而能够及时检测到硅液300溢流，减少损失及降低生产安全事故发生的概率。
[0041] 以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
